THESE
PRESENTEE A
L’UNIVERSITE BORDEAUX I
ECOLE DOCTORALE DES SCIENCES PHYSIQUE DE L’INGENIEUR
Par Edwin NGUEMA AGNANDJI
POUR OBTENIR LE GRADE DE
DOCTEUR
Spécialité : Lasers et
Matière dense
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GENERATION ET DETECTION TERAHERTZ : APPLICATION A
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Après avis de :
PAUL CROZAT
Professeur, Université Paris 11 Rapporteur
LIONEL DUVILLARET Professeur,
Université de Grenoble Rapporteur
Devant
VALERIE VIGNERAS Professeur, Université Bordeaux 1 Présidente
PAUL CROZAT Professeur, Université
Paris 11
Rapporteur
LIONEL DUVILLARET Professeur, Université de Grenoble
Rapporteur
JEAN CLAUDE CARRU Professeur,
Université du Littoral Côte d’Opale Examinateur
JEAN OBERLE Professeur,
Université Bordeaux 1 Examinateur
JEAN.C.
DELAGNES Maître de
conférence, Université Bordeaux 1 Examinateur PATRICK MOUNAIX Chargé de Recherche, Université Bordeaux 1
Directeur de thèse
MARIO
MAGLIONE Directeur de
recherche, Université Bordeaux 1 Invité
-
2009 –
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REMERCIEMENTS
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SOMMAIRE
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CHAPITRE
1 : GENERATION ET DETECTION TERAHERTZ
1.2 Quelques sources térahertz
1.2.1 Sources térahertz optoélectroniques
1.2.2 Détecteurs térahertz intensimétriques
1.3 Génération par techniques optoélectroniques
1.3.1.1 Oscillateur Titane Saphir
1.3.1.2 Semi-conducteurs à durée de vie courte
1.3.2 Génération térahertz par effet de surface.
1.3.2.2 Emission térahertz par champ de surface
1.3.2.3 Emission térahertz par effet photo-Dember
1.3.2.4 Observations expérimentales et analyses
1.3.3. Comparaison entre l’émetteur InAs et les In0.53Ga0.47As
1.3.3.1 Dépendances de l’intensité térahertz avec la
fluence optique
1.3.3.2 Comparaison de l’élargissement spectral
1.3.3.3 Contribution des effets non-linéaires sur la
génération térahertz
1.3.4
Génération térahertz par photoconduction
1.3.4.1 Exemple de spectre térahertz généré par
photoconduction
1.3.4.2 Résultats théoriques et expérimentaux
1.4.1 Détection par photoconduction
1.4.2 Détection électrooptique
1.5 Conclusions et comparaison des techniques
d’émission/détection.
Bibliographie de l’introduction et du chapitre 1
CHAPITRE
2 : SPECTROMETRE TERAHERTZ & SPECTROSCOPIE TERAHERTZ
2.2 Spectromètres
térahertz en transmission
2.3.1 Spectromètre 1 : « émetteur de
surface – détecteur photoconductif »
2.3.2 Spectromètre 2 : Emetteur photoconductif –
Détection photoconductive
2.3.3 Spectromètre 3 : « émission et détection
par des processus nonlinéaires »
2.4 Caractérisation du champ térahertz dans les
spectromètres
2.4.1 Reconstitution du signal : échantillonnage en
temps équivalent
2.4.2 Métrologie du faisceau térahertz
2.4.3 Etude expérimentale de la distribution de
l’énergie térahertz
2.5 Spectroscopie térahertz résolue en temps
2.5.3 Expression de la fonction de transfert
2.5.4 Extraction de la fonction diélectrique.
2.6 Spectroscopie térahertz en réflexion
2.7 Relation entre les paramètres diélectriques dans
un matériau.
CHAPITRE
3 : CARACTERISATION DES MATERIAUX FERROELECTRIQUES
3.2 Généralités sur les matériaux ferroélectriques
3.2.2 Présentation du Ba1-xSrxTiO3
3.2.3 Couches minces ferroélectriques étudiées : BaTiO3 et Ba1-xSrxTiO3
3.2.4 Applications des couches minces ferroélectriques
3.2.5 Phénomène de polarisation et permittivité dans
les ferroélectriques
3.3 Variation théorique de la permittivité complexe.
3.4 Spectroscopie térahertz des couches minces ferroélectriques.
3.5 Caractérisation térahertz des couches minces de
titanate de baryum.
3.5.1 Réponse térahertz à température ambiante
3.5.2 Etude diélectrique en fréquence (térahertz) et
en température
3.5.3 Etude des paramètres du modèle de Debye
3.5.4 Comparaison des résultats térahertz et Raman
3.6 Caractérisation térahertz des titanates de baryum
strontium
3.6.1 Résultats expérimentaux : BST80/20,
BST70/30 et BST50/50
3.6.2 Interprétation et comportement théorique.
3.6.3 Etude des paramètres du mode central et du mode
mou.
CHAPITRE
4 : ETUDE D’UN POLYMERE CONDUCTEUR A BASE DE POLYANILINE
4.2.1 Présentations de la polyaniline et du couple
CSA/DCAA
4.2.3 Les porteurs de charges.
4.3 Présentations des composites synthétisés.
4.4 Nature du transport électronique dans les
composites et dans les PCEI
4.4.2 Dépendance en température de la conductivité
4.4.3 Théorie de la percolation
4.5 Spectroscopie térahertz sur les composites
PANI-CSA/PU
4.5.1 Résultats expérimentaux dans le domaine
térahertz
4.5.1.1 Fonction diélectrique des PANI-CSA/PU
4.5.1.2 Conductivité des PANI-CSA/PU dans le domaine
térahertz
Conclusion
générale et perspectives
ANNEXE I :
DEVELOPPEMENT MATHEMATIQUE DU CHAMP TERAHERTZ EMIS PAR PHOTOCONDUCTION
ANNEXE 2 :
PUBLICATIONS ET COMMUNICATIONS SCIENTIFIQUES
Liste des
figures et des tableaux
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Le spectre électromagnétique est
le continuum formé par le rayonnement électromagnétique visible et invisible.
Il est subdivisé en zones spectrales en fonction de la fréquence ou de la
longueur d’onde. C’est un formidable outil qui permet de comprendre notre
environnement interne, proche ou lointain. Toutefois l’utilisation des photons
qui la composent découle d’une évolution technologique responsable de la
connaissance et de la maîtrise des phénomènes électromagnétiques. De nos jours,
on utilise de très nombreux mécanismes physiques issus de l’interaction entre
un matériau et les diverses parties du spectre électromagnétique. Cependant, à
l’exemple de la région XUV qui fut longtemps méconnue, une autre partie du
spectre électromagnétique est restée longtemps inaccessible. Cette région
située vers les ondes submillimétriques a été qualifiée de « Gap Térahertz» ;
la cause de ce gap était le manque de sources et de détecteurs exploitables aux
fréquences concernées. Cette fenêtre fréquentielle : le térahertz (THz)
située entre le domaine optique et le domaine des micro-ondes sera la zone
fréquentielle centrale de notre étude. Sa dénomination dépend des domaines de
la physique : Infrarouge lointain ou domaine Submillimétrique. Nous limiterons
son intervalle de définition entre 100 GHz et 10 THz (1 THz = 1012 Hz), soit en terme de longueur d’onde
30 μm et
Figure 0. 1 : Domaine térahertz dans le spectre électromagnétique.
Le domaine térahertz, de par sa position
entre l’optique et les hyperfréquences s’avère un espace pluridisciplinaire.
Nous porterons une attention particulière à la compréhension des phénomènes
physiques mis en jeu lors de l’interaction entre le champ térahertz et un
matériau. En effet, les propriétés physiques d’un matériau aux longueurs d’onde
térahertz présentent un intérêt pour la communauté scientifique car elles sont
restées discrètes avant l’utilisation récente de spectromètres térahertz. Par
opposition aux rayons ionisants, les radiations térahertz sont en effet
capables de pénétrer la matière organique ou inorganique sans causer de dommage. La radiation térahertz
traverse certains milieux autrement opaques dans le domaine visible :
vêtements, papier, bois, carton et plastiques. Cette transmission de l’onde térahertz
par divers matériaux est une condition nécessaire pour la mise en place et la
validation des expériences de spectroscopie térahertz résolue en temps, en
anglais Térahertz Time Domain Spectroscopy (THz-TDS). Rappelons brièvement que ou en réflexion
obtenue en faisant le
rapport entre le spectre obtenu avec le matériau et le spectre obtenu sans le
matériau. Quelle que soit la phase dans laquelle le matériau se présente
(solides, liquides ou gaz),
L’utilité des photons térahertz ne se restreint pas seulement à la spectroscopie ou à l’imagerie, d’autres domaines peuvent en tirer profit. La figure 0.2 est une liste diversifiée des thématiques (recherches et applications) dans lesquelles, le rayonnement térahertz est utilisé directement et indirectement ou pourra l’être à court terme.
Figure 0. 2 : Domaine d’applications des photons térahertz.
L’objectif principal des travaux de recherches présentés dans ce manuscrit est l’étude du comportement dans le domaine térahertz de matériaux en couches minces : le matériau ferroélectrique BaTiO3 et ses dérivés le BaSrTiO3 ont constitué une part expérimentale importante de ce travail. Cette famille de matériaux présente un intérêt à cause de leur réponse diélectrique accordable par l’intermédiaire d’un élément extérieur comme la pression, la température ou un rayonnement optique. Nous évaluerons quantitativement l’accordabilité de ses composés dans l’éventualité d’une utilisation passive sous forme de guide d’onde, de filtre, de métamatériau ou de résonateur. Dans ce contexte, nous avons développé un banc de spectroscopie térahertz alliant techniques optoélectroniques et lasers femtosecondes. Les éléments clés du spectromètre reposent sur une source laser pulsée en proche infrarouge, une antenne photoconductrice ou un simple semi-conducteur. Lorsqu’un tel dispositif est éclairé par un champ laser dont la durée d’impulsion est de l’ordre de la femtoseconde, il génère un rayonnement électromagnétique dont les composantes spectrales se trouvent dans le domaine térahertz. La détection peut être réalisée au moyen d’un photocommutateur ou d’un cristal électrooptique dont le déclenchement est réalisé par la même impulsion laser. Le manuscrit est structuré en quatre chapitres :
Le premier chapitre propose un récapitulatif des composants essentiels au développement d’un spectromètre térahertz : la source laser titane saphir et les semi-conducteurs. Dans cette partie, nous étudierons précisément les techniques optoélectroniques de génération térahertz (effet de surface et photoconduction) et de détection térahertz (échantillonnage photoconductif et électrooptique) mises en œuvre. Après avoir analysé les principes théoriques et l’influence des paramètres physiques lors de la génération, nous considérerons et présenterons quelques résultats expérimentaux obtenus. Dans chaque cas, nous ferons une comparaison des deux méthodes d’émission et de détection térahertz.
Le deuxième
chapitre est consacré au développement expérimental des spectromètres montés en
associant la partie émission térahertz et la partie détection térahertz. Nous
exposerons notamment les différents montages utilisés ainsi que les
caractéristiques nécessaires à la validation de l’instrument. Une étude portera
sur la métrologie du faisceau submillimétrique généré et propagé. La dernière
partie du chapitre est entièrement réservée à la technique expérimentale de
spectroscopie térahertz résolue en temps. On indiquera l’analyse théorique qui
permet d’extraire la fonction diélectrique d’un matériau aux fréquences térahertz.
Cette étude théorique repose sur la fonction de transfert donnée par un
matériau sous forme de couche épaisse ou mince, lorsqu’il est caractérisé par
Le troisième chapitre introduit l’étude de matériaux ferroélectriques : BaTiO3 et BaSrTiO3. Après une présentation générale des matériaux ferroélectriques, on s’intéressera à leur caractérisation expérimentale et aux résultats extraits dans la bande térahertz. Notre étude a porté non pas sur les matériaux ferroélectriques épais mais sous formes de couches minces élaborées par deux techniques : la méthode sol-gel et la technique de pulvérisation cathodique. Ce chapitre proposera l’analyse quantitative de la réponse diélectrique en soulignant l’importance des modes mous de phonons caractéristiques de cette famille de matériaux et leurs conséquences sur les niveaux de perte diélectrique.
Le quatrième chapitre s’intéresse à une nouvelle classe de matériaux : les polymères conducteurs. Nous focaliserons nos travaux sur les polymères conducteurs à base de polyaniline. Les travaux menés permettront de mettre en relief les propriétés de conductivité et de blindage de ces composites dans le domaine millimétrique et submillimétrique. En effet, la conductivité de ces matériaux peut être modulée sur plusieurs décades en intervenant dans les processus de l’élaboration. La caractérisation de ces matériaux aux fréquences térahertz a été motivée par leur présence dans de nombreuses applications : écrans souples et minces, composants électroniques ou blindage électromagnétique.
Dans la conclusion générale, nous ferons une récapitulation des
travaux et proposerons des perspectives sur l’amélioration des performances du
spectromètre. En annexe, nous rapporterons également les travaux auxquels, nous
avons participé hors et dans le cadre de ce travail.
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1.1 Introduction
Depuis une trentaine d’années, on assiste à une multiplication des instruments capables de générer et de détecter les radiations térahertz. Dans le cadre de ce travail, nous nous sommes orientés vers l’émission et la détection térahertz par des voies optoélectroniques. Les méthodes optoélectroniques utilisent le très large spectre associé aux impulsions lasers ultra-courtes. Nous aborderons brièvement la description de quelques sources de rayonnement térahertz avec leurs principales spécificités. Par la suite, nous détaillerons la chaîne qui conduit à l’élaboration d’un spectroscope térahertz. Puis nous focaliserons notre attention sur la génération d’un rayonnement à l’aide d’un semi-conducteur. Nous décrirons les mécanismes mis en jeu lors de la génération par émission de surface et à l’aide de photocommutateurs ultrarapides. Enfin nous analyserons les aspects relatifs à la détection cohérente d’onde térahertz.
Le rayonnement térahertz couvre la plage de fréquences où se situent les énergies de vibrations de nombreuses molécules comme par exemple le fluorure d’hydrogène HF (1.23 térahertz) et l’acide chlorhydrique HCl (1.25 térahertz). Cette signature spectrale dans le domaine infrarouge lointain et térahertz de nombreuses molécules est largement exploitée, pour sonder la composition des nuages moléculaires [5]. Ces études qui permettent de surveiller l’environnement apportent de meilleurs résultats lorsqu’on embarque les dispositifs d’émissions et de détections térahertz à bord de satellites ou de navettes spatiales. En effet, travailler à haute altitude ou sur sites élevés permet de s’affranchir de la forte absorption du térahertz à basse altitude [6]. La spectroscopie térahertz trouve des applications en imagerie. Comme la radiation térahertz possède une énergie faible (1 térahertz = 4.1 meV) et qu’elle est absorbée par les molécules d’eau, il est, par conséquent, possible de différencier des tissus biologiques grâce au contraste induit par la concentration locale en eau. Cette approche rend possible l’imagerie médicale térahertz uniquement sur des épaisseurs modestes. L’imagerie sécuritaire peut aussi être entrevue car les ondes térahertz offrent également la possibilité d’imager séquentiellement des objets cachés. Par exemple, la visualisation d’objets insérés dans un emballage optiquement opaque, ou plus récemment, les imageurs millimétriques pour visualiser les voyageurs dans un aéroport rendant ainsi détectable des objets cachés.
La notion d’imagerie térahertz (T-Ray imaging) a été initiée par Nuss [7] et depuis une vingtaine d’années, son développement continu en fait un complémentaire de l’imagerie par rayon X.
Pour mener à bien ces différents axes de recherche, la communauté scientifique se dote d’une instrumentation adaptée car le manque de sources performantes a limité de manière significative l’étude et l’utilisation du rayonnement térahertz. La position intermédiaire du gap térahertz en tant que frontière technologique permet de l’approcher de différentes manières : optique, électronique, quantique ou optoélectronique. Dans le cadre de ce travail, nous nous sommes orientés vers les techniques optoélectroniques impulsionnelles initiées par Auston [8] dans le milieu des années 1980. Hormis ces techniques sur lesquelles nous reviendrons, les scientifiques disposent d’un arsenal technologique qui ne cesse de s’accroître en fonction des progrès. Avant d’aborder les sources exploitées, nous présentons quelques dispositifs (sources optiques/optoélectroniques et des détecteurs intensimétriques) les plus usuels.
üLes « diodes térahertz ». On désigne par ce terme l’ensemble des dipôles électroniques actifs capables d’émettre des rayonnements millimétriques et submillimétriques. Dans ces composants à semi-conducteurs, on observe dans la caractéristique courant tension une diminution du courant dans le composant lorsque la tension de polarisation augmente. Cet effet appelé résistance différentielle négative (NDR) est propice à la génération d’oscillations électriques. La diode Gunn [9] par exemple consiste en un simple barreau d’Arséniure de Gallium (AsGa) et exploite une propriété physique du substrat : les électrons s’y déplacent à des vitesses différentes (masse effective différente) suivant leur énergie (il existe plusieurs minima locaux d’énergie en bande de conduction, suivant le déplacement des électrons). Le courant se propage alors sous forme de bouffées d’électrons, ce qui signifie qu’un courant continu donne naissance à un courant alternatif. Convenablement exploité, ce phénomène permet de réaliser des oscillateurs micro-ondes. Leurs fréquences se contrôlent à la fois par la taille du barreau d’AsGa et par les caractéristiques physiques du résonateur dans lequel la diode est placée. A titre d’exemple, une diode Gunn fonctionnant à 100 GHz peut générer 250 mW mais un design à 300 GHz entraîne une décroissance de la puissance disponible à 300 μW. Actuellement il existe des sources Gunn capables d’atteindre 1 THz avec des puissances proches de 200 µW.
Autre exemple représentant des NDR mais exploitant d’autres principes, les diodes IMPATT [10] et les diodes RTD [11]. Les diodes RTD (Resonant Tunneling Diode) représentent les seuls oscillateurs solides fonctionnant en bande millimétrique. Les diodes IMPATT (IMPact Avalanche Transit Time) font parties de la famille des diodes à injections et à temps de transit. Elles présentent une RDN comme les diodes Gunn mais utilisent l’effet d’avalanche pour générer des porteurs de charges. Ces diodes peuvent générer plus d’un Watt à 100 GHz mais leur puissance de sortie s’effondre dramatiquement au-delà de cette limite. Enfin les diodes RTD [11] qui exploitent directement les effets quantiques dans une double hétérojonction ont une puissance d’émission faible comparée aux précédentes. De manière générale, une limitation majeure avec les diodes électroniques concerne la décroissance de leur puissance électromagnétique générée [10] en fonction de la fréquence.
üLes transistors HEMT (High Electron Mobility Transistor). Un Hemt est un transistor à effet de champ incorporant une hétérojonction formée par deux matériaux de gap différent. Le principe de fonctionnement du HEMT est identique à celui d'un transistor à effet de champ à grille Schottky de type MESFET. Il est basé sur la modulation de la conductance entre deux contacts ohmiques appelés « Source » et « Drain », par l'action électrostatique d'une électrode de commande dénommée « Grille ». Ce composant de base de l’électronique rapide peut être utilisé comme oscillateur micro-onde. La variation de cette conductance est proportionnelle au nombre de porteurs libres dans le canal, et donc au courant entre source et drain. C’est l’effet d’amplification transistor qui permet de transformer un faible signal appliqué sur la grille en un signal plus fort récupéré sur le drain. En oscillateur, le HEMT est inséré comme amplificateur non linéaire à contre réaction avec un filtre sélectif. Dans ce cas, le circuit actif permet de compenser les pertes dans la maille en amplifiant le signal réinjecté dans la boucle d’oscillation. Il reste toujours le souci du niveau de bruit à gérer.
Dans un tout autre esprit, Dyakonov et Shur [12]
ont proposé en 1993 une théorie sur l’instabilité des ondes de plasma dans un
gaz d’électrons bidimensionnel. Cette théorie énonce qu’un transistor peut
fonctionner comme détecteur ou source térahertz
quand la longueur de grille est de taille nanométrique. Lorsqu’on
injecte un courant
électrique, le Hemt développe des instabilités dans le plasma électronique sous
la grille du nanotransistor. Au-delà d’une certaine amplitude de courant, l’excitation et l’accélération des charges
génèrent l’émission d’un rayonnement térahertz.
Récemment des études ont permis de générer un rayonnement térahertz [13]
à température ambiante en utilisant des transistors Hemt nanométriques. En termes
de grandeur les Hemt peuvent délivrer 200 mW [14] à 0,2 THz.
üLe
carcinotron ou Backward wave oscillator (BWO). Les BWO sont des
tubes dans lesquels l’onde submillimétrique est générée par effet Smith-
Purcell [15] dans la direction opposée au mouvement des électrons.
L’effet Smith Purcell est obtenu lorsqu’un faisceau d’électron se propage avec
une incidence rasante au-dessus d’un réseau de diffraction métallique. Les
électrons sont émis avec une vitesse relative égale à , lors de leur déplacement ils rayonnent une onde
électromagnétique dont la fréquence vaut
.
est la fréquence spatiale du champ rayonné. La fréquence de
l’onde submillimétrique générée par les carcinotrons peut être accordable si on
modifie l’énergie des électrons et la structure du tube. Les carcinotrons sont
des sources térahertz cohérentes, puissantes (10 mW en sortie) et
compactes mais leur coût demeure fort élevé.
üLes sources lasers. La première source laser à émettre dans le domaine térahertz est le laser moléculaire [16]. Ce laser à gaz est pompé par des lasers CO2. Leur principe de fonctionnement repose sur les transitions entre niveaux de rotations et niveaux de vibrations du milieu gazeux qui remplit la cavité. Les milieux actifs les plus connus sont le méthanol (CH3OH) et l’acide formique (HCOOH). Cette source fonctionne à des fréquences discrètes imposées par le gaz introduit. Cependant, leur puissance de sortie atteint quelques milliwatts. Leur accordabilité est assez faible étant donné qu’il faut choisir une raie spécifique parmi toutes celles qu’offre le gaz dans la cavité.
üLe laser à cascade quantique. Un laser à cascade quantique est constitué d’un empilement de couches ultra-minces formant des hétérostructures de matériaux semi-conducteurs. Le fonctionnement d’un laser à cascade quantique (quantum cascade laser, QCL) est différent des lasers semi-conducteurs hétérostructurés. A l’opposé des lasers à semi-conducteurs basés sur des transitions entre les bandes de conduction et de valence, l’originalité des QCL est d’utiliser [17] les transitions intersousbandes dans la bande de conduction. La première démonstration des lasers QCL fonctionnant dans le domaine térahertz a été faite par J.Faist et ces collaborateurs en 1994. En 2001, Kohler [18] a montré la possibilité pour ces lasers d’émettre dans le domaine térahertz en opérant à une température de 50 K. Le défi actuel est de parvenir à un fonctionnement à température ambiante. Le record de température est de 169 K en mode pulsé et 117 K en continu avec une puissance de 250 mW pour le régime impulsionnel et 130 mW pour le régime continu [19].
Après avoir donné un aperçu assez large des dispositifs d’émissions térahertz optoélectroniques, nous allons définir les techniques et les appareils de détections térahertz intensimétriques les plus usuels.
üLe bolomètre [20]. Il fonctionne classiquement à la température de l’hélium liquide (4 K). Son principe de fonctionnement est assez simple : il convertit l’énergie du rayonnement électromagnétique incidente en chaleur au sein de l’absorbeur. Un thermomètre dont les propriétés électriques dépendent de la température est connecté à l’absorbeur. On peut ainsi mesurer les variations d’impédance du détecteur, et donc l’énergie électromagnétique incidente. Les bolomètres sont des détecteurs très larges bandes qui peuvent couvrir l’intégralité du spectre électromagnétique. Cependant leurs caractéristiques diffèrent en fonction de la longueur d’onde d’utilisation ou des applications visées. Il nécessite des calibrations et la mesure de la puissance absolue pose toujours débat. L’emploi de filtres positionnés sur la fenêtre d’entrée permet toutefois d’avoir une bonne évaluation de la puissance térahertz mesurée par intervalle.
üLa
cellule de Golay. C’est un détecteur qui a beaucoup servi dans le
domaine infrarouge lointain [21]. La cellule de Golay contient une chambre pneumatique remplit d’un
gaz, le xénon dont la conductivité thermique est faible.
Cette chambre est fermée à ses extrémités par un film absorbant et un miroir
flexible. La membrane absorbante est souvent faîte d’aluminium. Quand le
rayonnement traverse la fenêtre d’entrée, il est absorbé par cette
membrane ; le gaz, chauffé au contact de la membrane, se dilate et la
membrane subit une légère déformation. Les variations de courbure du miroir
optique sont alors analysées et mesurées très finement. Ce mouvement est
converti électriquement par un système photoélectrique comprenant une source
lumineuse et une cellule photoélectrique. L’utilisation de la cellule de
Golay n’est pas encore abandonnée car elle est facile à mettre en œuvre et
possède une large bande de détection (20-1000 microns). A cela s’ajoutent des
modifications qui ont permis d’accroître ses capacités en remplaçant le film
absorbant par un gaz ou la partie optique par un récepteur.
üLe transistor HEMT. D’après Dyakonov et Shur, un Hemt peut aussi servir de détecteur térahertz. Cette hypothèse [22] a été vérifiée et confirmée sur les couples GaN/AlGaN et InGaAs/InAlAs. Dans ces structures, la détection est due au phénomène d’instabilité des ondes de plasma mais aussi à un redressement électrique conventionnel par la grille. Cette détection est associée à deux états distincts. Le premier état est appelé détection non résonante. Il est indépendant de la température. Le deuxième état est une détection résonante qui est induite par la résonance des ondes de plasma. Les détecteurs Hemt térahertz sont encore à l’état d’expérimentation mais leur utilisation dans les laboratoires de recherches s’élargit.
Les moyens technologiques de génération et détection térahertz présentés précédemment ne constituent pas une liste exhaustive. Nous allons porter notre attention sur les techniques de génération et de détection implémentées dans notre travail.
Pour émettre des radiations térahertz par des techniques optoélectroniques, on dispose principalement de quatre méthodes : la photoconduction [8], l’effet de surface [23][24], la génération par des processus non-linéaires [25] et le battement de fréquence. Parmi ces différentes méthodes, seul le battement de fréquence [26, 27], n’a pas été exploité dans le cadre de ce travail. Cette technique consiste à éclairer un composant non-linéaire avec deux lasers de pulsations différentes. Le battement correspond au processus qui permet de faire la soustraction de ces deux pulsations. La photoconduction et l’effet de surface sont à la base des spectromètres assemblés. Lors de notre collaboration avec le laboratoire de spectroscopie térahertz de Prague, nous avons travaillé avec un spectromètre dont le fonctionnement repose sur la génération et la détection térahertz par des processus nonlinéaires dans un cristal de ZnTe.
Dans cette partie du chapitre, nous allons décrire les principes théoriques et expérimentaux de la génération d’une radiation térahertz par effet de surface et par photoconduction. Avant de s’attaquer au formalisme mathématique, nous présenterons les composants essentiels au développement d’un spectromètre térahertz. Les deux méthodes de générations térahertz exposées sont toutes basées sur le mouvement impulsé aux paires électrons-trous par une onde laser femtoseconde. Après avoir formulé mathématiquement les expressions des champs lointains térahertz générés, nous analyserons les principaux résultats expérimentaux. On présentera ensuite les deux techniques optoélectroniques permettant de détecter les radiations térahertz : échantillonnage photoconductif et électrooptique.
Pour mettre en
pratique la génération térahertz par voie optoélectronique, on utilise une
source laser femtoseconde en mode impulsionnel. Depuis leur apparition dans les
années 1960 [28], les progrès réalisés pour raccourcir la largeur temporelle
des impulsions lasers ont été très rapides. La multiplication des sources
émettant des spectres, dont la durée de l’impulsion est de l’ordre de la
femtoseconde (), illustre parfaitement cette avancée technologique. Les
lasers à Titane Saphir délivrent généralement des impulsions, dont la durée est
de l’ordre de la femtoseconde lorsqu’ils fonctionnent en mode impulsionnel. La figure
1.1, présente le spectre laser émis par notre oscillateur de type mira
(cohérent). La largeur de bande que nous obtenons est proche de 22 nm.
Figure 1. 1 : Spectre laser du Titane Saphir.
L’intensité du champ laser sous forme Gaussien s’écrit :
avec
la largeur à
mi-hauteur de l’impulsion laser. Le Titane Saphir (Ti:Sa ;
Mira-Seed cohérent) que nous utilisons est pompé par un laser solide à
diode capable de produire 10 W à 532nm. Les caractéristiques du laser Ti:Sa
sont répertoriées dans le tableau 1.1.
Longueur d’onde
centrale |
800nm |
Durée d’impulsion |
60 – 80 fs (Variable) |
Bande spectrale |
20 – 40 nm |
Taux de répétition |
76 MHz |
Energie par impulsion |
8 nj |
Photon par impulsion |
3.5*1010 |
Puissance moyenne |
400 – 600 mW |
Tableau 1. 1 : Paramètres du laser Titane Saphir.
Dans un laser, les fréquences d’oscillations permises se situent dans la bande spectrale où la condition d’oscillation laser est vérifiée. Elles sont déterminées par la géométrie de la cavité optique qui impose l’existence d’un certain nombre de fréquences discrètes (modes). Ces fréquences sont déterminées par les conditions limites dans la cavité optique. Pour de nombreux lasers, la largeur spectrale du milieu amplificateur recouvre un très grand nombre de modes imposés par la géométrie, la lumière délivrée étant alors multimode. Lorsque les modes permis oscillent de manière indépendante, c’est-à-dire qu’ils présentent une phase aléatoire entre eux, l’émission de lumière est continue et fluctue en intensité à cause des interférences entre les différents modes. Pour créer une impulsion laser femtoseconde, il faut alors réussir à combiner les modes, de manière à ce qu’ils s’ajoutent de façon constructive à un instant donné et de façon destructive aux autres instants. Il faut donc asservir rigoureusement les phases des différents modes individuels, on parle alors de les « bloquer en phase » de telle sorte qu’ils présentent une relation de phase fixe entre eux. La largeur spectrale de la courbe de gain définit la durée de l’impulsion. Le blocage en phase des modes du laser peut s’obtenir en imposant que les pertes optiques soient plus importantes lorsque les modes ne présentent pas la bonne relation de phase ; il s’agit de favoriser le fonctionnement impulsionnel. Deux méthodes sont principalement employées pour effectuer ce type de blocage de modes. La première consiste à placer dans la cavité optique un élément actif comme un modulateur optique, on parle alors de « blocage de mode actif ». La seconde consiste à placer un élément non linéaire passif comme un absorbant saturable, on parle alors de « blocage de mode passif ».
Une fois le fonctionnement du laser établi, on va s’intéresser aux matériaux (semi-conducteurs) sur lesquels le champ laser va être focalisé afin de générer l’onde térahertz.
ü Les composés III-V utilisés pour générer l’infrarouge lointain sont constitués des éléments 31Ga69, 33As74 et 49In114. Le tableau 1.2 présente quelques propriétés électriques à température ambiante des principaux semi-conducteurs exploités.
Semi-conducteurs |
λgap
(µm) |
Eg (eV) |
Mobilité de Hall (e-)cm2/V/s |
GaAs |
0.87 |
1.42 |
8500 |
InAs |
3.43 |
0.36 |
33000 |
Tableau 1. 2 : Caractéristiques électriques de l’InAs et du GaAs.
En dehors des matériaux (III-V)
qui ont été largement utilisés, d’autres semi-conducteurs ont des propriétés
intéressantes pour l’optoélectronique : les semi-conducteurs (II-VI) et les semi-conducteurs à bande
indirecte de la colonne (IV). La première famille présente un maximum d’énergie de la bande de valence qui
correspond au minimum d’énergie de la bande de conduction (matériau à gap
direct). En présence d’un photon d’énergie supérieure à l’énergie
de leur gap
, il se crée par absorption un électron dans la bande de
conduction et un trou dans la bande de valence. L’absorption d'un faisceau
lumineux monochromatique dans un milieu homogène et isotrope est
proportionnelle à la longueur du trajet optique suivi par cette radiation et
peut se détailler par la loi de Beer-Lambert qui établit une proportionnalité
entre l’absorbance et la longueur du trajet parcouru par la lumière dans la
matière sondée. Cette transition se fait avec conservation du vecteur d’onde
dans les semi-conducteurs à gap direct. Dans le cas des semi-conducteurs à gap
indirect, la probabilité de transition se réalise à l’aide de phonons. Ils
représentent l’élément intermédiaire indispensable à la conservation du vecteur
d’onde. En comparant les probabilités de transitions des deux types de
semi-conducteur, les composés III-V ont un avantage par rapport aux composés IV
pour des applications optoélectroniques rapides.
Deux semi-conducteurs binaires GaAs et InAs dopé (n ou p) et un alliage ternaire InGaAs sont les émetteurs térahertz principalement étudiés. Ces semi-conducteurs, en particulier les composés binaires (voir tableau 1.2) ont été, de par leurs propriétés à la fois optique et électronique largement utilisés pour des applications dans le domaine submillimétrique. Le GaAs sera à la base de notre système de détection térahertz mais servira aussi d’émetteur. L’InAs, qui est un émetteur de surface reconnu, sera comparé à l’InGaAs.
ü InAs
C’est un simple wafer semi-conducteur de type n. Il est taillé suivant l’axe cristallographique <111>, sa concentration en termes de niveau de dopage varie entre 1016 et 10-19 cm-3.
ü InGaAs
L’InGaAs, que nous utilisons pour générer du térahertz par effet de surface, est le In0.53Ga0.47As, il est déposé sur un substrat d’InP [001]. La structure cristalline du matériau obtenu est thermiquement stable. Des défauts sous forme de clusters [29] sont présents dans le matériau. Il présente des propriétés optiques intéressantes, notamment une durée de vie des porteurs de charges inférieure à 300 fs et, ajustable par des processus externes tel que l’implantation ou irradiation ionique. Les qualités électriques du cristal sont les suivantes : Il ne présente pas de dégradation de la résistance d’obscurité, sa densité de charge est constante et le champ de surface est important comme évoqué précédemment. Pour moduler le temps de vie des électrons et simultanément la résistivité, il est bombardé par des ions lourds (ions Brome) d’énergie 11 Mev. Nous avons caractérisé trois échantillons différents suivant la dose d’implantation (109, 1011, 1012) d’ions lourds (brome) subie par cm2. La figure 1.2 [29] montre la variation du temps de vie des porteurs de charge et de la résistance d’obscurité. Le temps de vie des porteurs de charge diminue fortement lorsque la dose d’irradiation augmente. La résistance d’obscurité demeure faible et constante pour des doses d’irradiations inférieures ou égales à 1010 cm-2 mais pour des doses supérieures elle augmente assez vite.
Figure 1. 2 : Variation de la durée de vie des porteurs de charges et de la résistivité dans l’InGaAs en fonction de la dose d'irradiation.
üLe GaAs basse température
Le
GaAs basse température est très utilisé pour générer ou détecter efficacement
les radiations térahertz. Dans le domaine des semi-conducteurs, la croissance
de couches cristallines se fait principalement par la technique d’épitaxie par
jets moléculaires ou « molecular beam epitaxy » (MBE). L’épitaxie par
jets moléculaires est une étape technologique permettant de faire croître du
cristal. Cette technique a été développée initialement pour la croissance
cristalline des semi-conducteurs. Il s’agit d’une technologie sous ultravide (P
< 10-6 mbar) basée sur l’évaporation séquentielle des
constituants élémentaires placés dans des cellules à effusion de Knudsen. Un
des avantages de cette méthode repose sur le contrôle de la croissance en temps
réel grâce à l’utilisation, in situ, de la diffraction d'électrons de haute
énergie en incidence rasante ou RHEED. La couche épitaxiée peut être dopée ou
non dopée. Le bâti de
MBE se compose de 3 chambres où règne un vide poussé. La première est un sas
d’introduction dans lequel on dépose les substrats afin qu’ils y soient
dégazés. Dans cette chambre, un vide de l’ordre de 10-7 Torr (~10-10 atm) peut être atteint.
Ensuite, ces échantillons sont déplacés dans la chambre de stockage où règne un
vide de l’ordre de 10-9 Torr. Enfin la dernière chambre, est celle où se déroule l’épitaxie et où
le vide est de l’ordre de 10-10 Torr.
Habituellement lorsqu’on fait
croître des couches cristallines de GaAs, la température du substrat est de
l’ordre de
Figure 1. 3 : Structure du GaAs standard (gauche) et du GaAs-BT avec défauts d’Arsenic et de Galium (droite).
Si la concentration des défauts est très élevée, les
porteurs de charge photocréés seront plus rapidement piégés sur des niveaux
énergétiques qui se positionnent en milieu de gap du GaAs ce qui réduira leurs
temps de vie et affectera les propriétés optoélectroniques du GaAs-BT. Pour
diminuer la présence de ces défauts et obtenir un matériau semi-isolant
(résistivité de l’ordre de 106 à 107 Ω.cm), un
recuit entre 550-
La génération térahertz par effet de surface est une
technique astucieuse car elle simplifie sensiblement les contraintes de
focalisation sur l’antenne dipolaire et surtout ne nécessite pas d’étape
technologique. Il suffit pour cela de focaliser un laser ultra-court sur une
interface air/semi-conducteur. Le signal térahertz est généré principalement
dans deux directions. La première direction est quasiment colinéaire à la
réflexion du faisceau optique et la seconde dépend des propriétés de
transmission du matériau. Le champ térahertz émis par réflexion que nous exploiterons se propage
dans une direction faisant un angle θ avec la normale au substrat. Comme
la propagation de l’impulsion térahertz est limitée du point de vue de la divergence,
on déduit du principe d’Huygens, les lois de Fresnel généralisées permettant
d’extraire les angles (voir figure 1.4) qui définissent les directions
d’émissions térahertz en fonction de l’angle d’incidence du faisceau optique [34]
:
Figure 1. 4 : Orientation des champs électromagnétiques rayonnés à la surface du semi-conducteur.
La formule donnée par l’équation permet de calculer l’angle de propagation du champ térahertz.
,
,
et
sont respectivement
l’angle d’incidence du faisceau laser, l’angle qui donne la direction du champ térahertz
émis en réflexion, l’angle qui accompagne l’émission térahertz en transmission
et l’indice du semi-conducteur dans la bande térahertz.
L’émission térahertz est optimale dans les matériaux semi-conducteurs à petit gap à l’exemple de l’InAs dont le gap est de 0,32 eV. Si on éclaire le semi-conducteur en incidence normale, les lobes d’émissions du champ rayonné sont dans le plan du semi-conducteur ce qui limite l’extraction. Toutefois, l’angle entre le faisceau laser incident et la normale à la surface de l’émetteur doit être proche de l’angle de Brewster. Dans les conditions de Brewster, l’absorption totale du champ optique favorise alors le rendement de la génération. Cette technique permet également de modifier la direction des lobes d’émission comme le montre la figure 1.4. Une amélioration de la technique précédente consiste à soumettre le semi-conducteur à un champ magnétique [35]. A la surface du matériau conducteur, les paires électrons trous vont agir comme des pseudo dipôles de Hertz. Leur rayonnement couvre toute la zone du semi-conducteur, la force de Lorentz induit une rotation des charges en mouvement et par conséquent du dipôle rayonnant. Le maximum d’émission ne se trouve plus dans la direction de la surface mais dans une direction dépendante de l’intensité et de la direction du champ magnétique.
De
manière théorique, la génération térahertz par effet de surface fait l’objet
d’une attention particulière de la part des scientifiques. Un des buts étant
d’accroître les caractéristiques (amplitude et bande spectrale) du champ térahertz
émis et d’analyser son origine physique. La génération par effet de surface a
été effectuée et étudiée sur divers matériaux semi-conducteurs : InAs [36, 37], InP [38, 39], GaAs [39,
40], GaSb [23, 38, 41], InSb [38, 42, 43]. Les études
menées ont permis d’identifier les deux principaux mécanismes (illustrés à la figure
1.5) électroniques responsables de cette émission électromagnétique ;
on distingue l’accélération par champ de surface [23] et l’effet
photo-Dember [43, 44].
Qualitativement, à la surface des semi-conducteurs, il existe un champ électrique résiduel. Ce champ de surface résulte des défauts superficiels qui induisent une distribution de charge spatiale à la surface du semi-conducteur (rupture de symétrie entre l’air et le semi-conducteur). La mise en mouvement des porteurs de charges produits par l’intermédiaire d’une onde laser, entraîne le rayonnement d’une radiation électromagnétique térahertz. Les caractéristiques du champ térahertz dépendront de la densité de défauts à la surface du semi-conducteur, de leur concentration dans la couche semi-conductrice et de la mobilité des photoporteurs.
Figure 1. 5 : Illustration de
l’effet de surface (gauche) et de l’effet photo-Dember (droite).
L’effet photo-Dember est le résultat d'une distribution asymétrique des charges négatives et positives. En effet, après le phénomène de photo-excitation, les porteurs de charges diffusent avec un fort gradient de mobilité entre les électrons et les trous. Comme dans notre cas les électrons diffusent plus vite que les trous, un déséquilibre local de la charge-espace apparaît. Le déplacement du barycentre électrique du plasma ainsi formé est à l’origine du champ électrique térahertz émis. L’émission térahertz par effet photo-Dember dépend de la mobilité des porteurs de charges photocrées, de leur concentration dans le matériau conducteur et non de la densité d’états de surface.
Divers travaux ont été menés pour mesurer la contribution de l’effet de surface et de l’effet photo-Dember. Cependant des désaccords subsistent sur l’importance de chaque effet car les techniques de mesures actuelles ne permettent pas de déterminer avec exactitude l’apport attribué à chaque mécanisme dans le processus de génération de l’infrarouge lointain. On associe au champ de surface le changement de la polarisation de l’impulsion térahertz dans les semi-conducteurs possédant des porteurs de charges majoritaires de type différent [37]. Lorsque l’effet photo-Dember est dominant on constate qu’il n’y a pas un changement de la polarisation du champ térahertz et que le rendement de l’émission dépend fortement de la température.
Dans cette étude, nous négligerons les radiations émises par effets nonlinéaires optiques de par les niveaux de fluences faibles lors des phases expérimentales. Il s’agit de pouvoir jauger quels sont les paramètres limitatifs et primordiaux pour optimiser la génération de surface. A partir d’une analyse statique à une dimension [45], on va établir l’expression mathématique du champ térahertz spécifique à l’effet de surface et au champ photo-Dember.
Dans la figure
1.6, nous avons reporté schématiquement les processus expérimentaux et la
représentation physique des effets de surface et de l’effet photo-Dember. Le
faisceau laser interagit sur la surface du semi-conducteur avec une incidence
oblique (direction axe r), après un processus d’absorption sur une distance
évaluée à 200 nm dans l’épaisseur du substrat semi-conducteur. La distance
minimale entre l’émetteur et le détecteur est raisonnablement supérieure à
Figure 1. 6 : Principe physique de l'émission térahertz par effet de surface.
Le potentiel vecteur lié à la densité de courant à la surface du semi-conducteur s’écrit :
est l’élément de
volume avec
la surface irradiée
par le champ laser,
la perméabilité
magnétique et r la distance entre le point source et le point de
détection.
Le champ magnétique azimutal est donné par :
θ est l’angle d’incidence du champ laser à la surface du semi-conducteur. Pour simplifier le calcul, on fait l’hypothèse d’une intensité laser dont la dépendance temporelle est sous forme Gaussienne.
est la largeur à
mi-hauteur. La densité de courant est fonction de deux variables : la
distance et le temps. Par hypothèse, nous considérons que la dépendance
temporelle dans la direction de l’axe z à une forme Gaussienne qui prend en
compte le terme
représentant le retard
induit entre le champ laser et l’établissement du photocourant.
est la vitesse de la
lumière.
On dérive l’équation pour obtenir l’expression du photocourant par rapport au temps
On pose
D’après les équations , et le terme radiatif responsable du champ térahertz émis loin de la source est donné par :
De la loi de Maxwell-Ampère, on obtient l’expression du champ électrique térahertz lointain émis par génération de surface :
Dans un semi-conducteur de type InAs
non dopé et à température ambiante, le niveau de Fermi se trouve au milieu du
band-gap loin de la surface lorsque le semi-conducteur est à l’équilibre. Par
contre, en surface les bandes d’énergie sont courbées dans le semi-conducteur à
cause des états de surfaces. En conséquence, il existe près de la surface du
matériau une zone de déplétion dont la longueur avoisine 0,3 μm. Le champ
de surface et la largeur de la zone de déplétion
sont approximés par la relation ci-dessous :
,
,
,
,
sont respectivement la
permittivité du cristal semi-conducteur, la barrière de potentiel, la constante
de Boltzmann, la température du plasma, la charge de l’électron et la
concentration des porteurs de charge. La variation de densité des porteurs
de charge D
varie avec l’absorption optique
du champ laser.
est la densité
initiale des porteurs de charge dans le semi-conducteur. Le courant total de surface est
la somme entre le courant dû aux charges négatives (électrons) et aux charges
positives (trous) :
Le champ térahertz émis loin de la source est lié à la dérivée première de la densité de courant. A partir des équations , , , , et , on obtient l’expression du champ térahertz émis par effet de surface.
Remarques :
La forte mobilité des porteurs favorise l’émission d’un champ térahertz optimal en amplitude et en fréquence. Les matériaux à faible absorption optique sont de meilleurs candidats pour la génération térahertz assistée par champ de surface. L’optimum d’efficacité résulte de l’égalité entre zone déplétée et longueur d’absorption.
Comme décrit précédemment, lorsque le laser éclaire la surface du semi-conducteur, un terme additionnel apparaît sur la densité initiale des porteurs de charge initiale; ce terme décroît exponentiellement en fonction de l’absorption optique du champ laser dans le semi-conducteur.
Dans le
semi-conducteur, il s’établit des courants de conduction et de diffusion
qui sont définis en fonction du champ électrique et de la
variation spatiale de la densité de charge
Pour trouver le champ Dember, la variation du
courant total dans le semi-conducteur doit être nulle. En considérant une
variation spatiale de la densité d’électrons égale à celle des trous, on trouve
l’expression du champ Dember induit par le gradient
de mobilité :
est le rapport des
mobilités entre les électrons et les trous,
est la température
électronique du plasma formé par les électrons et les trous.
et
représentent la densité initiale des porteurs de charge.
Des équations , , , et on trouve l’expression du champ lointain térahertz émis par effet photo-Dember.
Remarques
: L’expression repose sur l’hypothèse que
l’excès d’énergie des photons est transféré majoritairement sur les électrons
et donc que l’échauffement des trous est négligeable. De plus, le champ térahertz
dépend de la température du plasma d’électron formé après excitation du
semi-conducteur par l’impulsion laser. Il dépend principalement du rapport des
mobilités entre les électrons et les trous. Le rendement du rayonnement est
plus efficace pour les matériaux à forte mobilité à l’exemple de l’InAs de
rapport et de l’InSb dans
lequel
. La figure 1.7 compare l’amplitude normalisée du
champ térahertz généré à la surface de différents semi-conducteurs et montre la
position maximale occupée par l’InAs.
Figure 1. 7 : Comparaison de la puissance d’émission térahertz de différents semi-conducteurs.
üCas de l’émetteur témoin InAs
La figure 1.8
représente une impulsion térahertz générée expérimentalement se propageant dans
l’espace libre et le spectre obtenu numériquement dans le domaine fréquentiel.
Ce résultat a pour source un banc de mesure qui utilise un substrat
semi-conducteur (InAs-n) comme émetteur, un photocommutateur à base de GaAs-BT
comme récepteur et un laser qui délivre 130 mW en mode impulsionnel. La mesure a été réalisée avec
une constante de temps de l'amplificateur à détection synchrone de 300 ms.
Le signal obtenu a une amplitude crête à crête de 1,7
nA. Il est compris dans un intervalle de temps de 1,3 ps, avec un temps de montée estimé à
0,4 ps et un temps de descente de l’ordre de 0,67 ps. Le temps de montée est
comparable à celui de l'impulsion optique alors que le temps de descente est
limité par le temps de transit des électrons dans la zone du champ électrique
ou par leur durée de vie. La partie du signal liée au temps de montée renferme
majoritairement les hautes fréquences tandis que les bases fréquences se
localisent dans la partie liée au temps de descente.
L’étendue
spectrale dans le domaine térahertz du signal généré par le barreau d’InAs est ici de 4 THz. Le spectre fréquentiel obtenu
numériquement présente des oscillations qui confirment la présence de la vapeur
d’eau dans le milieu contenant le dispositif expérimental. Sa résolution fréquentielle est
inversement proportionnelle à la largeur de la fenêtre temporelle utilisée lors
de l'acquisition. La dynamique du champ émis par l’InAs est de 50 dB au voisinage de
1 THz, soit un rapport signal sur bruit de l'ordre de 300.
Figure 1. 8 : Impulsion térahertz générée par l’InAs, spectre temporel et fréquentiel.
üCas des émetteurs (testés) en In0.53Ga0.47As
Contrairement au semi-conducteur InAs dont les capacités de génération térahertz ne sont plus à démontrer, nous avons généré du térahertz en utilisant des alliages In0.53Ga0.47As d’épaisseur 1 μm déposés sur un substrat d’InP d’épaisseur (0,4mm) dans les mêmes conditions expérimentales que l’InAs. Ces émetteurs ont étés fournis par l’IEF de Orsay en France.
La figure 1.9 montre l’impulsion térahertz
générée par trois alliages In0.53Ga0.47As différents par
leur dose d’irradiation en ion Brome en cm2 (109, 1011
et 1012) et leurs réponses spectrales en fréquences. Pour les trois
semi-conducteurs, on observe la présence d’une impulsion secondaire après le
pic principal. Cette impulsion est due à la réflexion de l’impulsion térahertz au
niveau de l’interface InP/air. Si nous prenons l’indice de réfraction de In0.53Ga0.47As
dans le domaine optique identique à l’indice obtenu dans le domaine térahertz
soit 3,5, nous pouvons extraire approximativement l’épaisseur du substrat grâce à la relation
(1.26) :
où ,
et
sont
respectivement : le retard entre les deux impulsions, l’indice du
semi-conducteur et la vitesse de la lumière. Nous trouvons pour l’alliage du substrat
In0.53Ga0.47As-109 une épaisseur de 0,39mm ;
pour l’In0.53Ga0.47As-1011 une épaisseur de 0,39
mm et pour l’In0.53Ga0.47As-1012 une épaisseur
de 0,38 mm. Le pic principal correspond à l’impulsion térahertz générée au
niveau de l’interface formée par l’InGaAs et l’air. C’est ce signal principal
qui est directement dépendant de l’angle entre la normale au semi-conducteur et
le champ laser. Le pic secondaire correspond à l’impulsion térahertz générée et
transmise dans le substrat semi-conducteur avant qu’elle ne soit réfléchie au
niveau de l’interface InP- In0.53Ga0.47As. On observe
bien l’inversion de la phase en comparant l’orientation du pic principal et du
second pic. Les amplitudes de ces deux impulsions sont, par conséquent,
indépendantes entre elles mais liées par les cœfficients de transmission et
de réflexion aux différents interfaces.
Figure 1. 9 : Impulsions térahertz générées par différents In0.53Ga0.47As dans le domaine temporel et dans le domaine fréquentiel.
Le signal térahertz émis
par l’In0.53Ga0.47As-109 est compris dans un
intervalle de temps de 1,30 ps, avec un temps de montée estimé à 0,642 ps et un temps de descente de
l’ordre de 1.02 ps.
Le signal térahertz émis
par l’In0.53Ga0.47As-1011 est compris dans un
intervalle de temps de 1,98 ps, avec un temps de montée estimé à 0,583 ps et un temps de descente de
l’ordre de 0,69 ps.
Le signal térahertz émis
par l’In0.53Ga0.47As-1012 est compris dans un
intervalle de temps de 2,23 ps, avec un temps de montée estimé à 0,502 ps et un temps de descente de
l’ordre de 0.84 ps.
Pour chaque impulsion térahertz (pic principal), l’amplitude maximale
crête est proche de 2 nA. Lorsque le taux de dopage augmente, on observe un
élargissement de l’intensité térahertz sans dégradation de la largeur
spectrale. L’analyse faite pour l’InAs est aussi valable pour ces émetteurs sur
la répartition des fréquences en fonction des temps de montées et des temps de
descentes. L’étendue spectrale dans le domaine térahertz du signal généré par les différents
alliages dopés avoisine les 3 térahertz. Comme précédemment la résolution fréquentielle est inversement
proportionnelle à la largeur de la fenêtre temporelle utilisée lors de
l'acquisition. La dynamique du champ émis par ces émetteurs est de l’ordre de 45 dB au
voisinage de 0,5 THz. En comparant la bande passante utile des signaux (pics
principaux et secondaires), on constate une évolution identique de
l’élargissement spectral mais le signal fréquentiel est beaucoup plus bruité
pour les impulsions secondaires.
Nous venons de voir à travers ces observations expérimentales que les semi-conducteurs In0.53Ga0.47As irradiés par des ions lourds (Brome) sont capables d’émettre des radiations térahertz dont l’amplitude maximale est proche de 1 nA et l’étendue spectrale proche de 3 térahertz. Les performances de ces émetteurs sont comparables à celles de l’InAs entre 0 et 3 THz.
Nous avons utilisé de nouveaux matériaux semi-conducteurs In0.53Ga0.47As pour générer des radiations térahertz par effet de surface. Pour confirmer les résultats obtenus différentes expériences permettant de comparer les performances de ces émetteurs avec l’émetteur témoin InAs-n ont été mises en œuvre.
La figure 1.10 montre la variation de l’amplitude du champ térahertz en fonction de la puissance optique du laser. Elle met en relief l’évolution de l’amplitude térahertz de trois émetteurs InAs, l’In0.53Ga0.47As-109 et l’In0.53Ga0.47As-1011 en fonction de la puissance optique.
Figure 1. 10 : Intensité térahertz de l’InAs et des InGaAs en fonction de la puissance optique.
Afin de faire varier la puissance optique au niveau de l'émetteur sans modifier les conditions expérimentales sur le récepteur, des densités optiques ont été positionnées sur le trajet du faisceau laser éclairant le substrat semi-conducteur émetteur. Le retard optique induit a été pris en compte. Quel que soit l’émetteur, l’amplitude du photocourant augmente avec le nombre de porteurs photocréés dans le semi-conducteur par l’intermédiaire du champ laser. L’intervalle [0 -120 mW] dans lequel nous prenons la puissance optique ne permet pas de mettre en évidence le phénomène de saturation de l’amplitude du champ térahertz. Les valeurs de courant obtenues par l’InAs dans le système de détection sont supérieures aux valeurs données par l’In0.53Ga0.47As-109 et l’In0.53Ga0.47As-1011. Des travaux réalisés sur divers semi-conducteurs confirment ces résultats et valident la meilleure performance de l’InAs [46, 47] sur les autres semi-conducteurs.
Le résultat expérimental qui ressort sur l’étude des semi-conducteurs In0.53Ga0.47As-109 et l’In0.53Ga0.47As-1011 montre que l’amplitude du champ térahertz croit avec une augmentation de l’irradiation d’ions bromes et de la puissance optique. Les défauts implantés (ions brome) dans la structure InGaAs/InP favorisent le piégeage des porteurs de charge générés. La quantité d’ion Brome traversant la couche d’InGaAs influence la variation de l’amplitude du champ térahertz émis comme le montrent les valeurs du photocourant généré par l’In0.53Ga0.47As-1011 et l’In0.53Ga0.47As-109 dans la figure 1.10.
Le tableau 1.3 compare la largeur temporelle des impulsions térahertz émis par chaque émetteur.
Semi-conducteurs |
Durée de l’impulsion térahertz (ps) |
InAs-n |
1,30 |
In0.53Ga0.47As-109 |
1,31 |
In0.53Ga0.47As-1011 |
1,98 |
In0.53Ga0.47As-1012 |
2,23 |
Tableau 1. 3 : Durée temporelle des impulsions térahertz généré par l’InAs et les InGaAs.
Les résultats du tableau montrent que la largeur temporelle
du signal principal émis par l’InAs est égale à celle de l’In0.53Ga0.47As-109
mais inférieure à la largeur temporelle du signal émis par les deux autres alliages.
Au niveau des alliages, on constate que l’impulsion térahertz générée s’élargit
avec l’augmentation de la dose d’irradiation. Cet élargissement du pic
principal est dû majoritairement au temps de descente qui est étroitement lié à
la durée de vie des électrons libres dans le semi-conducteur. L’incorporation
d’ions bromes dans les alliages limite le temps de transit des électrons dans la zone du
champ électrique. Les valeurs inscrites dans ce tableau sont corroborées par
les résultats de la figure 1.11 qui montre l’évolution de la
bande passante térahertz propre à chaque émetteur.
Figure 1. 11 : Comparaison de
l’élargissement spectral des spectres temporels de l’InAs et des InGaAs.
En effet, plus le signal est court temporellement plus sa largeur spectrale sera importante. Il n’existe pas de différences notables sur la largeur de la bande passante térahertz données par ces quatre émetteurs. La largeur spectrale de l’InAs, de l’In0.53Ga0.47As-109, del’In0.53Ga0.47As-1011 et de l’In0.53Ga0.47As-1012 est comprise entre 3 et 4 THz.
Figure 1. 12 : Efficacité de génération en fonction de l'orientation cristallographique du semi-conducteur.
La figure 1.12
montre la variation de l’amplitude
du champ térahertz en fonction de l’angle de rotation. L’angle de
rotation est formé par
l’orientation du cristal et la normale à sa surface. Cette expérience a pour
but de séparer la contribution linéaire due à l’impulsion de courant et la
contribution nonlinéaire due au redressement optique. En effet le redressement
optique est fonction de l’angle entre le champ optique et l’orientation
cristallographique du cristal émetteur. Lorsqu’on fait varier l’angle azimutal
du cristal dans le cas
de l’InAs, on observe une dépendance en
[48] caractéristique de l’orientation
cristallographique <111>, de l’échantillon. Cette variation périodique
confirme la contribution d’effets nonlinéaires sur la génération térahertz par
le cristal d’InAs-n. Dans les alliages In0.53Ga0.47As
<100> les études préliminaires effectuées ne nous ont pas permis
d’observer une dépendance angulaire de la génération térahertz. Cette absence
de périodicité angulaire peut provenir d’une orientation cristallographique non
optimale pour ce matériau. De plus, l’article de Youngok (Physical Review B 78,
035201 (2008)) confirme nos observations et montre que l’effet de surface
est le phénomène majoritaire dans les semi-conducteur In1-xGaxAs
tant que la valeur de x est supérieure à 0,43 et le redressement optique
devient le phénomène prépondérant pour des valeurs de x inférieures à 0,43.
Pour quantifier les possibilités de génération térahertz par effet de surface, nous nous sommes intéressés à une autre technique : la génération térahertz par photoconduction.
En dehors de la génération térahertz par effet de surface, nous avons développé en parallèle l’émission térahertz par photoconduction. Cette technique nécessite l’utilisation d’une antenne photoconductrice. C’est un dispositif composé d’un matériau semi-conducteur (présenté précédemment) : GaAs-BT sur lequel on dépose deux contacts métalliques. Les plots métalliques jouent le rôle d’électrodes et permettent d’appliquer un champ électrique statique à la surface du matériau semi-conducteur. Lors de l’interaction des photons qui composent le champ laser incident avec le GaAs-BT, des paires électrons-trous sont créées. La bande de conduction est alors occupée par les électrons ainsi générés, tandis que le nombre de trous augmente dans la bande de valence ; le semi-conducteur voit alors sa conductivité augmenter. Ce phénomène quasi instantané est appelé photoconduction. Une lentille silicium hémisphérique accompagnée d’une extension accolée au semi-conducteur permet de collecter la radiation térahertz émise et de mettre en forme le faisceau rayonné. La figure 1.13 présente le schéma d’un photocommutateur et décrit schématiquement le principe de la génération térahertz par photoconduction.
Figure 1. 13 : Schéma d'un photocommutateur et
processus d'émission térahertz par photoconduction.
Description
de la figure (1.13)
On illumine l’espace inter-électrode par une impulsion laser femtoseconde
d’énergie supérieure à l’énergie du gap du semi-conducteur. Le champ laser crée
des paires électrons-trous dans le gap du semi-conducteur. On applique une
tension statique aux bornes du
semi-conducteur dans le dispositif émetteur. Cette tension le polarise et
permet de mouvoir les photoporteurs. Le mouvement rapide des porteurs de charges est responsable
de l’apparition du transitoire de courant
. C’est ce bref transitoire de courant qui donne naissance au
champ térahertz
rayonné par le
photoconducteur.
Nous n’entrons pas ici dans les détails de calculs pour donner l’expression théorique du champ térahertz, car plusieurs études permettant de trouver une formulation mathématique
au processus de génération d’onde électromagnétique par photoconduction ont été réalisées [49, 50, 51, 52, 53]. E. Camus et al [49] ont développé une approche théorique basée sur des modélisations Monte Carlo. Cette approche est quasiment complète, car elle considère que le champ térahertz émis résulte de la mise en mouvement individuelle des groupes de porteurs de charges photocrées dans le semi-conducteur.
Nous avons
travaillé avec des antennes larges ouvertures et des antennes à faible espace
inter-électrode. Dans le cas des antennes possédant un espace
inter-électrode faible par rapport aux longueurs d’onde d’émission, le modèle
mathématique approprié pour décrire la génération térahertz est basé sur les
équations de transports de charges et de rayonnement dipolaire. Ce modèle
suppose que le rayonnement est généré par une variation temporelle de la
densité surfacique de charges. Plus exactement en assimilant le photoconducteur à un dipôle Hertzien dans
un milieu isotrope d’indice, le champ rayonné à une distance r dépend du moment
dipolaire
[54] et s’exprime comme :
Les trois termes
entre parenthèses dans l’équation (1.27) se rapportent respectivement : au
champ statique, au champ proche et au champ lointain. Nous nous intéressons au
champ lointain qui varie comme. La première dérivée du moment dipolaire étant égale au
produit entre le photocourant
dans le gap (espace
inter-électrode) et la longueur du dipôle, on en déduit que le champ lointain
térahertz est proportionnel à la dérivée première du photocourant.
Le
photocourant circulant dans
l’antenne est défini comme le produit de convolution [55] entre l’impulsion
optique
et la réponse du matériau GaAs-BT.
,
,
, sont respectivement la densité des porteurs, la charge
électrique, la vitesse de déplacement des électrons ou des trous.
Remarques :
En générant le faisceau térahertz par photoconduction, le champ laser et la tension statique ont des effets bien définis :
- Lorsqu’on fait varier la puissance optique, on constate que l’amplitude du signal croit linéairement avant d’atteindre la valeur de saturation. Un autre effet du champ optique est lié à la durée de l’impulsion laser qui affecte directement le temps de montée du photocourant.
- Le champ térahertz rayonné dérive de la densité de courant et les deux termes sont liés par une relation de proportionnalité. Comme la densité de courant est proportionnelle au champ statique, il en est de même de l’amplitude de l’impulsion générée.
- En annexe, nous présenterons une
analyse théorique de la génération térahertz par photoconduction qui met en
évidence les effets avancés ci-dessus. Cette étude portera sur des antennes larges ouvertures, c’est-à-dire que l’espace
inter-électrode est grand devant la longueur d’onde centrale du rayonnement.
La figure 1.14 représente l’impulsion térahertz rayonnée dans l’espace libre et son étendue spectrale dans le domaine térahertz obtenue numériquement par transformée de Fourier. Ce signal a été généré et détecté par des photocommutateurs. Sur l’antenne émettrice polarisée par une tension statique de 20 V, le faisceau optique de 40 mW est focalisé et positionné de façon à minimiser la résistance moyenne du gap photoconducteur.
Le signal
présente deux pics ; un pic positif et un pic négatif. La transition
permettant d’atteindre le pic positif se fait entre -0,6 nA et 12 nA et sa
durée temporelle est estimée à 3 ps, avec une largeur à mi-hauteur de 0,89 ps.
Le pic négatif est obtenu lorsque le courant chute de 12 nA à -9 nA ;
cette transition est extrêmement rapide (1,09 ps) avec une largeur à mi-hauteur
de 2,4 ps. Les composantes les plus hautes en fréquence se retrouveront par
conséquent, dans cette partie de l’impulsion térahertz. Les deux pics forment
des lobes presque symétriques ; la faible dissymétrie observée entre eux
peut être attribuée aux éléments passifs (lentilles et miroirs paraboliques)
employés dans le dispositif expérimental. Cette dissymétrie peut aussi trouver
son origine dans l’expression mathématique du photocourant détectée dont la
forme n’est pas rigoureusement Gaussienne. En effet, il dépend de plusieurs facteurs : le champ laser,
les propriétés optoélectroniques des semi-conducteurs dans les antennes ou de
la fonction réponse du détecteur.
Figure 1. 14 : Spectre temporel et fréquentiel térahertz généré par un photocommutateur à faible espace inter-électrode.
* Influence de la
tension de polarisation
La figure
1.15 présente le comportement observé expérimentalement et théoriquement
sur le champ térahertz lorsque la tension du photoconducteur émetteur varie. La
première partie (figure
Figure 1.15 : Variation de l’amplitude
(expérimentale) du champ térahertz en fonction de la tension statique (A).
Spectres temporels théoriques en fonction de la tension statique (B)
* Influence du champ
laser
Dans la figure 1.16,
nous présentons l’effet de deux paramètres importants de l’impulsion laser au
niveau du champ térahertz. La figure
Pour comprendre l’influence de la durée de
l’impulsion laser sur le champ térahertz généré, une étude théorique a été
réalisée. Nous avons fait varier la durée des impulsions laser (100 fs ;
500 fs ; 1.5 ps et 3 ps) dans l’équation (5.20). Le résultat théorique obtenu
(figure 1.16 B) montre que la largeur temporelle du champ térahertz
diminue lorsque la durée de l’impulsion laser diminue. Cette observation
confirme le choix des lasers délivrant des impulsions femtosecondes.
Nous venons de voir les deux techniques de génération térahertz exploitées dans le cadre de ce travail. L’analyse et l’utilisation du champ térahertz émis ont été possibles parce que nous avons utilisé des systèmes de détections térahertz efficaces.
Les méthodes de détections térahertz exploitées ou utilisées dans le cadre de ce travail sont basées sur des processus de photoconduction dans les photocommutateurs et d’effets non-linéaires d’ordre 2 dans les cristaux électrooptiques.
Connue de manière simultanée avec la génération térahertz par photoconduction depuis les années 1980, la détection photoconductive [55] est une technique largement exploitée. L’antenne utilisée (figure 1.17) est excitée par une partie du champ optique délivré par le laser ; sa structure est identique au photocommutateur (figure 1.13) qui génère l’onde submillimétrique. Contrairement à l’émetteur, elle n’est pas connectée à une tension statique mais à un amplificateur de courant.
Figure 1. 17 : Principe de la détection térahertz par photoconduction.
L’impulsion laser crée des paires
électrons-trous au niveau de l’espace inter-électrode, la résistivité de
l’antenne mesurable avec un ohmmètre voit sa valeur fortement diminuer. Le
champ térahertz incident entraîne les porteurs photocréés ; ceux-ci induisent
un courant par l’intermédiaire de
leur mouvement. Ce courant que l’on détecte est une convolution entre
l’impulsion laser et la réponse du photodétecteur :
est le décalage
temporel entre l’arrivée du champ térahertz et le pulse optique sur le
détecteur. En considérant une durée de vie des porteurs de charges inférieure à
la durée de l’impulsion optique, la conductivité de surface s’exprime à l’aide
d’un Dirac
.
Cette expression de la conductivité permet de
réécrire le courant térahertz comme une
fonction linéaire du champ térahertz à
un instant t, soit :
Les photocommutateurs ne sont pas des détecteurs idéaux car ils ne retranscrivent pas la forme temporelle réelle du champ électrique térahertz. En effet, le temps de vie des porteurs et la longueur de l’espace inter-électrode sont des facteurs qui influencent les capacités de détection du dispositif [56]. La largeur spectrale d'une antenne de type dipôle est fonction de la distance entre les électrodes. Un dipôle, possédant un gap (espace inter-électrode) plus large, est plus efficace pour détecter les basses fréquences, mais sa bande passante est plus étroite. Pour s’affranchir de ce problème, on s’oriente vers des antennes petit gap, qui favorisent les hautes fréquences. La détection par photoconduction reste cependant l’une des techniques de détection térahertz les plus utilisées.
En 1995, Wu et Zhang démontrent qu’il est possible de détecter les radiations térahertz se propageant dans l'espace libre par échantillonnage électrooptique [57]. Ils utilisent comme échantillonneur un cristal de LiTaO3 d’épaisseur 500 μm dont l’axe est parallèle à la polarisation du champ électrique THz. Les mêmes auteurs montrent qu’en remplaçant le LiTaO3 par un cristal de ZnTe [58], on obtient un meilleur rapport signal sur bruit. Hormis le ZnTe dorénavant très utilisé, d’autres matériaux comme le CdTe, GaP, DAST et le LiNbO3 sont employés pour détecter du térahertz par échantillonnage électrooptique. La détection nonlinéaire est basée sur l’emploi de cristaux présentant un effet Pockels. Cette technique a le mérite d’être tout optique. Nous avons travaillé avec un spectromètre qui utilise la détection électrooptique dans l’équipe de spectroscopie térahertz du Pr Petr Kuzel. La figure 1.18 présente la technique expérimentale.
Soit le champ électromagnétique térahertz généré par l’émetteur,
il se propage dans l’espace libre en passant au travers d’une lame séparatrice
« pellicle » avant d’interagir avec le cristal de ZnTe. La pellicle
est utilisée pour coupler spatialement le signal térahertz et le signal optique
de sonde dans le ZnTe. La présence du rayonnement térahertz dans le ZnTe induit
une modification de l’ellipsoïde des indices par effet Pockels. En superposant le faisceau sonde de polarisation linéaire
au rayonnement térahertz dans le cristal, le déphasage engendré par le champ térahertz
transforme la polarisation circulaire du champ laser en une polarisation
elliptique.
Figure 1. 18 : Principe de la détection térahertz par effet électrooptique.
La lame permet de mesurer les
polarisations suivant les deux axes. Les
deux composantes sont différenciées par un prisme de Wollaston avant d’être
injectées dans des photodiodes balancées. La différence d’intensité entre les
deux photodiodes est proportionnelle au champ térahertz incident.
Avec pm/V son coefficient électrooptique,
l’intensité du champ
optique,
l’indice du cristal de
ZnTe et
son épaisseur. La différence d’intensité
est directement
proportionnelle au champ électrique térahertz. Si le champ électrique n’est
plus constant, mais a la forme d’une impulsion, il suffit de faire varier le
décalage temporel entre l’onde térahertz et le faisceau optique. Le profil
temporel de
est reconstitué en
relevant différentes valeurs de
en fonction du temps.
Dans l’article
« Electro-optic detection of terahertz radiation » de G. Gallot et D.
Grischkowsky, publié dans Journal of the Optical Society of America B Vol. 16
No. 8 / August 1999, nous avons pu retrouver une étude complète et toutes les
données théoriques utiles à la simulation de la détection térahertz électro-optique.
La réponse en fréquence, notée, est donnée par l’expression ci-dessous :
Avec
Figure 1. 19 : Réponse d'un détecteur électrooptique en fonction de l'épaisseur du cristal.
La figure
1.19 montre le tracé de la réponse en fréquence (équation ) pour différentes épaisseurs du cristal de
ZnTe. Les résultats obtenus montrent que la réponse spectrale dépend fortement
de la longueur du cristal dans lequel le champ térahertz et le champ optique se
propagent. Plus la longueur du cristal est faible, plus la réponse spectrale
est élevée. Dans le cas ou la longueur du cristal est inférieure ou égale à
La génération térahertz par effet de surface est une technique très aisée à mettre en œuvre ; il suffit de disposer d’un laser femtoseconde et d’un semi-conducteur à petit gap. Le champ térahertz émis est la contribution de trois processus : le champ de surface, l’effet photo-Dember et les effets nonlinéaires. Ces trois effets sont présents à des degrés différents dans les deux semi-conducteurs qui font l’objet de ce travail ; l’InAs et les alliages InGaAs dopés par des ions bromes. Les résultats expérimentaux montrent que l’amplitude du champ térahertz émis dépend de la puissance optique et de la densité d’ions bromes implantés dans l’InGaAs. L’InAs demeure cependant un meilleur candidat par rapport aux InGaAs en termes d’amplitude (intensité térahertz) et d’élargissement spectral. Les effets nonlinéaires sont largement dominés par le champ de surface et l’effet photo-Dember dans les substrats InGaAs tandis que dans l’InAs, leur contribution n’est pas négligeable. Cependant ces deux semi-conducteurs peuvent être utilisés pour assembler des bancs de spectroscopie térahertz possédant une bande passante proche de 3 THz et dont le rapport signal sur bruit est de l’ordre de 300.
Parallèlement à l’émission de surface, l’émission térahertz par photoconduction a été utilisée pour mettre au point un banc de spectroscopie dédié à l’imagerie térahertz. Les photocommutateurs sont de très bons émetteurs térahertz comme le confirme l’exemple du spectre térahertz que nous avons représenté à la figure 1.14. Par comparaison avec l’émission de surface, on constate que la puissance térahertz délivrée par les photocommutateurs est largement supérieure à celle de l’InAs et de l’InGaAs. Mais, leurs bandes passantes térahertz demeurent inférieures à l’élargissement spectral obtenu lors de la génération térahertz par effet de surface.
Les techniques
photoconductives ou électrooptiques sont deux méthodes très utilisées pour
détecter les impulsions térahertz. Elles peuvent être différenciées en fonction
de leurs caractéristiques. La détection électrooptique est une technique
très sensible aux bruits du laser et aux bruits basses fréquences mécaniques et
acoustiques. En effet un faible changement de la polarisation du champ térahertz
est détecté sur le faisceau sonde. Les antennes photoconductives induisent
directement un courant détecté par le champ optique au niveau de l’espace
inter-électrode du photocommutateur. Ce courant est le plus souvent indépendant
des causes extérieures. Cependant pour extraire le signal térahertz avec les
deux techniques, on est obligé de moduler le faisceau laser ou le champ térahertz.
Lorsqu’on module le faisceau optique ou le faisceau térahertz par des
fréquences faibles (quelques kHz), le rapport signal sur bruit donné par une
détection par effet Pockels à basse fréquence () est inférieur à celui donné par une détection
photoconductive [41]. Pour des fréquences supérieures (
), la sensibilité du photocommutateur diminue alors que celle
d’un cristal nonlinéaire reste acceptable mais dépend de son épaisseur [59,
60]. Il est à noter que l’étendue spectrale détectée est liée à la bande
passante de l’émetteur et à la durée de l’impulsion laser. Le phonon optique
dans le GaAs (8 THz) ou dans le ZnTe (5,31 THz) freine considérablement
l’élargissement de la bande passante. En général pour avoir une bande spectrale
térahertz large, on fait le plus souvent appel à une détection électrooptique [58].
Cependant, Kono et al [61] ont montré qu’en utilisant une émission par
redressement optique, la détection photoconductive peut couvrir 50 THz.
Après avoir décrit les grandes tendances expérimentales de la génération et de la détection d’une radiation térahertz, nous allons aborder le montage des spectromètres.
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*********************************************
*********************************************
Dans ce chapitre, nous décrirons les dispositifs expérimentaux développés et utilisés pour caractériser électriquement les matériaux aux fréquences térahertz. Ces bancs de spectroscopies se différencient en fonction de leurs constituants de base (émetteur, détecteur) et des optiques (lentilles et miroirs paraboliques) utilisés pour collecter et guider le champ térahertz. La génération par effet de surface et la détection par photoconduction sont à la base du premier spectromètre, qui est exclusivement réservé à la caractérisation de matériaux. En dehors de ce spectromètre, nous avons assemblé un deuxième spectromètre dont le fonctionnement est basé sur les photocommutateurs. Cet instrument intervient principalement pour des expériences d’imagerie térahertz. Enfin, nous avons, à Prague, exploité la nonlinéarité dans le ZnTe pour émettre et détecter le champ térahertz. Après la mise en place du spectromètre, on s’intéressera à la caractérisation de l’onde submillimétrique générée. La dernière partie du chapitre est consacrée à la théorie du traitement du signal permettant d’extraire les paramètres diélectriques d’un matériau par spectroscopie térahertz résolue en temps.
Pour élaborer le
spectromètre térahertz, nous disposons de deux catégories d’éléments : les
éléments actifs et les éléments passifs. Les éléments actifs sur lesquels nous
ne reviendrons pas, laser titane saphir, émetteur de surface, détecteur
photoconductif ont été abordés dans le chapitre 1. Les éléments passifs ou
optiques térahertz que nous allons présenter sont essentiellement des miroirs
paraboliques ou des lentilles (lentille silicium, lentille téflon, lentilles en
polyéthylène etc.) dont le rôle est de collecter l’onde térahertz émise et de
la guider vers le détecteur.
Contrairement à l’optique où les lentilles sont préférentiellement utilisées, ce sont davantage les miroirs qui sont exploités pour mettre en forme les faisceaux térahertz. La principale raison de cette différence d'approche tient au fait que pour s'affranchir des problèmes de diffraction, les lentilles doivent être forcement de très grandes dimensions. Ces grandes dimensions conduisent à des épaisseurs conséquentes de matériau traversé, induisant à leur tour, des pertes significatives dues à l’absorption résiduelle.
Figure 2. 1 : Rôle des lentilles planes convexes sur la propagation des radiations électromagnétiques.
Dans le domaine térahertz, les lentilles sont principalement utilisées avec
les antennes photoconductrices d'émissions et de réceptions afin d'éliminer les
réflexions à 1'interface entre l’air et le substrat. Selon la taille et la
forme des lentilles utilisées, celles-ci servent à assurer une meilleure
adaptation d'impédance de l’antenne avec le vide et jouent le rôle d'élément de
collimation et de mise en forme du faisceau térahertz émis ou reçu par
1’antenne. Dans l’approximation de l’optique géométrique, deux formes de
lentilles plano-convexes s'avèrent particulièrement intéressantes car elles
assurent la condition de stigmatisme rigoureux (i.e. elles permettent de former
une image ponctuelle à partir d'un point source particulier) [1] :
-
la lentille hyper-hémisphérique
d'extension (figure
-
La lentille hémisphérique ou demi-boule (figure
2.1 b))
Lorsqu'elle est intégrée à une antenne photoconductrice, la lentille demi-boule
est conçue en intégrant l’épaisseur du substrat. Cela garantit ainsi qu'aucune
onde ne restera prisonnière du substrat, lequel en l’absence de lentille joue
le rôle de guide planaire à fort confinement étant donné 1'indice de réfraction
élevé du GaAs. L'ajout d'une telle lentille permet de collecter beaucoup plus
efficacement les ondes émises dans le substrat par l’antenne photoconductrice
mais sans changer la dispersion angulaire du lobe principal.
Ainsi la collimation d'un faisceau émis par une lentille hyper hémisphérique est beaucoup plus aisée à réaliser car elle nécessite un miroir parabolique hors axe de faible ouverture numérique. Elles peuvent également garantir un stigmatisme rigoureux (points de Weierstrass). En dépit d'une réalisation beaucoup plus délicate, ces lentilles sphériques présentent l’avantage de réaliser un compromis entre une collection efficace des ondes émises dans le substrat d'une part et un resserrement angulaire du lobe principal d'émission du champ térahertz d'autre part.
Afin de limiter les réflexions de Fresnel aux
interfaces semi-conducteur/lentille et les pertes, les matériaux utilisés pour
fabriquer les lentilles devront présenter une absorption faible aux longueurs
d'ondes térahertz, ainsi qu'un indice de réfraction le plus proche possible de
celui du semi-conducteur émetteur InAs ou GaAs (n GaAs = 3,6). Dans le domaine térahertz,
plusieurs matériaux présentent des absorptions faibles (< quelques cm-1)
et répondent ainsi à nos objectifs : il s’agit du Silicium, du Téflon, du
Polyéthylène haute densité ou de
Figure 2. 2 : Lentilles térahertz.
- Lentille Silicium
Le silicium haute résistivité est un
matériau possédant une faible absorption aux fréquences térahertz et un indice
(3,41) [2] quasi constant entre 0 et 3 THz et proche de celui du GaAs.
Il est très privilégié pour l’élaboration des lentilles collimatrices. De forme
hyperhémisphérique, la lentille silicium est accolée au substrat GaAs-BT dans
les photocommutateurs. Elle est composée d’une demi-sphère de rayon
Pour le silicium h=1.29R
En général, le paramètre h est
choisi pour permettre à un faisceau parallèle incident sur la face bombée de la
lentille d’être focalisé sur l’autre face [4]. Une platine (x,y) permet
d’ajuster la position de la lentille sur le foyer source. Cet alignement
est critique car un désalignement de quelques microns induit une perte de plus
d’une décade sur le courant détecté.
-
Lentille Téflon
Le téflon, dont le nom scientifique est le
polytétrafluoroéthylène (PTFE) est fabriqué à partir d’un monomère de
tétrafluoroéthylène par polymérisation radicalaire. Ce matériau présente
plusieurs propriétés intéressantes dans le domaine térahertz comme une
absorption faible, une faible dispersion et un indice de réfraction de 1,438 [5]. Avec ces
caractéristiques, il est très utilisé dans le domaine millimétrique et
sub-millimétrique comme fenêtre ou lentille. La lentille en téflon que nous
utilisons a été usinée au laboratoire, elle est montée et placée à une distance
inférieure à
- Polyéthylène haute densité (PEHD) et Picarin
Ce sont des lentilles intermédiaires utilisées dans une
configuration dans le spectromètre térahertz,
étant la distance
focale de la lentille. Elles sont insérées dans le spectromètre térahertz entre
l’émetteur et le récepteur. Leur rôle essentiel est de modifier la propagation
du champ térahertz en réduisant sa dispersion angulaire ou en permettant
d’obtenir un point focal térahertz dont le diamètre est inférieur à celui donné
dans un dispositif classique à miroirs paraboliques. Le polyéthylène présente
un indice faible dans le domaine térahertz (n = 1.53), mais son usinage est
très difficile.
Figure 2. 3 : Schéma d’un miroir parabolique à 90°
Des miroirs paraboliques d’axe 90° (figure 2.3) ou 45° sont
régulièrement exploités dans nos bancs de spectroscopies. Le diamètre du point
focal du miroir parabolique est spécifique à chaque longueur d’onde et égale à avec
la longueur d’onde [7].
est la distance focale
du miroir et
son ouverture. Pour
collecter efficacement la radiation térahertz, on utilise préférentiellement
quatre miroirs paraboliques. La première parabole sert à collimater l’onde
générée, la deuxième parabole crée un point focal térahertz pour chaque
longueur d’onde, la troisième parabole récupère le champ térahertz qui diverge
après le point focal et l’envoie vers le quatrième miroir parabolique. Celui-ci
concentre en la focalisant la radiation térahertz sur le détecteur (montage
2f-2f-2f-
Parmi les différents montages expérimentaux développés au laboratoire, deux ont été largement exploités. Nous présentons ces deux bancs de mesure et le dispositif que nous avons exploité à Prague pour faire des mesures en fonction de la température.
La
figure 2.4 représente une description schématique du spectromètre en
mode transmission basée sur une génération térahertz par effet de surface et
une détection térahertz par photoconduction. La configuration, dite en
transmission résulte, du fait que le faisceau térahertz généré par l’émetteur
passe à travers l’échantillon à étudier avant d’être mesuré sur le détecteur.
Le faisceau optique de puissance 130 mW, centré à 800 nm, issu du laser, est
séparé en deux par une séparatrice 80/20. La partie contenant 80% de
l’intensité laser appelée faisceau pompe est focalisée sur l’émetteur où elle
génère le champ térahertz par le processus d’effet de surface défini dans le
chapitre 1. Le faisceau sonde, c’est-à-dire les
20% de l’intensité laser sont focalisé sur le détecteur pour permettre
la détection du champ térahertz par photoconduction. Le champ térahertz émis
est guidé jusqu’au détecteur par l’intermédiaire d’un système de quatre miroirs
paraboliques à 90°. Les quatre miroirs forment un système huit (
étant la distance focale d’un miroir parabolique) qui permet
d’avoir un point focal entre les miroirs 2 et 3. L’émetteur et le détecteur
sont séparés d’une distance proche de
.
Figure 2. 4 : Banc de spectroscopie térahertz.
La figure 2.5 présente une photographie du montage expérimental.
Figure 2. 5 : Spectromètre dédié aux expériences d'imageries térahertz.
Le spectromètre
« Emetteur photoconductif-détection photoconductive » est composé
d’une double paire de photocommutateurs
de marque EKSPLA et de quatre miroirs paraboliques. Le rôle des miroirs
paraboliques a été défini dans le premier spectromètre. Entre les miroirs paraboliques (2 et 3), on
insère parfois deux lentilles (polyéthylène) pour changer les dimensions du
point focal térahertz et l’ouverture numérique. Ce banc de spectroscopie est
piloté par un laser Titane –Saphir (Femtolaser) dont le fonctionnement est
exclusivement impulsionnel. Il est centré à 810 nm et délivre une puissance
estimée à 230 mW. La durée d’impulsion
est inférieure à 50 fs avec une
largeur de bande de 25 nm. La technique utilisée pour générer et détecter les
ondes térahertz avec des photocommutateurs a été abordée dans le chapitre
Nous avons travaillé avec
ce spectromètre lors de mon séjour au Laboratoire de Spectroscopie térahertz de
Prague sous la direction du Professeur Petr Kuzel. Dans ce spectromètre, la
génération térahertz est réalisée avec un cristal électrooptique (ZnTe)
d’épaisseur
Longueur
d’onde centrale
800 nm Durée
d’impulsion
50–80 fs (ajustable) Bande
spectrale 15–40
nm Taux
de répétition 76MHz Energie par impulsion 8 nJ Nombre
de photons par impulsion 3:5*1010 Puissance
650mW
L’amplitude maximale du champ générée
par ce spectromètre, est de plusieurs kV/cm avec une largeur de bande estimée à
2,5 THz. Une photographie montrant une vue d’ensemble du spectromètre est
représentée par la figure 2.6.
Figure 2. 6 : Vue externe et interne du spectromètre de Prague. 1 : Emetteur térahertz ; 2 : Faisceau térahertz ; 3 : Porte échantillon ; 4 : Faisceau pompe optique ; 5 : Pellicle ; 6 : Faisceau d'échantillonnage ; 7 : Cristal électrooptique ; 8 : Cellule de mesure (photodiodes).
Après la mise en place simultanément de la génération et de la détection térahertz dans les spectromètres, il est primordial de caractériser la propagation de l’onde térahertz. Cette caractérisation du champ térahertz détecté, passe par la reconstitution du signal térahertz mesuré et par la connaissance de la distribution spatiale de l’énergie totale ou de l’énergie propre à chaque fréquence.
Pour reconstituer le
signal térahertz, nous utilisons la technique d’échantillonnage en temps
équivalent. Suivant le principe physique mis en jeu lors de la détection, on
parle d’échantillonnage photoconductif [8] ou électrooptique [9] (voir
chapitre 1). Ce processus n’est possible que si on utilise des systèmes de mesure dont la
bande passante est bien inférieure à celle du signal rapide mesuré. Pour que
cette condition soit remplie, le signal doit impérativement être périodique
pour qu'il puisse être synchronisé avec le signal utilisé pour la mesure. Cette
synchronisation est facilement obtenue lorsque les signaux sont générés
optiquement (impulsions ultra-brèves) puisque la même impulsion génère le
signal et déclenche sa mesure. En retardant l'impulsion optique (rôle de la
ligne à retard), dédiée à la mesure par rapport au signal à échantillonner, on
mesure la trace d'intercorrélation du signal avec la forme de la fenêtre
temporelle dédiée à la mesure. En effet, l'impulsion optique va déclencher la
mesure dont la durée lui est proportionnelle ; le signal sera supposé ne pas trop varier
pendant la durée de la mesure. Il est donc impératif que cette fenêtre
temporelle soit très courte par rapport au signal à mesurer. Le signal térahertz émis et
détecté par le spectromètre étant fonction du temps, on accède à son amplitude
en un instant déterminé. La
périodicité du signal (figure 2.7) permet de répéter la mesure sur
toutes ses périodes chaque mesure pouvant être effectuée à un instant
différent. Le signal peut alors être reconstitué à partir de cette série de
mesures ponctuelles. La technique d’échantillonnage repose sur la même approche
pour tous les spectromètres.
En principe, ce n’est pas le champ électromagnétique térahertz
qui est mesuré mais un photocourant qui lui est proportionnel. Avec une
émission de surface, le courant moyen mesuré au niveau du dispositif dépasse
rarement 3 nA et avec une émission par photoconduction, on peut obtenir
plusieurs dizaines de nA. Afin de pouvoir mesurer les faibles courants moyens
engendrés dans le détecteur, nous utilisons un hacheur optique et un amplificateur
à détection synchrone : SR830 DSP fabriqué par « Stanford Research
System ».
Figure 2. 7 : Echantillonnage en temps équivalent d’un signal térahertz
Le
détecteur synchrone et l’hacheur optique sont utilisés conjointement pour
permettre d’augmenter le rapport signal sur bruit. L’hacheur optique module le
faisceau optique au niveau de l’antenne émettrice ou module le champ térahertz
généré. Ces éléments permettent de s’affranchir des différentes sources de
bruit et surtout de celles qui
favorisent une augmentation de l’amplitude térahertz à basses fréquences (cas
du bruit laser). La constante de temps, délivrée par le détecteur synchrone
pour intégrer le signal térahertz sur toute la distance de déplacement de la
ligne à retard, influence surtout l’amplitude du signal mesuré. Nous avons
constaté qu’un signal obtenu pour une constante de temps égale à 300 ms est
légèrement supérieur au signal mesuré à 100 ms. Dans la figure 2.8, nous
avons représenté la mesure effectuée au niveau du détecteur térahertz pour une
fréquence de rotation du hacheur optique nulle et pour une fréquence de 1800
Hz. Le résultat montre qu’en absence d’une modulation du champ térahertz ou du
champ optique, le signal térahertz est confondu ou inhibé par les différentes
sources de bruits. Par contre, si on module un des deux champs, on extrait
l’onde térahertz. Le champ térahertz est
quantifiable à partir d’une fréquence de rotation de l’hacheur optique estimée
à une dizaine de Hz.
Figure 2. 8 : Signal térahertz détecté en fonction du temps pour différents fréquences du hacheur optique.
Par métrologie du champ térahertz, nous sous-entendons l’étude du faisceau submillimétrique qui se propage entre l’émetteur et le détecteur. Cette étude s’inscrit logiquement dans le cadre de ce travail. Pour entreprendre des mesures par spectroscopie térahertz, il est primordial de connaître la distribution spatiale de l’énergie, la position du Waist (diamètre du faisceau) et son rayon. Cette étude a été menée sur le spectromètre 1 (effet de surface) et le spectromètre 2 (photoconduction). Dans ce dernier, la variation du waist de chaque fréquence a été également étudiée car la notion d’image est étroitement liée à la couleur, donc à la fréquence. Ces expériences ont été réalisées par la technique dite de la « lame de couteau ». On place une lame de cutter sur un support motorisé (x,y) avec un pas fixé à 200 µm mais ajustable dans une direction perpendiculaire au champ térahertz. On enregistre l’impulsion térahertz qui se propage pour chaque position de la lame de cutter. Grâce au spectre enregistré, nous allons extraire les caractéristiques du champ térahertz dans le spectromètre. Par hypothèse, nous supposons que le courant térahertz détecté ITHz(z) prend la forme de l’intégrale d’une Gaussienne dont le profil est assimilé à la fonction erreur [10].
I0 est l’intensité totale du faisceau térahertz ; z la position de la lame de couteau, x0 est la position pour laquelle l’intensité maximale est divisée par 2 et w0, le Waist.
* Distribution spatiale du champ
térahertz généré par émission de surface
Dans le
spectromètre basé sur l’émission térahertz par effet de surface, nous avons
étudié expérimentalement grâce à la technique de couteau définie précédemment
la distribution spatiale de l’énergie térahertz. Pour trois positions
différentes (centre des miroirs 2MP90 et 3MP90;
Figure 2.9 : Profil expérimental spatial de l’amplitude térahertz et fits théoriques.
* Distribution spatiale et
fréquentielle du champ térahertz généré par photoconduction
La figure 2.10 est
la partie centrale du spectromètre représenté par la photographie de la figure
2.5. Les miroirs paraboliques à 90° sont désignés par MP90.
Figure 2. 10 : Métrologie térahertz dans le spectromètre
2.
Dans ce spectromètre, nous avons
déterminé la position et les dimensions du waist dans deux configurations
différentes. La première étude est consacrée au champ térahertz guidé par les
miroirs paraboliques et la deuxième étude concerne le champ térahertz guidé
conjointement par l’association entre les miroirs et les lentilles en
polyéthylène haute densité. Dans les deux configurations, nous nous intéressons
à la répartition de l’intensité térahertz entre les miroirs paraboliques 2MP90
et 3MP90 et à la distribution du photocourant propre à chaque fréquence. La figure
2.11 présente les formes des impulsions térahertz. Ces résultats ont
été obtenus en appliquant un fit Gaussien sur les dérivées des signaux
expérimentaux mesurés par la technique de la lame de couteau.
Figure 2. 11 : a) Profil Gaussien de l’amplitude terahertz entre les miroirs (M). b)
Profil Gaussien de l’amplitude terahertz entre les lentilles (L). c) Variation
du diamètre du waist en fonction de la fréqence.
Les figures (
En gardant la même
configuration expérimentale, nous avons tracé l’évolution de l’amplitude du
photocourant térahertz détecté. Cette étude diffère de la précédente car on
s’intéresse non pas à une fréquence, mais à l’ensemble des fréquences obtenues
par l’intermédiaire de la transformée de Fourier. Que ce soit entre les
lentilles ou entre les miroirs, les résultats expérimentaux montrent la même
variation et le modèle théorique (forme Gaussienne) choisi est adapté à leur
description. Au centre des miroirs paraboliques, le diamètre du champ térahertz
est estimé à
Figure 2. 12 : Propagation du champ térahertz dans le spectromètre 2
Il existe dans la région millimétrique (micro-onde et infrarouge) des techniques expérimentales permettant de caractériser des matériaux dont l’utilité s’accroît dans ce domaine de fréquence. Parmi ces méthodes, nous citons : les techniques de l’infrarouge classique et les techniques micro-ondes ou submillimétriques. Pour caractériser les matériaux dans l'optique infrarouge, on fait appel à des techniques harmoniques basées sur des dispositifs du type spectromètre à réseau ou à prisme, interféromètre Fabry-Pérot ou de Michelson [12]. Avec ces techniques, la source générant le champ électromagnétique peut être du type corps noir ou mono fréquence ; la détection reposant le plus souvent sur les détecteurs de puissances présentés précédemment : bolomètres [13] et cellules de Golay [14]. Quant aux techniques micro-ondes ou submillimétriques, elles sont de natures diverses : méthode en cavité, méthode utilisant une sonde, méthode utilisant des lignes de transmission ou des guides d’onde et la méthode en espace libre.
La méthode en cavité [15] peut être utilisée
pour mesurer la constante diélectrique de matériaux à faibles pertes. Le
matériau à caractériser est introduit dans une cavité résonante où sa présence
modifie le facteur de qualité de l’instrument de mesure. On extrait les
paramètres diélectriques du matériau en analysant les perturbations apportées
par l’échantillon. La méthode utilisant une sonde permet d’accéder aux paramètres diélectriques en
étudiant le coefficient de réflexion introduit par le matériau à caractériser.
Celui-ci est accessible par l’intermédiaire d’un capteur (ligne de transmission
par exemple) directement en contact avec l'échantillon à mesurer [16].
Avec les méthodes basées sur des lignes de transmission [17] ou des guides d’onde [18], la
détermination de la constante diélectrique ne peut être effectuée de façon
simple qu'aux fréquences pour lesquelles seul le mode fondamental se propage.
On remonte aux paramètres du matériau en analysant, à l'aide d'un analyseur
vectoriel de réseau, le signal transmis et réfléchi par la ligne de transmission.
La méthode en espace libre, basée sur l’utilisation d’impulsions électromagnétiques
ultra brèves que nous utilisons, est aussi désignée par spectroscopie térahertz
résolue en temps (THz-TDS).
Figure 2. 13 : Caractérisation d'un échantillon par THz-TDS en transmission
Le principe expérimental de spectroscopie térahertz est le même, quel que
soit le spectromètre utilisé. La figure 2.13 ci-dessus présente le
dispositif expérimental permettant de caractériser un échantillon par
spectroscopie térahertz. La technique de spectroscopie décrite ici est une technique temporelle,
les matériaux étant sondés en transmission par une impulsion térahertz au
spectre très large se propageant en espace libre.
La figure
2.14 présente les spectres térahertz dans le domaine temporel et dans le
domaine fréquentiel de deux impulsions térahertz obtenues avec le spectromètre
de Prague. Les mesures
présentées sont celles du courant moyen dans les photodiodes qui est
proportionnel au champ térahertz incident dans le ZnTe. L'amplitude crête
de l’intensité mesurée équivaut typiquement à un courant moyen de 9,28 nA et
10,61 nA respectivement pour un spectromètre ouvert et un spectromètre fermé.
Dans les deux cas, la largeur à mi-hauteur du pic principal est estimée à 0,4 ps. La fenêtre temporelle d’acquisition a
été fixée à 12 ps mais elle demeure variable et permet d’affiner la résolution
lorsqu’on passe dans le domaine fréquentiel car la résolution fréquentielle dépend de la largeur
temporelle T de la fenêtre de mesure. L’impulsion mesurée lorsque le
spectromètre est ouvert comporte plusieurs oscillations après le pic
principal ; elles reflètent la présence de la vapeur d’eau. Les spectres
fréquentiels montrent qu’on obtient une bande térahertz utile évaluée à 3 THz. La phase du signal térahertz rayonné
est extraite par transformée de Fourier et mesurée en radians. Elle est redressée
numériquement afin de la linéaires car elle présente des sauts de phase de
à l’issue du calcul de
la transformée de Fourier.
Une fois le fonctionnement du spectromètre optimisé, il est important de s’affranchir des perturbations extérieures pouvant affecter la validité des résultats. La principale source d’erreur provient de la présence des raies d’absorption de la vapeur d’eau dans le domaine térahertz. Pour mettre en relief ces raies d’absorption, nous avons tracé les transformés de Fourier des impulsions térahertz de la figure 2.14. La première est réalisée avec un spectromètre ouvert (présence de la vapeur d’eau), la deuxième avec un spectromètre fermé dans lequel on a fait le « vide ». A travers les résultats obtenus, on distingue assez facilement les raies d’absorption de la vapeur d’eau aux fréquences térahertz suivantes : 0,543 THz, 0,757 THz, 1,006 THz, 1,175 THz, 1,425 THz, et la plus significative à 1,674 THz. Ces valeurs sont en accord avec celles répertoriées dans la référence [19]. Lorsqu’on ne dispose pas de moyens technologiques permettant de faire le vide dans la chambre de mesure du spectromètre, on peut limiter l’influence de la vapeur d’eau de deux manières différentes. On diminue la distance de propagation du champ térahertz, c’est-à-dire qu’on réduit la distance entre l’émetteur et le détecteur ou qu’on travaille dans un environnement confiné ayant un faible taux d’humidité.
La détermination des
paramètres matériaux d'un échantillon peut commencer dès que le spectromètre
est calibré. Dans un premier temps, on mesure dans le domaine temporel,
l'impulsion électromagnétique se propageant entre les antennes en absence de
substrat et,
ensuite l’impulsion térahertz en présence du substrat à caractériser
. On
extrait les paramètres diélectriques du matériau (substrat) en analysant sa
fonction de transfert complexe T(ω), qui contient l’information
apportée par la perturbation
.
Figure 2. 14 : a) Impulsions térahertz mesurées dans le domaine temporel. b) Spectres fréquentiels donnés par les impulsions temporelles
Après les mesures de et
, une procédure à l’aide de la transformée de Fourier
numérique permet d'obtenir le spectre complexe (module et phase) de chaque
impulsion électromagnétique.
L’expression de la fonction de transfert est obtenue dans le domaine fréquentiel térahertz en divisant le spectre obtenu avec le substrat et le spectre obtenu sans le substrat :
Nous allons nous intéresser à deux cas décrits dans la figure 2.15:
le cas d’un matériau unique (substrat) et le cas d’une structure à deux
matériaux (substrat + film).
Figure 2. 15 : Mesures d'impulsions térahertz transmises
par n milieux.
Les chiffres 0, 1, 2, représentent respectivement le milieu ambiant
(air), le substrat et le film.
Avant de donner l’expression mathématique de la fonction de transfert
complexe dans les deux cas, il convient de considérer quelques hypothèses, tant
sur les propriétés du ou des matériaux à caractériser, que sur l’onde
électromagnétique térahertz. Le matériau sera supposé homogène, plan à
faces parallèles, magnétiquement
isotrope, sans charges de surface et il devra avoir une réponse linéaire. Le
faisceau térahertz est supposé posséder un front d'onde plan au niveau de
l'échantillon. Le matériau à caractériser sera éclairé par le faisceau térahertz
avec une incidence normale.
Le matériau (substrat) d’épaisseur ds et d’indice ns est représenté par le milieu 1. Il forme, dans un premier temps, deux interfaces avec un milieu identique (0) : l’air. En tenant compte des coefficients de transmission et de réflexion aux interfaces, définis en fonction des indices complexes des différents milieux, on obtient :
La fonction de transfert du substrat s’exprime par :
Avec l’indice de réfraction
complexe du substrat ou
et
sont respectivement sa partie réelle et sa partie imaginaire
(coefficient d’extinction). Le terme
est la contribution des réflexions multiples
(effet Fabry-Pérot) aux interfaces air-substrat-air dans le cas d’un matériau
unique.
Dans la figure 2.15, le matériau (film) d’épaisseur df et d’indice complexe est représenté par le milieu 2, il est déposé sur le
substrat. Pour extraire les paramètres optiques du film qui sera considéré
comme une couche mince par la suite, il faut d’abord caractériser le substrat
ou simplement connaître son indice de réfraction et son épaisseur.
est l’impulsion
temporelle térahertz attribuée au film mais, en réalité, transmise par la
structure à deux matériaux. Dans le domaine fréquentiel, l’expression de la
fonction de transfert du film, c’est-à-dire le rapport entre le champ térahertz
qui a traversé l’ensemble de la structure et celui qui a traversé le substrat, est donné par :
En prenant en compte les nouveaux coefficients de réflexion
aux interfaces
On trouve l’expression générale de la fonction de transfert du film :
Le terme est
la contribution des réflexions multiples (effet Fabry-Pérot) aux interfaces air-substrat-film-air
dans le cas de deux matériaux accolés.
Figure 2. 16 : a) Spectre temporel de référence et spectres transmis par la silice. b) Spectre temporel de référence et spectre transmis par le saphir.
Les formules et imposent deux cas de figure que l’on décrit dans la figure 2.16 ci-dessus.
Cas 1 :
Le spectre, transmis par le matériau ou par l’ensemble des deux matériaux, ne
comporte pas d’écho (figure
Cas 2 : Il existe des échos dans le spectre transmis par le ou les matériaux (figure 2.17 b)).
Dans
les figures
Dans
les deux cas, la diminution d'amplitude est due, non seulement aux coefficients
de réflexions de Fresnel aux interfaces, mais aussi à l'absorption de l'onde térahertz
dans le matériau.
-
Etude du cas 1
Dans le cas 1
que nous utilisons couramment pour extraire l’indice d’un matériau unique, par
hypothèse, nous avons .
L’équation donnant la fonction de
transfert dans le cas d’un matériau unique (substrat) devient par conséquent :
L’amplitude de
la fonction de transfert dépend de l’indice de réfraction, du coefficient d’extinction
et du coefficient d’absorption térahertz
du matériau défini par
.
La phase de la fonction de transfert est définie par :
La phase est surtout
fonction de l’indice de réfraction, et elle met en évidence le décalage
temporel entre le spectre de
référence et le spectre de l’échantillon. Le terme en arctan dans l’expression
de la phase, décrit le changement de phase aux interfaces. Après avoir trouvé
expérimentalement la variation de la fonction de transfert en fonction de la
fréquence térahertz, l’extraction des paramètres optiques
et
se fait en résolvant numériquement les équations et [20, 21].
- Etude du cas 2
Le cas 2 est généralement exploité pour extraire la fonction diélectrique
d’un film ou d’une couche mince. Comme l'impulsion transmise par le matériau
présente trois échos issus des réflexions aux interfaces air-matériau, le terme
est différent de 1.
La fonction de transfert devient, en prenant en compte dst , l’épaisseur totale de l’ensemble de la structure (substrat + film) :
Pour extraire la fonction diélectrique du film avec le modèle développé, les hypothèses suivantes sont à prendre en compte :
On effectue un développement limité
à l’ordre trois de l’expression contenue dans le dénominateur :
Dans le cas qui nous intéresse, les films minces (ferroélectriques) ont un indice supérieur à l’indice du substrat.
Le cas général du traitement de la fonction de transfert prend en compte le film mince avec échos incorporés. Des formules , et , on tire l’expression de la fonction diélectrique du film :
Le cas 2 peut aussi se ramener au cas 1 et permettre ainsi de simplifier l'expression analytique de la fonction de transfert. La technique consiste à fenêtrer l’intervalle temporel lors de l’acquisition du signal térahertz. Cette opération a pour but de supprimer les échos, mais aussi de diminuer la durée d'une série de mesures, puisque seule l'impulsion directement transmise sera mesurée et exploitée. Les aspects suivants : bruit du laser, reproductibilités de résultats, épaisseur de l’échantillon ou la méthode d’extraction peuvent affecter significativement la réponse diélectrique d’un matériau. En fonction de la nature et des spécificités de l’échantillon étudié, nous exposerons les sources d’erreurs et leurs impacts sur la réponse du matériau dans le domaine térahertz.
Figure 2. 17 : Spectroscopie térahertz en réflexion.
L’extraction des paramètres diélectriques dans une configuration en
réflexion [22] (figure 2.17) est quasiment identique à l’étude en
transmission. Dans ce nouveau cas, la première difficulté consiste à prendre en
compte minutieusement l’angle d’incidence du faisceau térahertz. La fonction de
transfert est le rapport entre
le champ réfléchi par le substrat
et le champ réfléchi sans substrat
.
La seconde
difficulté se situe au niveau du choix du porte échantillon (matériau ou
miroir) sur lequel le champ térahertz se réfléchit et aboutit à la mesure de . On dispose soit d’un miroir parfait, soit d’un matériau
dont les propriétés sont connues dans le domaine térahertz (exemple : le
silicium). Lorsque le faisceau térahertz est polarisé horizontalement, les coefficients de transmission et de réflexion
aux interfaces deviennent :
est l’angle
d’incidence du faisceau térahertz. Comme dans le cas de l’analyse en
transmission, on accède expérimentalement à
. Le calcul théorique permet par la suite de trouver l’indice
complexe du matériau (substrat). Les chiffres 2 et 3 renvoient respectivement au
silicium et au substrat.
Connaissant l’indice complexe du matériau avec
et
indice optique du matériau et coefficient d’extinction,
on peut, en employant les relations ci-dessous trouver les autres paramètres en
fonction de la fréquence.
- Le coefficient
d’absorption est défini par :
- La permittivité complexe
est égale au carré de l’indice complexe :
* Partie réelle de la permittivité :
* Partie imaginaire de la
permittivité :
Comme la réponse diélectrique du matériau est déduite d’un processus physique et causal, les mesures de la partie réelle et de la partie imaginaire de la permittivité sont par conséquent, dépendantes. Cette dépendance s’exprime à travers la relation de Kramers-Kronigs [23] :
- La conductivité est aussi une
grandeur complexe dont les parties
réelles et imaginaires sont liées à la permittivité par :
Lors de la caractérisation d’un
matériau aux fréquences térahertz,
après avoir analysé la perturbation apportée par le champ térahertz, les
relations entre les paramètres diélectriques que nous venons d’énoncer seront
utilisées pour extraire le comportement du matériau aux fréquences térahertz.
Les incertitudes concernant la détermination des
paramètres optiques des matériaux peuvent avoir des origines diverses.
-Incertitude due à la reproductibilité des résultats.
Une mesure de spectroscopie THz,
nécessite l'’acquisition de deux traces temporelles de l’impulsion térahertz :
la première sans échantillon, la seconde en présence de l’échantillon à
caractériser. Cet impératif implique une parfaite reproductibilité de
l’expérience, tant du point de vue de l’émission, que de la réception et du
système de mesure. Afin d’évaluer cette erreur sur la détermination des
paramètres d’un échantillon, nous avons réalisé une étude concernant la
reproductibilité de la mesure des impulsions térahertz transmises par
différents échantillons de Saphir. La figure 3.13 montre les modules des spectres mesurés
avec un même spectromètre sur trois échantillons de Saphir. Les résultats
temporels (valeur de l’amplitude) concernant les échantillons du saphir 2 et du
saphir 3 ont été divisés respectivement par 1,5 et par 2 pour une meilleure
lisibilité. L’amplitude des trois échantillons est identique que ce soit dans
le domaine temporel ou dans le domaine fréquentiel. De plus, l’élargissement
spectral est constant pour les trois mesures. La comparaison des trois spectres
montre la bonne évaluation de la reproductibilité de la mesure.
Figure 2.18 :
Impulsions térahertz générées par trois saphir d’épaisseur
- Incertitude due à l'épaisseur
de l'échantillon :
Une source d’erreur sur la détermination des paramètres optiques d’un échantillon est la connaissance de son épaisseur. En effet, l’épaisseur entre directement en compte dans le calcul de la fonction de transfert complexe, en plus de l’indice de réfraction et de la fonction diélectrique complexe, qui sont les paramètres recherchés. Nous avons vu que l’expression de la fonction de transfert peut, dans une première approximation, être exprimée en un terme de phase et un autre d’amplitude. Cette approximation peut nous permettre de déterminer l'ordre de grandeur de l’incertitude et de mettre en évidence l’influence des différents paramètres. Ainsi, à partir de l’expression du décalage temporel entre le spectre de référence et le spectre de l’échantillon, il est possible d'exprimer l’erreur relative induite sur l’indice de réfraction par celle sur l’appréciation de l’épaisseur de l’échantillon :
La détermination de l’épaisseur s’effectue dans la plupart des cas à l’aide d’un « Palmer », dont la précision est de 10 μm, soit, pour des épaisseurs de quelques centaines de μm, une incertitude non négligeable de quelques pour-cent sur l’épaisseur de l’échantillon et donc sur la détermination du coefficient d’absorption ainsi que sur celle de l’indice de réfraction.
Incertitude due au procédé d’extraction des résultats
L’extraction des paramètres matériaux, à partir des
spectres des impulsions précédemment mesurées, suppose l’épaisseur de l’échantillon
connue et constante sur toute la surface testée. Pour des échantillons de
quelques centaines de micromètres d'épaisseur, une erreur de l’ordre de 1% est
tout à fait envisageable. Afin de vérifier la parfaite reproductibilité de la
procédure d’extraction des paramètres diélectriques, à partir de la fonction de
transfert de l’échantillon, nous avons effectué plusieurs extractions sur des
séries d’expériences différentes. Le traitement de la fonction de transfert
peut induire des erreurs au niveau de l’approximation du terme de Fabry-Pérot.
Pour des échantillons uniques et homogènes, nous supposons que le terme
Fabry-Pérot est égal à 1. Cette hypothèse est vérifiée dans le cas d’échantillons
épais, pour lesquels l’analyse n’est réalisée que sur l'impulsion directement
transmise, et dans le cas d’échantillons dont l’indice de réfraction est
faible. Pour des couches minces, on limite les sources d’erreurs car nous
appliquons un développement à l’ordre 3 de la fonction de transfert. La figure 2.19 montre
la variation de l’indice des saphirs précédents en fonction de la fréquence. Ce
résultat montre que l’incertitude engendrée par la procédure d’extraction peut
sans aucun doute être négligée par rapport aux autres sources d’erreurs.
Ce chapitre a été consacré aux
spectromètres térahertz et à la technique expérimentale permettant de
déterminer les paramètres optiques d’un échantillon dans le domaine térahertz.
Les divers spectromètres utilisés ont été présentés en mettant en avant les
éléments passifs (miroirs et lentilles) permettant de guider et de propager le
champ térahertz en atténuant les pertes et la divergence. L’emploi d’un
dispositif possédant quatre miroirs paraboliques de focale donne un point focal
dont le diamètre est estimé à
La technique expérimentale, dite spectroscopie térahertz résolue en temps (THz-TDS) a été décrite de manière conjointe avec le traitement théorique de la fonction de transfert donnée par un matériau. L’expression mathématique de la réponse diélectrique complexe d’un matériau, dans le domaine térahertz, à partir de la fonction de transfert a été obtenue pour un matériau massif et pour un matériau en couche mince. La prise en compte des principales sources d’erreurs (dispositif expérimental, épaisseurs des matériaux et traitement théorique de la fonction de transfert) permet de négliger les incertitudes sur les résultats finaux.
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*********************************************
*********************************************
Dans ce chapitre, nous allons caractériser, dans le domaine térahertz les matériaux à changement de phase principalement les matériaux ferroélectriques. L’étude du comportement des matériaux ferroélectriques a réellement débuté dans les années 1940 [1] mais certains de ces matériaux étaient déjà connus quelques décennies auparavant : le sel de Rochelle en 1921 [2] et le phosphate de potassium [3] en 1935 sont deux exemples qui ont été très étudiés. Aujourd’hui les matériaux ferroélectriques aiguisent toujours la curiosité des chercheurs, particulièrement sous forme de couches minces. Nous ne présenterons, dans ce travail, que des travaux réalisés, uniquement sur des matériaux ferroélectriques sous forme de couches minces.
Dans une première partie, (divisée en plusieurs points) nous aborderons quelques aspects fondamentaux de la ferroélectricité. Nous présenterons ensuite les principales propriétés des matériaux ferroélectriques : le titanate de baryum (BaTiO3) et les dérivées obtenus par ajout de strontium, le titanate de baryum strontium (BaSrTiO3). Nous analyserons théoriquement les principaux modèles utilisés pour décrire le comportement de la fonction diélectrique complexe de ces matériaux.
Dans une seconde partie, nous montrerons les propriétés de ces composés déduites de leur caractérisation par spectroscopie térahertz résolue en temps. L’importance des modes de phonons mous caractéristiques de cette famille de matériaux et leurs conséquences sur les niveaux de perte seront mises en évidence. Parallèlement à cette démarche, les résultats obtenus par spectroscopie Raman sur le titanate de baryum, seront comparés aux résultats précédents. Nous clôturerons par un récapitulatif des résultats obtenus.
Les composés cristallisant sous la forme perovskite
ont une formule chimique qui se présente sous la forme générale ABO3.
Cette structure peut être décrite comme un réseau tridimensionnel d’octaèdres
BO6 liés par leurs sommets. Les cations Am+ forment des
sites dodécaédriques et les cations Bp+ forment des sites
octaédriques comme nous le verrons avec la structure cubique du titanate de
baryum. Les matériaux perovskites constituent une vaste famille de composés auquel
appartient le sous-groupe des matériaux ferroélectriques.
Les matériaux ferroélectriques sont caractérisés par
leur faculté de posséder un moment dipolaire permanent en absence de champ
électrique extérieur. Ce moment dipolaire résulte du décalage entre le
barycentre des charges négatives et le barycentre des charges positives. Dès
lors, cette dissymétrie spatiale de charges entraine que les groupes d’espaces
compatibles avec des matériaux ferroélectriques seront forcement
non-centrosymétriques. Le moment dipolaire permanent disparaît au-dessus d’une
certaine température, appelée température de Curie Tc. au-dessus de cette
température, le matériau est dans un état paraélectrique. Les matériaux
ferroélectriques sont en général classés suivant la nature de la transition
subie lors du passage de l’état paraélectrique à l’état ferroélectrique : la
transition est soit, de type ordre-désordre, soit de type displacive [4,
5, 6]. Le lecteur curieux pourra se référer à l’ouvrage de
Strukov et Levanyuk [7] relatant des transitions de phase et autres
phénomènes dans les cristaux ferroélectriques.
Dans un cristal ferroélectrique, il existe plusieurs
états stables, énergétiquement équivalents. A une maille (dans un état donné),
correspond un moment dipolaire de module et d’orientation donnée. L’ensemble
des mailles jointives dans le même état forme une région appelée domaine qui
possède ainsi une polarisation bien définie. En l’absence de champ électrique
ou de contraintes extérieures, la répartition des domaines est statistiquement
aléatoire. Cette configuration stable correspond à un minimum de l’énergie
libre totale du cristal [8] :
où Eelast, Eelect, Emur, Esurf sont respectivement les énergies élastiques et électriques du cristal, l’énergie des murs de domaine (parois séparant les domaines entre eux) et l’énergie de surface du matériau macroscopique.
Généralement, lors de la synthèse du matériau (effectuée en absence de contraintes mécaniques ou électriques), la répartition des domaines est telle que la résultante macroscopique de la polarisation du matériau est nulle. Par contre, il est possible de polariser le matériau en lui appliquant un champ électrique. L’évolution de la polarisation, en fonction du champ électrique appliqué, suit un cycle d’hystérésis (figure 3.1). Ce cycle est généralement obtenu en utilisant un montage expérimental de Sawyer-Tower [7].
Figure 3. 1: Cycle d’hystérésis d'un matériau ferroélectrique.
Ec et Pr sont respectivement le champ coercitif et la polarisation rémanente du matériau.
Il est d’usage de caractériser les matériaux
ferroélectriques par leur champ coercitif (Ec) c’est-à-dire la valeur du champ électrique
qui permet d’annuler la polarisation du matériau, et par leur polarisation
rémanente (Pr)
qui est la valeur de la polarisation à champ nul.
Nous allons maintenant présenter les deux matériaux ferroélectriques qui sont au centre de ce chapitre : le titanate de baryum (BaTiO3) et le titanate de baryum strontium dit BST.
Depuis la fin du XIXème siècle, on connaît le titanate de baryum grâce aux travaux de Bourgeois [9] mais certaines de ses principales propriétés n’ont été mises en évidence ou confirmées que plus tard. En effet, sa forte permittivité à température ambiante a été révélée [10] au début des années 1940 par Wul et Goldman en ex-URSS et ses propriétés ferroélectriques ont été confirmées par Von Hippell [11]. Le BaTiO3 est le matériau ferroélectrique le plus étudié ; en plus d’être pratiquement à la base de toutes les applications propres à la ferroélectricité.
Le composé BaTiO3 possède une structure de type perovskite ABO3, dont la phase prototype est de symétrie cubique : les cations Ti4+, de petite taille, occupent le centre de la maille unitaire, les cations Ba2+, nettement plus gros, sont situés aux sommets du cube et les anions O2- sont au centre des faces. Les ions titane se trouvent ainsi dans un environnement octaédrique formé par les ions oxygène (figure 3.2 à droite). Cette structure correspond à la phase dite haute température, dont la maille unitaire possède un centre de symétrie, ce qui interdit toute polarisation spontanée. La structure de gauche dans la figure 3.2 présente le titanate de baryum dans sa structure paraélectrique.
Figure 3. 2 : Structure cubique du
BaTiO3 (T<
Le composé BaTiO3 possède trois transitions de phase : cubique-quadratique [6], quadratique orthorhombique [7] et orthorombique-rhomboédrique. Nous avons représenté sur la figure 3.3 les transitions de phases successives du titanate de baryum. Concernant la phase orthorhombique, celle-ci est représentée en traits pleins et la phase monoclinique est représentée en pointillés. Les températures de transition sont respectivement 135oC [1], 5oC [12, 13] et -90oC [12, 13].
Figure 3. 3 : Transitions de phases successives du BaTiO3
Au-dessus de 135oC (température de Curie : TC)
et dans des conditions normales de pression, le titanate de baryum se présente
sous la forme d’une maille perovskite idéale de paramètre de maille a = 0.4031
nm [14]. Les ions oxygènes décrivent un octaèdre dont le centre est
l’ion titane. Le moment dipolaire de la maille de BaTiO3, dans l’état cubique,
est donc nul. Sous la température de Curie, la structure cristalline du
matériau change pour devenir quadratrique. La transition de phase est de type
displacive : les ions se déplacent dans la maille entraînant un changement de
volume de celle-ci. Dans une première approximation, seul l’ion titane se déplace
selon l’une des directions [100], [010] ou [001] de la maille cubique si on
considère les autres atomes fixes dans la maille. Les paramètres de maille de
la phase quadratique sont a = 0,3993 nm et c = 0,4036 nm [14]. Dans cette
phase, la valeur de la polarisation spontanée (dirigé suivant l’axe) est de 26 μC/cm2 à température
ambiante [1].
La figure 3.4 présente l’évolution de la permittivité d’un matériau ferroélectrique (BaTiO3) en fonction de la température. On peut observer les fortes valeurs de permittivité surtout lors de la transition ferroélectrique-paraéléctrique. L’évolution de la permittivité met parfaitement en évidence les différents changements de phases (structures) exposés ci-dessus. La polarisation étant nulle en phase paraélectrique, pour T>TC, on obtient ainsi la loi de Curie-Weiss :
est la constante de
Curie. La relation traduit l’évolution de la
permittivité en fonction de la température pour un grand nombre de matériaux
paraélectriques.
Figure 3. 4 : Evolution de la permittivité en fonction de la température pour un cristal de BaTiO3
Les propriétés structurales du titanate de baryum étant connues, nous allons à présent nous focaliser sur un de ses dérivés : le BST.
Des
solutions solides judicieuses peuvent permettre de déplacer la température de
Curie TC de BaTiO3 vers des températures plus basses [15] :
les substitutions atomiques modifient les liaisons chimiques, ce qui entraîne
une modification de la polarisabilité. Afin d’obtenir les propriétés
souhaitées, les ions Ba2+ (de rayon ionique en coordinence 12)
peuvent être partiellement remplacés par des cations de même valence et de
rayon ionique légèrement inférieur comme Sr2+ (
). Ce type de substitution en site A donne naissance à une
solution solide totale (Ba1-xSrx)TiO3, étudiée
depuis de nombreuses années [16]. On observe un déplacement de la
position de la température de Curie (voir figure 3.5 [17]) dite
température de transition de phase en fonction de la quantité de strontium.
Figure 3. 5 : Evolution de la
permittivité en fonction de la température pour différentes fractions molaires
de Baryum dans (Ba1-xSrxTiO3) sous formes de céramiques.
Les couches minces ferroélectriques font l’objet d’une attention particulière compte tenu de leurs nombreuses applications en microélectronique et en micro-ondes. Une couche mince est un élément d’un matériau dont l’épaisseur est fortement réduite par rapport à la forme massive. Cette quasi-bidimensionnalité entraîne une perturbation de la majorité des propriétés physiques du matériau. Les effets géométriques ne pouvant plus être négligés. Une couche mince est de plus toujours solidaire d’un substrat sur lequel elle est déposée (même s’il est possible de les séparer après dépôt [18]). Ce support (substrat) ayant une grande influence sur les propriétés structurales de la couche mince. Ces deux éléments (bidimensionnalité et support) imposent à la couche mince une nature anisotrope. On parle de couche mince dans le cas de dépôts d’épaisseurs comprises entre quelques angströms et une dizaine de microns, et les moyens de les préparer sont nombreux [19]. Notons que le terme de couches minces ferroélectriques est utilisé ici pour désigner des échantillons préparés à partir de matériaux possédant, dans certaines conditions, des propriétés ferroélectriques.
Les couches minces (en particulier ferroélectriques) présentent souvent des propriétés très différentes de celles du matériau massif. C’est le cas essentiellement de leur permittivité, qui est toujours nettement inférieure à celle du précurseur et de leur sensibilité en température, qui est souvent moins marquée. Ces différences peuvent trouver une explication dans les différents ordres structuraux que peut présenter une couche mince, eux-mêmes liés à l’effet du substrat, mais aussi dans des effets de taille et de contraintes.
Plusieurs techniques
peuvent être utilisées pour l’élaboration de couches minces : pulvérisation
cathodique radiofréquence [20], voie sol-gel [21] ou
décomposition métal-organique (MOD) [22] et ablation laser [23].
Les matériaux
ferroélectriques (BaTiO3 déposés sur de la silice (SiO2)
sous forme de couches minces que nous avons étudiés, ont été préparés à
l’Institut de Chimie de
Les
ferroélectriques BST que nous avons caractérisés ont été élaborés par le
procédé sol-gel au laboratoire Lemcel de l’Université du Littoral Côte d’Opale
dirigé par Mr. Carru.
Pulvérisation cathodique
La
pulvérisation est un procédé de dépôt sous vide par lequel, le matériau à
déposer est éjecté de la surface d’un solide par un bombardement de particules
énergétiques créées à l’intérieur d’un plasma. On parle de pulvérisation
cathodique car le matériau précurseur est situé à la cathode. La pulvérisation
d’une cible peut aussi être réalisée à l’aide d’un canon à ions (Ion Beam
Sputtering) [20], à la place du plasma, ce qui permet
de contrôler l’énergie et l’angle d’incidence des ions projectiles.
Sol gel
Le procédé sol-gel représente une approche relativement récente qui consiste à obtenir une phase solide par hydrolyse et polymérisation à température ambiante de précurseurs moléculaires en solution. On utilise des précurseurs organométalliques dissous dans un alcool en évitant l’hydrolyse. Dans le cas de couches minces de BST [21, 22], les précurseurs les plus couramment utilisés sont les acétates de baryum et de strontium et l’isopropoxyde de titane. Les solvants usuels sont l’acide acétique et l’éthanol : ils permettent de contrôler la viscosité du mélange. La solution de matériau précurseur peut être déposée par divers procédés les plus courants étant le spin-coating (étalement de la solution sur le substrat par centrifugation rapide à l’aide d’une tournette) et le dip-coating (étalement de la solution par trempage du substrat dans un bain de matériau précurseur). Le dépôt est ensuite pyrolysé afin d’éliminer les composés organiques, puis ce procédé répété à plusieurs reprises pour atteindre l’épaisseur souhaitée, et enfin recuit pour obtenir une phase cristallisée.
* Le tableau 3.1 résume les inconvénients et les
avantages de l’élaboration d’une couche mince par pulvérisation cathodique et
par sol gel.
Technique |
Vitesse de dépôt (nm/min) |
Avantages |
Inconvénients |
Pulvérisation cathodique |
0.5 - 30 |
- répandue dans l’industrie -souple pour un laboratoire de matériaux |
- difficulté du transfert de stœchiométrie - faible vitesse de dépôt |
Sol-gel (ou MOD) |
50–200 (nm/couche) |
- coût faible - dépôt sur grandes surfaces |
- multicouches nécessaires - contrôle structural difficile |
Tableau
3. 1 :
Comparaison des deux techniques utilisées pour élaborer des couches minces
ferroélectriques : Sol-Gel et pulvérisation cathodique.
Les couches minces ferroélectriques, en particulier celles dérivées de la composition BaTiO3, ont été très largement étudiées depuis une trentaine d’année en vue d’applications dans les domaines de la microélectronique, des télécommunications et de l’optique. Le tableau 3.2 présente quelques-unes des applications qui ont déjà été développées avec des couches minces ferroélectriques, les matériaux les plus couramment utilisés et leurs caractéristiques exploitées.
Pour la plupart de ces applications, il est nécessaire de se rapprocher du monocristal en couche mince afin de limiter les pertes (diélectriques, optiques, acoustiques…) et d’obtenir des coefficients de couplage (piézoélectrique ou pyroélectrique) élevés. L’intérêt de la couche mince par rapport au matériau massif est alors multiple : possibilité d’intégration sur des microcircuits (miniaturisation), coût plus faible que les monocristaux et géométrie permettant de nouveaux « designs » plus performants.
Application
des couches minces |
Principaux
matériaux |
Caractéristique
exploitée |
Condensateur de forte capacité |
BaTiO3 |
Forte permittivité et faible épaisseur |
Mémoires ferroélectriques |
BST |
Polarisation renversable (mémoire) et rémanente (non volatile) |
Condensateur pour mémoires DRAM |
BST |
Forte permittivité et faibles pertes diélectriques |
Dispositifs accordables |
BST |
Variation de permittivité sous champ électrique |
Tableau 3. 2 : Résumé des
principales applications des couches minces ferroélectriques BaTiO3
et BST.
Lorsqu’on applique un champ électrique (champ térahertz) à un matériau (ferroélectrique), les particules chargées se déplacent en favorisant la création ou la réorientation de dipôles dans le matériau. Pour mettre en évidence les propriétés diélectriques du matériau, il est primordial de connaître la nature des dipôles. La polarisation totale du matériau est la somme des différentes polarisations présentes dans le matériau et dont les valeurs respectives dépendent de la direction, du sens ou de l’intensité du champ appliqué. Pour calculer ces polarisations, il faut prendre en compte l’association des charges qui permettent la naissance d’un moment dipolaire dans le matériau. D’une manière générale, la polarisation totale d’un diélectrique s’écrit comme la somme de toutes les contributions (figure 3.6) :
- est la contribution
électronique. Elle résulte du moment dipolaire crée par le déplacement du
centre de gravité des charges positives et négatives. Cette polarisation est en
général responsable de l’indice de réfraction optique car la grande mobilité du
nuage électronique dépend des hautes fréquences : fréquences optiques 1015
Hz.
- est la contribution atomique. La polarisation atomique est
le résultat de la vibration des noyaux atomiques les uns par rapport aux
autres. L’inertie des atomes étant beaucoup plus importante que celle des
électrons, la contribution de la polarisation atomique à la polarisation
générale sera limitée dès qu’on atteint un ordre de grandeur en fréquence de 1011
Hz
- est la contribution dipolaire ou d’orientation. Elle est due
à la possible orientation des dipôles présents dans le matériau sous l’action
du champ électrique.
- c’est la polarisation par charge d’espace. Sous l’action
d’un champ extérieur, dans certains matériaux hétérogènes comportant des
particules conductrices, les charges libres présentes dans celle-ci se
déplacent et s’accumulent sur les parois. Ce phénomène entraîne une
concentration localisée de charge donnant à la particule une polarisation
importante.
Figure 3. 6 : Représentation schématique des différents mécanismes de polarisation.
Dans un matériau
ferroélectrique, la polarisation évolue de manière non linéaire avec le champ
électrique. Dans le cas général, la polarisation d’un milieu isotrope est
proportionnelle au champ électrique appliqué et s’écrit :
Ou est la permittivité du
vide et
la susceptibilité
électrique qui est liée à la permittivité
du milieu à travers
l’expression :
est la permittivité
relative du milieu.
Si le champ électrique est variable (cas du champ électrique térahertz que nous générons), la permittivité relative s’exprime sous la forme complexe.
et
sont respectivement la
partie réelle et la partie imaginaire de la permittivité.
L’absorption
d’énergie dans le milieu est caractérisée par tangente (
) dont l’expression est donnée :
Dans la figure
3.7, nous avons représenté les évolutions de et
en fonction de la
fréquence et selon les origines de la polarisation. La région térahertz dans
laquelle nous allons mener nos expériences est mise en évidence par l’ellipse
rouge.
Figure 3. 7 : Variation de et
en fonction de la
fréquence.
Avant d’aborder la partie
expérimentale, nous présentons les lois qui permettent de décrire l’évolution
de la permittivité en fonction de la fréquence en prenant en compte les relaxations et les résonances.
Plusieurs modèles permettent de décrire globalement la variation de la permittivité complexe d’un diélectrique. Dans le cas des matériaux ferroélectriques, les modèles les plus connus sont les suivants : modèle de Debye, modèle de Cole-Cole, modèle de Cole-Davidson et le formalisme de l’oscillateur de Lorentz qui est aussi valable pour décrire la contribution des phonons optiques.
Debye [24] a expliqué le phénomène de relaxation diélectrique dans les solides dipolaires en supposant que chaque molécule constitue un dipôle qui peut être orienté parallèlement ou antiparallèlement au champ électrique appliqué. Lorsque la fréquence est suffisamment élevée, les dipôles (et donc la polarisation) ne peuvent plus suivre les variations du champ, ce qui donne naissance à une ''relaxation'' de la permittivité diélectrique. On introduit alors le temps de relaxation qui est le temps nécessaire à un système perturbé pour revenir à sa configuration d'équilibre. Nous définirons ici la pulsation de relaxation comme l'inverse du temps de relaxation en conformité avec les notations de Kittel Ch. [25].
Les
hypothèses de Debye se traduisent par une équation de la forme :
où est la valeur de la permittivité pour
une fréquence infinie (très grande). Elle représente aussi le carré de l'indice
de réfraction du milieu (
) [26]. Pour décrire les phénomènes de relaxations
dipolaires, Debye s'est basé sur la décroissance exponentielle de la
polarisation
avec le temps. Il choisit de prendre la
fonction
sous la forme :
où est le temps de
relaxation caractéristique du diélectrique et est supposé dépendre uniquement
de la température. La fonction
exprime le retard de
la polarisation par rapport au champ appliqué. La relation permet de relier cette
fonction à la permittivité diélectrique complexe qui à son tour est reliée à la
polarisation par les équations classiques de l'électromagnétisme [25]. Comme
pour
la relation implique que
quand
comme le décrit J.C. Anderson [27].
En
remplaçant dans l'expression , on obtient par intégration :
Pour ,
, avec
désignant la constante
diélectrique statique (à fréquence nulle), nous avons la formule empirique de
la permittivité selon Debye :
Les relations et sont appelées « équations de relaxation diélectrique de Debye ».
La figure 3.8
représente un exemple de l’évolution de la permittivité en fonction de la
fréquence d’après les équations de Debye. L’évolution de ε’’ fait
apparaître un maximum de perte à la fréquence correspondant à l’inverse du
temps de relaxation . La représentation dans le diagramme de Cole-Cole de
est un demi cercle
centré sur l’axe des réels au point d’abscisse
, la fréquence de relaxation
correspond au point
pour lequel ε’’ est maximum.
Figure 3. 8 : Evolution de et
en fonction de la
fréquence (à gauche) et évolution de
en fonction de
(à droite) loi de
Debye.
En réalité, il peut y avoir n phénomènes de relaxation de Debye indépendantes. Dans ce cas l’expression de la permittivité complexe donnée par l’équation devient :
Dans cette expression on a
Pour décrire correctement
le comportement d’un matériau, il faut considérer un ensemble de temps de
relaxation. Les diagrammes expérimentaux ne sont pas toujours semi-circulaires
comme celui de la loi de Debye obtenue à la figure 3.8. Certains peuvent
même être réduits à des arcs de cercles centrés au-dessous de l'axe des ε'. C'est
pourquoi Cole et Cole [28] ont remplacé l'expression de la permittivité
(équation ) par la relation :
Où τm est un temps de relaxation moyen, α une constante positive inférieure ou égale à l'unité.
Le paramètre α
est purement empirique et est introduit pour décrire des écarts à la
relation que l'on retrouve si on a
α = 0. Ce paramètre est interprété comme étant un facteur de dispersion,
autour de la valeur moyenne τm des temps de
relaxation réels. La représentation de la relation sur le diagramme d'Argand (figure
3.9) donne un arc de cercle dont le centre est abaissé sous l'axe ε' d’un angle
Figure 3. 9 : Evolution de en fonction de
; loi de Cole-Cole.
La loi de Cole-Cole est une amélioration de la loi de Debye. En effet,
elle décrit correctement les faibles déviations à la réponse idéale de Debye.
Cette loi n’est pas générale dans le sens où elle n'est pas adaptée pour
représenter tous les autres comportements des matériaux diélectriques
différents de celui d'une relaxation du type Debye. Dans le but de compléter le
modèle de Cole-Cole, Davidson et Cole [29] ont apporté la modification
suivante, à la relation :
τ est le centre de la distribution du temps de relaxation et
β (0 < β ≤ 1) est l'indicatif de la variance statistique de
cette distribution. Le diagramme de Cole-Cole
issu de la loi de
Davidson-Cole prend la forme d’un arc de cercle biaisé du coté des hautes
fréquences (
) comme le montre la figure 3.10.
Figure 3. 10 : Evolution de en fonction de
; loi de Davidson-Cole.
Toutefois, il existe un grand
nombre d'exemples de comportements qui ne peuvent être interprétés ni par la
relation , ni par la relation (3.16)
qui contiennent chacune un seul paramètre ajustable. Afin de décrire un
comportement plus général des diélectriques, Havriliak et Negami [30]
ont proposé une autre expression combinant les expressions de Cole-Cole et de
Davidson-Cole sous la forme :
On retrouve la loi de Cole-Cole si β = 1 et la loi de Davidson-Cole si β = 1 et α = 0. Cette dernière équation, de nature empirique, permet de décrire beaucoup de résultats expérimentaux sur les diélectriques en ajustant les paramètres α et β. Cependant, il est difficile de trouver une signification physique des paramètres α et β.
En 1960, Anderson P.W. [31] et Cochran W. [32] ont suggéré que la transition de phase ferroélectrique-paraélectrique pourrait résulter de l'instabilité de l'un des modes de vibrations transverses du réseau cristallin. Ils ont montré que dans les cristaux ioniques, il existe deux contributions à la constante de force harmonique. Elles proviennent des forces de répulsion à courte portée entre les ions qui tendent à les ramener à leur position initiale, et les forces de Coulomb à grande portée (interaction des dipôles) qui tendent à écarter les ions hors de cette position d'équilibre. Sous certaines conditions, la compétition entre les deux contributions donne une force de rappel nulle. Dans la phase paraélectrique, les vibrations du réseau sont relativement importantes, car la température est élevée. Par conséquent, des contributions dues aux effets anharmoniques interviennent pour assurer la stabilité du réseau. Ces effets diminuent lorsque la température décroît. A T = TC, les interactions coulombiennes à longue portée compensent complètement les forces de rappel de courte portée, ce qui traduit le passage de la phase paraélectrique à la phase ferroélectrique. Ceci peut être mis en équation en s’inspirant de la relation fondamentale de la dynamique :
où ,
et
sont
respectivement les constantes des forces d'interactions de courte, de longue
portée et le terme d’amortissement ; e* est la charge effective de l'ion,
est la force de rappel représentant la contribution des
effets anharmoniques et le champ appliqué est
.
Soit la polarisation
induite :
où N est le nombre d'ions par unité de volume et la
susceptibilité diélectrique. Nous pouvons alors résoudre l'équation et donner l'expression de
sous la forme :
avec la fréquence de relaxation
Le
vecteur induction électrique est relié à
la polarisation totale
dans le matériau par
A partir des équations , et , on trouve :
On pose :
Les relations , , , et donnent l’expression la plus utilisée pour décrire l’évolution de la permittivité en présence de phonons dans un matériau :
Dans la figure 3.11,
nous avons simulé les équations et pour tracer la courbe de
dispersion des phonons optiques en fonction de la fréquence. Les valeurs
utilisées sont ,
,
et
Figure 3. 11 : Evolution de la partie réelle et de la partie imaginaire de la permittivité dans le domaine Infrarouge en présence de résonance.
La théorie du mode mou est basée sur la relation de
Lyddane-Sachs-Teller (LST). Pour un cristal diatomique de structure cubique, (fréquence de
la branche de phonons optiques transversaux et
(fréquence de
la branche de phonons optiques longitudinaux) au centre de la première zone de
Brillouin [33] :
Supposons que décroisse avec la température et que
soit
indépendant de la température, ce qui est expérimentalement souvent le cas. Si
à T = TC, alors
ceci suggère l'apparition de la polarisation
spontanée, i.e. le système passe à l'état ferroélectrique. La condition
implique que
les ions, après avoir quitté leur position d'équilibre, n'arrivent plus à
revenir à leur état initial. Ils ne sont soumis à aucune force de rappel
pouvant les ramener à leur position d'équilibre, la maille se transforme en une
autre configuration, entraînant une transition de phase structurale. Le mode
correspondant à la fréquence transverse optique (
) est appelé mode mou optique transverse et les
phonons correspondants sont désignés par phonons optiques mous.
En présence de résonances multiples (n), la permittivité complexe s’écrit sous la forme d’une somme qui prend en compte chaque contribution (i).
Dans les sections précédentes, la présentation des matériaux
ferroélectriques (couches minces) étudiés et les principaux modèles théoriques
permettant de décrire leur fonction diélectrique complexe ont été abordés.
Avant de donner les résultats obtenus sur le BTO et les BST, nous présentons la
technique expérimentale (dispositif en température) utilisée.
La technique présentée dans le chapitre 2 (spectroscopie térahertz
résolue en temps) va être utilisée pour extraire la fonction diélectrique des
couches minces ferroélectriques en fonction de la fréquence térahertz. Beaucoup
d’expériences ont été faites avec les matériaux ferroélectriques pour mettre en
évidence les phénomènes de relaxations, de résonances et comprendre leurs
origines. Pour parvenir à ces résultats dans une gamme de fréquences assez
large, diverses techniques expérimentales sont exploitées. Les plus répandues
sont la spectroscopie Raman [34, 35], la spectroscopie infrarouge
FTIR [36] et récemment la spectroscopie térahertz résolue en temps
THz-TDS [37] que nous employons. Cependant
Nous présentons principalement les résultats obtenus sur une couche mince de titanate de baryum et des couches minces de titanate de baryum strontium. Les échantillons synthétisés et caractérisés sont présentés dans le tableau 3.3.
Pour extraire les paramètres (indices, permittivité, absorption) des matériaux ferroélectriques de 100 K à 294 K, on utilise un cryostat. De 294 K à 420 K on dispose d’un four commercial de marque SPECAC P/N 5850 ; la photographie représentée par la figure 3.12 montre un aperçu du four pendant son incorporation dans le spectromètre et du cryostat. Les mesures à températures ambiantes ont été effectuées également sur le spectromètre que nous avons élaboré.
Echantillon |
Dénomination |
épaisseur |
Phase |
Direction |
SiO2 |
|
|
|
|
BaTiO3-141 |
BTO-141 |
3 µm |
ferroélectrique |
h00 |
BaTiO3-140 |
BTO-140 |
3,2 µm |
ferroélectrique |
hh0 |
Saphir |
|
|
|
|
Ba0.7Sr0.3TiO3 |
BST70/30 |
1 µm |
ferroélectrique |
/ |
Ba0.8Sr0.2TiO3 |
BST80/20 |
300 nm |
ferroélectrique |
/ |
Tableau 3. 3 : Présentations des matériaux ferroélectriques étudiés
Figure 3. 12 : Photographies du cryostat et du four.
En terme d’analyse sur le comportement des matériaux ferroélectriques, une étude systématique a été effectuée en fonction de la température. Les résultats obtenus à température ambiante sur les deux BTO sont quasiment identiques, ce qui nous permet de restreindre l’analyse à un seul BTO de 295 K à 500 K. Pour ne pas alourdir le chapitre, une seule analyse expérimentale et théorique sera faite sur l’échantillon BST80/20 ; l’interprétation des résultats des BST70/30 et BST50/50 sera déduite de cette étude car leurs paramètres diélectriques ont un comportement similaire à ceux du BST80/20. Le BST80/20 et le BST70/30 ont été étudiés entre 100 K et 420 K, le BST50/50 entre 100 K et 294 K et le BTO de 294 K à 500 K. Les intervalles de température ont été choisis en se basant sur les travaux de Smolenskii [17] que nous avons présentés à la figure 3.5.
Dans le chapitre
2, nous avons établi que pour déduire les paramètres diélectriques d’une couche
mince par THz-TDS, il faut au préalable mesurer trois signaux : le signal
de référence, le signal transmis par le substrat (Saphir ou SiO2)
et le signal transmis par la structure composée du film mince
(BST ou BTO) accolé au substrat
. Les résultats de ces différentes mesures sont présentés
dans la figure 3.13. La faible absorption des substrats est clairement visible.
D’après le développement de l’équation (2.24), l’extraction de la fonction diélectrique d’une couche mince est dépendante de la connaissance ou de l’extraction de l’indice du substrat dans la gamme de fréquence considérée.
Figure 3. 13 : Spectres térahertz mesurés. (A) Référence (noir), Saphir (rouge) et BST80/20 (bleu). (B) Référence (noir), SiO2 (rouge) et BTO (bleu).
Pour calculer la
permittivité complexe des BTO et des
BST, nous avons commencé par extraire l’indice du Saphir et l’indice du SiO2.
L’analyse
de la fonction de transfert permet de remontrer à l’indice complexe des
substrats. Les indices réels THz des deux substrats (figure 3.14)
sont
quasiment sans dispersion sur la bande 0-3 THz. Dans cette gamme de
fréquence, l’indice du Saphir d’épaisseur 0.5mm est compris entre 3.09 et 3.13
et l’indice du SiO2 d’épaisseur
Figure 3. 14 : Variation de l'indice du Saphir et du SiO2 entre
0 et 3 THz
Les deux échantillons de BaTiO3 sous forme de couches minces ont été étudiés par spectroscopie térahertz à température ambiante. La caractérisation par rayons X (figure 3.15) a permis de différencier ces deux échantillons en fonction de leur orientation cristallographique. Les deux diffractogrammes ont été enregistrés selon les mêmes conditions, l’angle 2θ variant de 10° à 80°.
Figure 3. 15 : Diffractogrammes de diffractions des RX sur les deux BTO (140 et 141)
Sur ces diffractogrammes nous distinguons uniquement
les raies (hh0) associées
au BaTiO3-140 et les raies (h00) du BaTiO3-141. Ces
diffractogrammes nous permettent de conclure que les films minces de BaTiO3
sont monophasés et ne présentent qu’une orientation cristallographique par
rapport au plan du substrat SiO2.
Après avoir extrait l’indice du substrat à température ambiante (figure 3.14) et en utilisant l’équation , on calcule la fonction diélectrique de chaque couche mince de titanate de baryum. Les résultats (figure 3.16) montrent que :
· ε’’ augmente avec la fréquence térahertz ce qui est directement relié aux relations de causalité LST.
L’augmentation de la permittivité imaginaire pour des fréquences comprises entre 5 et 40 cm-1, favorise l’obtention d’un pourcentage de perte néfaste à l’emploi de ces couches minces dans le domaine électronique et micro-onde. Pour des fréquences supérieures à 40 cm-1, on observe une saturation des pertes diélectriques.
Des résultats similaires ont été obtenus entre 0 et 1.5 THz sur une poudre de titanate de baryum par Fan Wan [38] et T. Tsurumi [39]. Ils ont obtenu par calcul numérique un comportement de la fonction diélectrique proche de nos résultats expérimentaux.
La différence de valeur de la permittivité du BTO-140 et du BTO-141 peut être attribuée à la différence d’épaisseur et aux imperfections lors de leur synthèse : taille de grain et importance des parois.
Figure 3. 16 : Variation de la permittivité avec la fréquence des BTO-140 et du BTO-141 à température ambiante.
La variation de la partie réelle et de la partie imaginaire de la permittivité avec la fréquence est caractéristique de l’existence d’une relaxation de type Debye à plus haute fréquence. L’absence d’une fréquence de résonance dans la fonction diélectrique consolide l’utilisation de la relation de Debye mais compte tenu des vibrations du réseau Titane-Oxygène, nous incluons un oscillateur de Lorentz pour interpréter nos résultats. Comme les deux couches de titanates de baryum ne sont pas différentiables par spectroscopie térahertz, nous présentons, dans la section ci-dessous, l’étude en température, dans le domaine térahertz du composé BTO-141 dorénavant dénommé BTO. Nous espérions que la réponse diélectrique en bande térahertz aurait pu être sensiblement différente de par l’orientation cristallographique maîtrisée lors de la phase de croissance.
La figure 3.17 montre l’évolution de ε’ et de ε’’ dans le domaine térahertz en fonction de la température.
La variation de la fonction diélectrique confirme la décroissance de
ε’ et la croissance de ε’’ avec la fréquence quelle que soit la température.
Les barres d’erreurs associées à chaque température montrent que les
incertitudes de mesures expérimentales sont négligeables. La partie réelle de
la permittivité croît avec la température tandis que la partie imaginaire
diminue. Les résultats expérimentaux entre 295 K et 413 K en fonction de la
fréquence térahertz ont un comportement identique. A partir de 443 K, on
observe, à basse fréquence (0,4 THz) une modification du comportement de la
permittivité. Cette modification est présente à plus haute température comme le
montre les résultats à 473 K et à 500 K de la figure 3.17. En effet dans
l’intervalle [0 – 0,6 THz], une courbure apparaît dans la dispersion de ε’
et dans celle de ε’’. Ce phénomène est caractéristique de l’amorce d’un
changement de structure ou de phase qui se dessine à partir de 413 K soit
L’analyse de nos résultats est dépendante des observations expérimentales qui ont permis de dégager l’hypothèse d’un comportement relaxateur ferroélectrique du BTO. Le mécanisme de relaxation dans un cristal de BTO est basé sur le fait que l’ion Ti4+ se déplace hors du centre de l’octaèdre d’oxygène et peut occuper différents puits de potentiel, le processus de relaxation étant associé à des sauts coopératifs des ions Ti4+ entre ces différents puits [40].
Figure 3. 17 : Variation de ε' et de ε'' du BTO en fonction de la fréquence à différentes températures.
Nous avons ajustés nos résultats expérimentaux avec une approche de Debye. Nous nous sommes orientés vers un modèle de Debye car Jan Petzelt [41] et al ont utilisé un modèle similaire pour interpréter les résultats obtenus dans un cristal de titanate de baryum :
Avec la fréquence de
relaxation,
la dispersion
diélectrique.
L’équation a été modélisée entre 0 et 2.5 THz. La figure 3.18 présente le résultat obtenu à T = 413 K et 323 K. La simulation donne une bonne correspondance avec le résultat expérimental.
Figure 3. 18 : Comparaison des résultats expérimentaux
et théoriques des permittivités obtenus à 413 K et à 323 K.
Les résultats obtenus par le modèle théorique montrent que le modèle de Debye seul permet d’expliquer globalement la variation de la permittivité du BTO à basse température.
Les
simulations réalisées, à toutes les températures, ont permis de suivre la
variation des paramètres de Debye : ,
en fonction de la température.
Les variations de la dispersion diélectrique (permittivité de Debye) et de la fréquence
sont représentées à la figure 3.19. Pour T < 400 K
et T > 443 K la variation de
est quasi-constante et
pour T appartenant à l’intervalle [400 K - 443 K], il apparaît clairement une
augmentation brutale de la variation de
permittivité
. Cette augmentation de la permittivité caractérise la
transition du matériau de la phase ferroélectrique à la phase paraélectrique. Dans
la même figure, nous avons représentée la variation de la permittivité
(multipliée par 3) expérimentale à 0,41 THz en fonction de la température. Le
résultat montre un comportement identique à celui de la permittivité de Debye.
Les résultats théoriques confirment à priori le changement de phase que l’on
observe entre 413 K et 443 K. Une campagne de mesure dans le domaine Gigahertz
permettra de vérifier ce résultat.
La fréquence de relaxation est située dans le domaine THz et augmente avec la température.
Figure 3. 19 : Variation de Δεr et de ωr, avec la température.
Dans le tableau 3.4, nous avons fait figurer les paramètres de l’équation permettant de simuler la réponse diélectrique complexe à 323 K et à 413 K et les incertitudes théoriques.
|
|
|
323 |
84.69±0,23 |
2.153±0,02 |
413 |
79.71±0,23 |
2.01±0,02 |
Tableau 3.4 : Paramètres de simulation du BTO à 323 K et à 413 K.
En conclusion, autour de 413 K, le matériau amorce un changement de phase, mis en évidence par l’apparition d’une courbure dans ε’ et d’un pic large dans ε’’. L’apparition d’une courbure est relative au changement de phase et d’une évolution sensible du phénomène de relaxation lorsque le BTO est dans la phase paraélectrique. Un modèle de Debye permet de rendre compte de l’évolution de la réponse diélectrique. Toutefois un modèle de Debye seul ne permet pas de restituer l’inflexion observée. Une étude plus complexe mettant en jeu plusieurs modes de phonons est en cours de développement.
Les propriétés vibrationnelles
et le spectre Raman du titanate de baryum sont connus depuis une cinquantaine
d'années grâce aux études de Bobovich [42] et Ikegami [43], mais
il a fallu attendre
les travaux de Pinczuk [44] en 1967 pour obtenir les premiers spectres
Raman polarisés du titanate de baryum.
Les groupes d’espace étant connus dans les phases
cubiques (Pm3m) et quadratiques (P4mm) du titanate de baryum, il est possible
alors, en utilisant la théorie de groupe, de déterminer le nombre et la
symétrie des modes de vibration du réseau. Le nombre d’atomes dans la maille (5
atomes) étant faible et la symétrie des deux phases relativement élevée, les
atomes occupent toujours des sites de haute symétrie (celle du groupe ponctuel
dans le cas des sites de Ba et Ti). Contrairement à la phase quadratique, dans
la phase paraélectrique cubique, les trois atomes d’oxygène occupent des sites
équivalents dans la maille. En associant, à chaque phase, son activité infrarouge et Raman, déduites
des propriétés de symétrie du moment dipolaire et de la polarisabilité
électronique respective, DiDomenico [45] a reporté la représentation
irréductible des deux phases. La
représentation irréductible de la phase cubique est la suivante :
Dans la phase cubique, les vibrations de F2u sont inactives et celles de
type F1u actives en infrarouge
seulement, mais les deux modes sont inactifs en Raman.
La transition
ferroélectrique (cubique → quadratique) est accompagnée d’un changement de
représentation irréductible. La théorie des groupes [46], pour la phase
quadratique, permet alors d'obtenir la décomposition en modes normaux suivants
:
En d'autres termes nous observerons, trois modes A1 et quatre modes E qui sont
doublement
dégénérés et un mode B1. La représentation suivante montre les modes optiques et
acoustiques dans la phase quadratique :
Dans la phase quadratique, parmi les quatre modes de type E actifs en
infrarouge et en Raman, trois sont issus des modes F1u de la phase cubique et
l’autre est issu du mode silencieux F2u. Les trois vibrations acoustiques sont mises à part
puisqu’elles ne sont visibles ni en spectroscopie Raman ni en spectroscopie
infrarouge.
Dans la figure 3.20, nous avons représenté l’absorption térahertz obtenue expérimentalement à température ambiante entre 0 et 80 cm-1 que nous comparons au spectre Raman de la couche mince de BTO obtenu également à température ambiante entre 130 cm-1 et 1500 cm-1. Pour une meilleure comparaison, les résultats ont été normalisés. La mesure Raman qui est une forme d’absorption est utilisée comme complément de la mesure térahertz car cette dernière ne permet pas de couvrir les fréquences situées au-delà de 80 cm-1. Nous avons rassemblé, dans le tableau 3.5, les fréquences des phonons optiques du titanate de baryum obtenues ainsi que leur symétrie obtenue par spectroscopie Raman et ceux publiés dans la littérature [46], lorsque le matériau est dans l'état ferroélectrique. Dans ce tableau les principaux modes optiques révélés par nos travaux sont en rouge italique. La comparaison des deux résultats donne quasiment des observations identiques sur la position des modes E(LO), E(TO) et A1(TO) ; le faible écart pouvant s’expliquer par la nature des matériaux utilisés : couche mince et matériau massif.
Figure 3. 20 : Spectres Raman de la couche mince de titanate de baryum.
Fréquence (cm-1) |
Symétrie |
36 |
E(TO) |
170 |
A1(TO) |
180 (183) |
E(LO), E(TO) |
185 |
A1(LO) |
270 |
A1(TO) |
305 (310) |
E(LO+TO) |
305 |
B1 |
463 |
E(LO) |
475 |
A1(TO) |
486 |
E(TO) |
518 (520) |
E(TO) |
520 |
A1(TO) |
715 |
E(TO) |
720 (750) |
A1(TO) |
Nous n’observons
pas le mode ETO à 36 cm-1. Le mode A1 (750 cm-1) et les 3 modes E (520 cm-1,
310 cm-1 et 183 cm-1) ont des largeurs de 109 cm-1,
165 cm-1, 37 cm-1 et 43 cm-1. La variation du
mode est située dans
l’intervalle [0,4 THz – 0,5 THz] soit [13,2
cm-1 – 16,5 cm-1] et son amortissement
est très étroit.
Lorsqu’il est dans la phase ferroélectrique le mode à basse fréquence est
absent, son influence apparaît dans la phase paraélectrique notamment par
l’intermédiaire de la fréquence de
relaxation et surtout par le mode
. Les résultats Raman confirment que la réponse diélectrique térahertz
de la couche mince ferroélectrique est dominé par le mode E(TO) et E(LO)
présent à 36 cm-1 et à 183 cm-1.
Après avoir étudié une couche mince de titanate de baryum, nous allons présenter les résultats obtenus par spectroscopie térahertz sur les échantillons de Ba1-xSrxTiO3 (BST) répertoriés dans le tableau 3.3. Ces composés peuvent être vus comme un assemblage de deux édifices chimiques différents mais de même structure pérovskite : le titanate de baryum et le titanate de strontium SrTiO3. Les BST sont des solutions solides dont les propriétés vont par conséquent, être un mélange de celles des deux composés additionnés. Dans la section précédente, la caractérisation du BTO a mis en évidence l’amorce d’un changement de phase : ferroélectrique - paraélectrique dès 413 K. Les résultats Raman ont confirmé la présence de modes de phonons optiques transverses. Trois phonons transverses TO1 (mode mou), TO2 (174 cm-1) et TO4 (543 cm-1) ont été observés sur le SrTiO3 cubique [47] après un changement de structure dont la température est estimée à 130 K. Sous cette température, le SrTiO3 se stabilise dans une phase tétragonale et deux nouveaux modes apparaissent : le mode Eu à 453 cm-1 actif dans l’infrarouge, et le mode Raman Eg qui devient actif dans l’infrarouge à cause du couplage avec le mode mou. Dans le BTO et le SrTiO3, la présence de phonons optiques joue un rôle primordial sur le relèvement ou l’abaissement des valeurs de la permittivité.
Des matériaux ferroélectriques sous forme de couche minces similaires à nos échantillons ont été caractérisés dans le domaine infrarouge et dans le domaine térahertz : le Sr1-1,5xBixTiO3 [48], le SrBi2Ta2O9 [49] et le K1-xLixTaO3 [50, 51]. Dans le K1-xLixTaO3, les mesures térahertz montrent une augmentation brutale des pertes sous la température de transition (65 K) et une déviation de la fréquence du mode mou qui se raidit en fonction du pourcentage x de Lithium. Le mode mou est aussi mis en évidence dans le Sr1-1,5xBixTiO3 et son amplitude augmente avec le pourcentage de Bismuth. Les études menées dans le domaine térahertz sur le SrBi2Ta2O9 confirment l’existence du mode mou et montrent que son amplitude diminue avec la température. Les résultats obtenus avec ces matériaux ont étés analysés à l’aide du modèle théorique identique à celui qui a été utilisé pour analyser les résultats du BTO. C’est ce modèle (relaxation de Debye associé à deux Oscillateurs) que nous utiliserons pour interpréter les résultats obtenus sur les BST.
Les résultats expérimentaux obtenus sur la fonction diélectrique des ferroélectriques BST80/20, BST70/30 et BST50/50 en fonction de la fréquence et à différentes températures sont représentés respectivement par les figures 3.21, 3.22 et 3.23. Pour le BST80/20 et le BST70/30 l’étude par spectroscopie térahertz a été menée de 100 K à 420 K et pour le BST50/50 entre 100 K et 292 K. Dans ces figures, nous utiliserons comme unité de fréquence le cm-1 au lieu du THz sachant qu’un térahertz est équivalent à 33 cm-1. Les incertitudes sur les valeurs de la permittivité des titanates de baryum strontium sont du même ordre de grandeur que celles obtenues sur le titanate de baryum.
Figure 3.21 : Fonction diélectrique du BST80/20 mesurée à différentes températures.
Figure 3.22 : Fonction diélectrique du BST70/30 mesurée à
différentes températures.
Figure 3.23 : Fonction diélectrique du BST50/50
mesurée à différentes températures.
BST80/20
La variation de la fonction diélectrique (ε’ et ε’’) du BST80/20 dans le domaine térahertz entre 5 cm-1 et 70 cm-1 est représentée par la figure 3.21 dans laquelle on différencie les mesures hautes températures et basses températures. La première partie montre les résultats obtenus entre 294 K et 420 K et, la deuxième partie présente les résultats obtenus entre 100 K et 294 K. La figure contenant la dispersion de ε’’ est incorporée dans la figure de ε’.
Quelle que soit la température, ε’ présente une décroissance rapide. Les valeurs de ε’ ont une variation monotone avec la température. Pour une température supérieure à la température ambiante, la partie réelle de la permittivité augmente rapidement lorsque la fréquence diminue.
Il existe plus d’anomalie dans la variation de la partie imaginaire de la fonction diélectrique. En effet la dispersion de ε’’ se divise en trois parties : de 5 cm-1 à 20 cm-1, de 20 cm-1 à 50 cm-1 et de 50 cm-1 à 70 cm-1.
Dans la première partie on observe l’apparition d’un pic à toutes les températures. Ce pic se déplace légèrement avec la fréquence en se rapprochant des basses fréquences. De 100 K à 255 K et de 294 à 370 K, l’amplitude maximale de ce pic augmente fortement à chaque variation positive de la température. Dans l’intervalle allant de 265 K à 294 K, et pour des températures supérieures à 370 K, les valeurs de la fonction diélectrique diminuent. La combinaison de ces deux effets, associée à la faible largeur du pic, confère à ce mode le qualificatif de relaxation de Debye que nous appellerons mode central (CM). Le CM observé peut-être attribué aux vibrations anharmoniques des ions Baryum (Ba) par rapport aux sites des ions strontium (Sr) [52, 53].
Dans la deuxième partie, on observe l’apparition d’un pic présent à toutes les températures. Ce pic est large et son amplitude augmente faiblement pour des températures supérieures à la température ambiante (294 K) et décroît pour des températures inférieures. Quelle que soit la température, ce pic se déplace faiblement avec la fréquence. Par son comportement, ce pic s’apparente à un mode mou ou « soft mode » (SM). Le SM provient des vibrations des tétraèdres Titane-oxygène [54] et son élargissement résulte du couplage entre ces vibrations et celle des atomes de Sr.
Les observations expérimentales entre ces deux modes rejoignent les résultats obtenus sur le SrBi2Ta2O9 qui montrent l’existence d’un mode central à basse fréquence et d’un mode mou autour de 28 cm-1 [55].
Dans la dernière partie, les valeurs de ε’’ sont assimilables à une permittivité infinie issue de la contribution de la polarisation électronique et des phonons optiques situés au-dessus de 70 cm-1. Nos résultats ne permettent pas de distinguer un changement de structure ou de phase de la couche mince de BST80/20.
BST70/30
Dans le cas du BST70/30, les résultats montrent que la partie réelle de la permittivité décroît avec la fréquence quelle que soit la température. Lorsque la fréquence devient un paramètre fixe, ε’ présente une croissance de 100 K à 335 K et de 335 K à 420 K, on observe une décroissance monotone des valeurs de la permittivité.
Les valeurs de ε’ ont une variation monotone avec la température. Pour une température supérieure à la température ambiante, la partie réelle de la permittivité augmente rapidement lorsque la fréquence est proche de 10 cm-1.
Comme avec le BST80/20 la partie imaginaire de la permittivité du BST70/30 présente aussi des anomalies. De 5 cm-1 à 20 cm-1, on observe l’apparition d’un pic dont la concavité est inférieure à 0 lorsque la température varie de 100 K à 335 K et pour des températures supérieures à 335 K la concavité est supérieure à 0. Pour des températures inférieures à 335 K, la fréquence du pic oscille autour de 12 cm-1 et pour des températures supérieures, elle se rapproche des basses fréquences. Les caractéristiques de ce pic sont identiques à celle du mode central observé dans le BST80/20.
De 20 cm-1 à 50 cm-1, on est en présence d’un pic large dont l’amplitude augmente significativement avec la température jusqu’à 335 K et amorce une diminution au-dessus de 335 K. Sur la totalité de l’intervalle de température que nous avons couverte, la position en fréquence du pic est quasiment fixe. Ce pic correspond au SM. La compétition entre le mode central et le mode mou est favorable au premier entre 100 K et 260 K et au second, de 280 K à 420 K.
Dans la dernière partie, c’est-à-dire au-dessus de 50 cm-1, les valeurs de ε’’ sont assimilables à une permittivité influencée par les modes de phonons optiques situés au-dessus de 70 cm-1. Dans le BST70/30, la destruction du mode mou et le renversement du mode central à partir de 370 K caractérisent la force de ces modes par rapport au mode mou et au mode central.
BST50/50
Le BST50/50 n’a pas été caractérisé pour des températures supérieures à la température ambiante. Les résultats expérimentaux montrent que la partie réelle de la permittivité de ce ferroélectrique décroît avec la fréquence comme celle des deux échantillons précédents. On observe également une décroissance des valeurs de ε’ avec la température. La partie imaginaire de la permittivité du BST50/50 présente de 5 cm-1 à 20 cm-1 un pic caractéristique du mode central. La valeur maximale du CM décroît lorsque la température diminue. Au-dessus de 20 cm-1, la permittivité croit et devient quasi constante à haute fréquence. Dans le BST50/50, c’est le mode dont la force est faible qui explique la croissance des valeurs de la permittivité dès 20 cm-1. L’interaction avec les phonons optiques est responsable du plateau observé à haute fréquence sur la partie imaginaire de la permittivité. Dans le BST50/50, les résultats expérimentaux, en particulier sur la partie imaginaire de la permittivité montrent que le mode central est dominé par le mode mou et la contribution des effets à haute fréquence.
Pour l’analyse théorique, nous ne focaliserons notre attention que sur le
BST80/20, les explications avancées étant transposables aux autres
ferroélectriques. Les résultats expérimentaux, quel que soit le pourcentage de
strontium dans la couche mince, montrent la contribution d’une relaxation de
type Debye et des modes de phonons optiques actifs dans la région submillimétrique.
On modélise la prise en compte de ces différents phénomènes par les paramètres
de l’équation . Pour chaque température, les
paramètres,
et
ont été trouvés pour ajuster
les résultats expérimentaux. Dans la figure 3.24, nous montrons une
comparaison entre les valeurs expérimentales et théoriques du BST80/20 pour
quatre températures : 335 K, 294 K, 200 K et 100 K. La très bonne correspondance
entre les différentes dispersions expérimentales et théoriques de ε’ et de
ε’’ confirme le choix judicieux du modèle théorique : une relaxation
de type Debye associée à deux oscillateurs de type Lorentz. Les observations
expérimentales sur la partie réelle et la partie imaginaire de la fonction
diélectrique complexe sont transposables aux résultats théoriques. Le modèle
que nous utilisons pour analyser nos résultats nous permet de voir la
contribution de chaque phénomène sur les valeurs de la permittivité. Dans la figure
3.25, on a tracé la fonction diélectrique expérimentale à 294 K, la
contribution de Debye, la contribution des deux oscillateurs et la somme de ces
trois effets. Les valeurs de ε’ et de ε‘’ au-dessus de 50 cm-1
dépendent essentiellement de l’oscillateur 2 c’est-à-dire que l’influence des
phonons optiques dont la fréquence est située au-delà de 70 cm-1 est majoritaire. Entre 20 cm-1 et
50 cm-1 l’intervalle fréquentiel de recouvrement du mode mou, on est
en présence d’une dominance partielle de l’oscillateur 1 dont le pic est assez
prononcé. L’oscillateur 2 participe à l’atténuation du pic propre au phonon mou
en diminuant son amplitude et en augmentant son étalement. A basse fréquence,
entre 5 cm-1 et 20 cm-1, le pic présent dans la partie
imaginaire de la permittivité trouve son origine dans la relaxation de Debye et
les valeurs de la permittivité réelle sont données par la somme des trois
contributions. Pour comprendre et expliquer la contribution de chaque terme
utilisé dans la simulation, on étudie
l’évolution des paramètres
,
et
en fonction de la température.
Les simulations réalisées à toutes les températures ont permis de suivre l’évolution thermique des paramètres propres au mode central et au mode mou pour les trois échantillons caractérisés.
Les figures la dispersion de Debye et
la fréquence de
relaxation. La dispersion diélectrique
qui varie comme la
permittivité du matériau augmente avec la fraction massique x du strontium
présente dans le BST.
Pour le BST80/20, la valeur de augmente rapidement
avec la température et présente deux maximums à
255 K et 370 K. Ces deux températures correspondent aux températures
pour lesquelles la valeur du pic propre au CM est maximale. En effet dans la figure
3.21, pour les températures inférieures à la température ambiante, le pic
du mode central décroît en passant par une valeur maximale à 255 K et à haute
température le pic s’accentue et atteint sa plus grande valeur à 370 K avant
d’amorcer sa diminution.
Pour le BST70/30, la valeur de augmente rapidement
avec la température. Cette variation de la permittivité du CM devient
exponentielle dès 370 K ; température pour laquelle on observe l’inversion
de l’extremum du mode central.
Pour le BST50/50, on assiste à
une variation monotone de la permittivité du mode central
entre 100 K et 295 K.
La fréquence de relaxation (figure
3.26 B)) des trois BST présente une
variation monotone sur toute la gamme de température. Toutefois, l’évolution de
la fréquence de relation du BST80/20
s’accompagne de modifications aux mêmes températures que
: présence de deux minimums à 255 K et 370 K. En
général, la présence de relaxation dans un matériau ferroélectrique permet de
suivre le changement de phase ou de structure du matériau. Des études
complémentaires permettront, dans un avenir proche, de préciser si on assiste à
une modification cristallographique de la structure du BST80/20 ou à de simples
vibrations du réseau formé par les ions titane et les ions oxygène.
La fréquence de relaxation des BST70/30 et BST50/50 est quasi constante de 100 K à 295 K.
Le BST50/50 reste dans sa phase
initiale de même que le BST70/30 qui présente une diminution de à 370 K.
Dans la figure 3.26 C), nous avons tracé l’évolution de la fréquence du mode mou avec la température. La fréquence du mode mou des BST décroît faiblement avec la température. Cette décroissance de la fréquence de relaxation est caractéristique d’un déplacement du mode mou avec la fréquence. On constate dans le BST 70/30 une augmentation brutale de la fréquence du mode mou dès 335 K. Lorsque la variable x (pourcentage de strontium dans le BST) diminue la fréquence du mode mou augmente. Ce résultat est conforme au résultat trouvé sur la position du mode mou en fonction de la fréquence dans différentes céramiques [56]. En effet, pour des faibles valeurs de Strontium, on se rapproche de la structure du BTO classique dont les principaux modes optiques sont répertoriés au-dessus de 100 cm-1 comme le montrent les mesures Raman de la figure 3.20.
La variation dans le domaine térahertz des paramètres du mode mou et du mode central
avec la température apporte des informations sur la modification de la
structure cristallographique du cristal. Pour les trois compositions étudiées,
la fréquence de relaxation est située dans le domaine gigahertz et la fréquence
du mode mou est proche de 1 THz. La dispersion diélectrique varie faiblement à
basse fréquence, et les modifications constatées à haute fréquence se
répercutent dans le comportement du mode central et du mode mou. Les valeurs de
: ,
,
,
,
,
,
et
utilisées pour ajuster
la réponse diélectrique des BST pour deux températures différentes sont
répertoriées dans les tableaux 3.5, 3.6 et 3.7.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
294 |
138,58 |
10,57 |
11,21 |
37,52 |
27,64 |
91,67 |
155,13 |
162,03 |
335 |
396,74 |
7,56 |
37,48 |
33,52 |
19,57 |
77,56 |
61,90 |
51,18 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
100 |
116,18 |
9,23 |
41,14 |
53,93 |
59,17 |
13.54 |
74.79 |
27.61 |
335 |
226,16 |
9,74 |
70,27 |
43,14 |
45.30 |
73.26 |
79.61 |
59.19 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
100 |
70,01 |
10,01 |
66,67 |
60,01 |
90,01 |
45,35 |
105,01 |
90,01 |
294 |
70,01 |
10,01 |
108,01 |
50,01 |
80,01 |
80,01 |
100,01 |
90,01 |
L’étude du BTO en forme de couche mince dans le domaine térahertz fait ressortir des données que nous résumons en plusieurs points.
* La partie
réelle de la permittivité des BTO décroît rapidement avec la fréquence et
augmente avec la température. La partie imaginaire des BTO croît avec la
fréquence mais diminue avec la température. Comme ε’ décroît et ε’’
augmente avec la fréquence, les pertes représentées pas seront importantes. Ce
fort coefficient des pertes est observé dans la plupart des couches minces
ferroélectriques contrairement aux cristaux ferroélectriques massifs.
* Autour de 413 K, le matériau amorce un changement de phase, mis en évidence par l’apparition d’une courbure dans ε’ et d’un pic large dans ε’’. L’apparition d’une courbure est relative au changement de phase et d’une évolution sensible du phénomène de relaxation lorsque le BTO est dans la phase paraélectrique. Toutefois un modèle de Debye seul ne permet pas de rendre compte de l’inflexion observée à haute température. Une étude plus complexe mettant en jeu plusieurs modes de phonons est à l’étude.
* Les mesures Raman confirment la présence des modes de phonons optiques dans la couche mince : le mode A1 (750 cm-1) et les trois modes E (520 cm-1, 310 cm-1 et 183 cm-1). Nous n’observons pas le mode E à 36 cm-1. Nous estimons que la variation de la fonction diélectrique des couches minces du BTO, dans le domaine térahertz est dominée par l’influence des modes e E(TO) et E(LO) à 183 cm-1.
L’étude des BST met en relief plusieurs phénomènes :
La dispersion diélectrique augmente et la fréquence du mode mou diminue
lorsque le taux de strontium diminu. Ces observations résultent des
caractéristiques géométriques entre les cations baryum et les cations strontium.
En effet l’infériorité du rayon du strontium () par rapport au rayon du baryum (
) et de la masse du strontium (
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Dans les domaines de
l'électricité et de l'électronique, les polymères ont longtemps été utilisés comme
isolant ou diélectrique. A partir des années cinquante, la recherche manifesta un vif intérêt pour
l'étude de matériaux associant les propriétés mécaniques des polymères classiques et les
propriétés électriques des métaux. L'objectif de ce chapitre est de mettre en
évidence le comportement des paramètres diélectriques du matériau polymère conducteur
étudié. Nous présenterons premièrement la polyaniline, qui est le polymère
conducteur utilisé dans nos matériaux composites, et le couple
dopant/solvant acide camphre sulfonique/acide dichloroacétique CSA/DCAA
qui est utilisé pour modifier les propriétés de conduction de la polyaniline. Par
l’intermédiaire de
On distingue deux types de polymères conducteurs :
les polymères conducteurs extrinsèques
et les polymères conducteurs électroniques intrinsèques (PCEI).
- Pour obtenir un polymère conducteur extrinsèque, on introduit dans une matrice polymère des poudres ou fibres métalliques. On obtient alors un polymère dit « chargé », la conduction étant assurée par les particules introduites. Le mot extrinsèque est mis en avant pour souligner le caractère "étranger" des charges de conduction. Les valeurs de conductivité sont de l'ordre de 10 S/cm, elles sont limitées par la préservation des propriétés mécaniques du polymère hôte.
- La méthode qui permet de fabriquer des PCEI consiste à créer des porteurs de charges mobiles sur la chaîne polymère elle-même. Cette méthode de synthèse est véritablement née en 1977 à la suite des travaux de Heeger, MacDiarmid et Shirakawa [1] qui dopèrent le polyacétylène. Ces travaux ont été récompensés par le prix Nobel de chimie, en l'an 2000, à ces auteurs pour leurs rôles dans la découverte et le développement des polymères conducteurs électroniques. La structure des PCEI est différente de celle d’un polymère isolant que l’on désigne souvent par polymère saturé dont le plus connu est le polyéthylène. Dans ces derniers chaque atome de carbone de la chaîne macromoléculaire est lié par une liaison simple (de type σ) à quatre atomes voisins (hybridation sp3). Tous les électrons des couches électroniques externes sont impliqués dans des liaisons covalentes. Il n'y a donc pas de charge libre susceptible de se déplacer le long de la chaîne ; le matériau est alors un isolant électrique. Dans les PCEI, chaque atome de carbone est lié uniquement à trois atomes différents, ce qui laisse un électron libre par atome de carbone. Ces électrons, placés dans les orbitales pz, forment, par recouvrement avec les orbitales voisines, des liaisons π. Une liaison sur deux est une liaison double. On dit alors des PCEI qu'ils sont des polymères conjugués, c'est-à-dire qu'ils présentent une alternance de simples et de doubles liaisons. Les liaisons simples, de type σ, qui correspondent à la mise en commun de deux électrons, dans les orbitales profondes, assurent la cohésion du squelette carboné de la même manière que dans les polymères saturés. Les doubles liaisons (liaison π) sont responsables de la rigidité des polymères et limitent leur solubilité. A l'état non dopé, les PCEI sont des semi-conducteurs présentant un gap de l'ordre de 1 à 4 eV et de faibles conductivités : de 10-10 à 10-16 S.cm-1.
Le PCEI sur lequel porte notre étude est la polyaniline. Pour
la rendre conductrice, elle sera dopée par le couple
dopant/solvant acide camphre sulfonique/acide dichloroacétique CSA/DCAA.
- La polyaniline
C’est sans doute le plus ancien polymère conjugué préparé pour la première fois en 1834 [2]. Son renouveau depuis le milieu des années 80, repose sur quelques atouts : le bas prix des constituants, sa synthèse, sa stabilité thermique et environnementale. La polyaniline fait partie, avec la leucoéméraldine et la pernigraniline, des produits d’oxydation de l’aniline. La figure 4.1 présente de façon générique les différents degrés d'oxydation de la polyaniline.
La polyaniline est un matériau constitué d'une succession de cycles aromatiques de type benzéniques pontés par un hétéroatome d'azote. La polyaniline émeraldine base est l'état non dopé du polymère conducteur qui a été utilisé pour réaliser les composites que nous étudierons. La polyaniline éméraldine base (PANI-EB) possède autant de « groupements benzène diamine » que de « groupements quinone diimine », elle correspond à l'état d'oxydation y = 0.5. Dans la suite de ce manuscrit, nous ne nous intéresserons qu’à cette dernière forme de PANI très stable sous conditions ambiantes, semi-conductrice et dont le gap est estimé à 1.4 eV [3].
- L’acide camphre sulfonique (CSA) et l’acide dichloroacétique (DCAA).
Figure 4.2 : Couple solvant/dopant.
Pour synthétiser les composites conducteurs qui ont servi à cette étude, le couple solvant/dopant constitué de l’acide camphre sulfonique (CSA) et l’acide dichloroacétique (DCAA) a été choisi. Ces deux molécules sont représentées dans la figure 4.2. Ce couple permet de produire des composites dont la conductivité dépasse 8000 S.m-1 [4], valeur obtenue avec le couple acide dodecylbenzene sulfonique/acide dichloroacétique. Le solvant utilisé (acide dicholoroacétique) aurait pu être remplacé par un autre solvant : le m-crésol qui permet d’obtenir des valeurs quantifiables de conductivité. Il a été disqualifié car il est très toxique et sa présence sous forme de résidus dans les composites est un risque pour les utilisateurs.
Après avoir choisi le dopant et le solvant, la
seconde étape consiste à doper
En général, le dopage dans
les PCEI, est obtenu par une réaction d'oxydo-réduction qui consiste à
introduire, par voie électrochimique ou chimique, des espèces accepteuses
(dopage de type P réalisé par des oxydants) ou donneuses d'électrons (dopage de
type N réalisé par des réducteurs) au voisinage des chaînes macromoléculaires
conjuguées. On fait ainsi apparaître des charges électriques sur les chaînes et
la conductivité augmente fortement pour atteindre des valeurs proches de celles
des métaux (figure 4.3). L’augmentation du taux de dopage aboutit à une
transition métal isolant. Les espèces introduites lors du dopage, souvent
appelées dopants ou contre ions, demeurent dans le matériau à proximité des
chaînes polymères et assurent l'électroneutralité de l'ensemble. Leur présence
à proximité des chaînes polymères n’est pas sans conséquence sur les propriétés
de transport électrique du matériau. Il a été montré que leur rôle pouvait être
déterminant dans la mise en solution [5], dans l’organisation
structurale [6] et dans la stabilisation d’un état de type métallique [7].
Pour synthétiser les composites et augmenter la
conductivité de la polyaniline, c’est le dopage protonique qui a été utilisé.
Il est effectué sans modification du nombre d’électrons du système [8],
car seuls les électrons des orbitales p impliquées dans la conjugaison
diminuent. Le dopage protonique est un processus acido-basique réversible qui
permet de rendre le stade éméraldine conducteur par la protonation des atomes
d’azote, pour aboutir à un sel d’éméraldine sans modification de l'état
d'oxydoreduction de la polyaniline. La majeure partie des scientifiques spécialistes
de ce domaine s’accordent sur le fait que la protonation s’effectue
exclusivement sur les sites imines (-N=) [9]. Le taux de dopage de
Figure 4.3 : Comparaison des conductivités de divers PCEI
avec celle de matériaux « classiques ».
Le squelette macromoléculaire
protoné effectue un réarrangement redox interne qui transforme
La
grande facilité de déformation des chaînes polymères due à leur caractère
unidimensionnel induit un fort couplage électron - phonon. Une charge
introduite lors du dopage provoque une déformation locale de la chaîne et crée
un état localisé dans la bande interdite. On parle alors de défauts chargés
localisés. Ces quasi-particules (défauts + charges) créent des niveaux
d'énergie à l'intérieur de la bande interdite (gap). Elles modifient localement
l'alternance simple-double liaison et créent des domaines. Il existe trois
types différents de quasi-particules :
- Le soliton qui est caractéristique des systèmes dégénérés (exemple du
polyacétylène) et peut être vu comme un défaut séparant deux formes de
résonance énergétiquement équivalentes du polymère conjugué, à l'image d'une
paroi magnétique entre deux domaines ferromagnétiques up et down.
- Le polaron qui possède un spin (1/2) et une charge et le bipolaron qui
possède une charge double mais pas de spin. Il peut être vu comme une paire
soliton - antisoliton qui encadre un domaine minoritaire (énergie plus élevée)
dans une matrice majoritaire (énergie plus basse). Polarons et bipolarons sont
présents dans les systèmes non dégénérés tels que les polythiophènes.
L’existence des polarons a pu être mise en évidence par des expériences de
résonance paramagnétique électronique [10] et par des mesures optiques [11].
Un bipolaron est créé lorsque l’on introduit une deuxième charge dans la chaîne
et que cette charge n'aboutit pas à la création d’un deuxième polaron. Le bilan
énergétique serait favorable à la création de bipolarons [12] plutôt
qu'à la formation de deux polarons.
Ces quasis particules ou porteurs de charge, sont responsables de la conduction électrique dans les polymères conducteurs.
Après avoir protonée
La fin du
mélange massique des différentes solutions ouvre la voie à la dernière étape de
la synthèse des composites : le séchage. Pour chaque concentration de
PANI-CSA dans PU, on a utilisé
Les films (polymères conducteurs)
obtenus [13] sont souples, élastiques, d’un vert transparent (voir figure
4.5) et ont une épaisseur de 150 μm.
Les composites, que nous avons caractérisés par spectroscopie térahertz,
sont listés dans le tableau 4.1 en fonction de leur concentration massique
de polyaniline. Ils ont été élaborés à l’Ecole Normale de Chimie et Physique de
Bordeaux dans l’équipe du Professeur J. Louis Miane.
Figure
4.5 : Photographie des composites de Pani-CSA/PU.
COMPOSITES |
1-PANI-CSA/PU |
2-PANI-CSA/PU |
3-PANI-CSA/PU |
4-PANI-CSA/PU |
5-PANI-CSA/PU |
P en % |
0,2 |
0,5 |
1 |
5 |
10 |
Tabeau 4. 1 : Composites synthétisés et pourcentage de dopage.
L’étude des polymères conducteurs que nous entreprenons est orientée vers
un but nouveau : mettre en évidence leur conductivité électrique aux
fréquences térahertz. Les résultats obtenus permettront d’établir un pont entre
les applications dans le domaine électronique et le domaine térahertz. Avant de
présenter les résultats expérimentaux, il est important de définir les notions
qui régissent la conductivité dans les PCEI. Il
n’existe pas de théorie générale sur les propriétés de conduction dans les
polymères conducteurs. On peut, néanmoins, dégager, à l'aide des publications
et des travaux de recherche présent dans la littérature, un certain nombre
d'éléments essentiels à la compréhension des phénomènes de transport dans les
polymères. En dehors de la notion de dopage, la principale notion qui distingue
les propriétés de conduction des polymères de celles des métaux et des
semi-conducteurs est la notion de désordre.
C’est le concept important pour la physique des
polymères conducteurs. Le désordre a pour effet d’induire une localisation des
états électroniques qui est particulièrement drastique à une dimension,
puisqu’elle survient quelle que soit l’intensité du potentiel de désordre. Les
causes de désordre sont multiples et se manifestent à différentes échelles. On
parlera de désordre homogène lorsque l’on se place à l'échelle moléculaire, et de désordre
hétérogène pour les échelles mésoscopiques et macroscopiques. Les causes de
désordre homogène sont de deux types : le désordre chimique
(défauts de polymérisation, défauts de conjugaison, bouts de chaîne) et le désordre de
conformation (rotation des cycles autour des liaisons intercycles). Le désordre
hétérogène fait, quant à lui, intervenir la notion de grains conducteurs ou d'îlots
métalliques. On décrit le système par une alternance de zones fortement
conductrices (parce que bien dopées et/ou bien ordonnées) et de zones isolantes
(parce que peu dopées et/ou amorphes). Une même macromolécule peut, semble t-il,
appartenir partiellement à chacune de ces régions. L’organisation du matériau,
donc la quantité et le type de défauts rencontrés sont déterminants quant aux
propriétés de la conduction. Le mode de synthèse chimique et la mise en forme
interviennent de façon critique dans l’existence d'un ordre partiel au sein des
PCEI. En général, pour des PCEI « classiques », la conductivité croît quand la
température augmente, reflétant la conduction par sauts, caractéristique des
matériaux désordonnés à états localisés. A l'inverse, certains modes de
préparation conduisant à une structure plus ordonnée du matériau permettent
d'obtenir des polymères qui présentent certaines caractéristiques de l'état
métallique [14].
Le comportement de la conductivité des polymères conducteurs dopés est
intermédiaire entre le métal et le semi-conducteur. Dans un métal, le nombre de
porteurs de charge reste constant et sa conductivité croît lorsque la
température diminue parce que la mobilité augmente. A l'inverse, dans les
semi-conducteurs, la conductivité décroît de manière exponentielle quand la
température diminue parce que les porteurs doivent être excités thermiquement
pour « sauter » le gap et entrer dans la bande de conduction. Dans
les polymères conducteurs le nombre de porteurs de charge est constant avec la
température et la conductivité diminue généralement avec celle-ci mais de
manière moins importante que dans les semi-conducteurs. Cette particularité est
caractéristique des matériaux désordonnés ou la conduction s'effectue par sauts
(« hopping » = processus de saut assisté par les phonons) entre états
localisés. Dans la très grande majorité des PCEI, et au moins à basse
température (), la conductivité
suit une loi de Hopping
généralisée :
,
sont respectivement la
conductivité initiale, la température ambiante et
est une constante dont
la valeur est dans l’intervalle
. Ces trois constantes dépendent de la température.
A la figure 4.6
nous avons représenté la courbe typique [15] de variation thermique de
la conductivité en régime continu du film de PANI-CSA dopé au m-crésol. On
remarque la présence d’un maximum (pour T=260 K) qui marque la limite entre une région
à « basse température », caractéristique des systèmes désordonnés, où
la conductivité se comporte qualitativement comme dans les semi-conducteurs, et
une région de type métallique où la conductivité décroît quand la température
augmente. La partie à basse
température est relativement bien ajustée par une loi en « exponentielle
étirée » suivant les conditions de synthèse, de dopage et de mise en forme
de la polyaniline.
La théorie de la percolation a été introduite en 1956 par les mathématiciens Broadbent et Hammerslay [16] pour étudier le problème du passage d’un fluide dans un filtre poreux. Actuellement elle est utilisée pour décrire la conductivité électrique dans une structure composite désordonnée. Lorsqu’on mélange un pourcentage massique p d’un matériau conducteur dans un matériau isolant, la structure formée admet une conductivité qui varie avec le pourcentage de dopage. Lorsque la fraction massique p atteint une valeur spécifique, la conductivité de la structure obtenue augmente brusquement : c’est le seuil de percolation.
Considérons un mélange composé par p% de particules conductrices dispersées dans une matrice isolante et pc le seuil de percolation. La loi donnant la variation de la conductivité en fonction de la percolation est donnée par :
t est l’exposant critique. C’est le coefficient directeur de la fonction ci-dessous :
Lors de la synthèse des composites présentés
précédemment, le meilleur ajustement de l’équation a été obtenu avec un seuil de percolation de 0,188% [13] et
un exposant critique évalué à 2,3. La faible valeur du seuil de percolation
rend compte de la mise en place de réseaux de conduction dans le composite et
de l’établissement d’interactions entre ses différents constituants :
PANI, solvant, dopant et matrice ôte.
Dans la figure 4.7 tirée des travaux de J. Fraysse et J. Planès [17],
la figure 4.7 a) présente l'ajustement de l'équation dans les composites à base de polyaniline en échelle
logarithmique à différentes températures. Cette étude montre que le seuil de
percolation n’est pas corrélé à la température.
La variation complète en fonction de la température de
l’exposant critique (pente) est représentée par la figure 4.7 b). Elle (pente) augmente quand la température
décroît. On peut correctement décrire la variation de la pente avec la
température par :
Avec
Cette loi est indépendante du régime
de conduction dominant Hopping ou métallique.
Dans le chapitre 2 de ce manuscrit, nous avons présenté le dispositif
expérimental utilisé pour caractériser, aux fréquences térahertz, nos polymères
conducteurs : PANI-CSA/PU. Nous plaçons et fixons un diaphragme de
diamètre et l’impulsion térahertz en présence du substrat à
caractériser
. On extrait les paramètres diélectriques du matériau en
analysant la fonction de transfert complexe T(ω) du
composite dont le calcul théorique est donné dans le chapitre 2.
La figure 4.8 présente le spectre de référence et les spectres térahertz transmis par les composites PANI-CSA/PU dans le domaine temporel. Dans toutes les figures, les différents échantillons seront désignés en fonction de la concentration massique de polyaniline dans le composite. La fenêtre temporelle d’acquisition est coupée à 12 ps, le signal de référence est centré à 4,87 ps. Le délai temporel entre le signal de référence et le signal transmis par le composite augmente avec la quantité de polyaniline de même que l’élargissement temporel de chaque signal. L’absorption et la réflexion de l’onde térahertz incidente par les composites sont mises en évidence par la décroissance de l’amplitude du signal mesuré.
Après
applications des équations (2.3) et (2.4) aux résultats expérimentaux
ci-dessous, nous obtenons les spectres dans le domaine fréquentiel. Le calcul
de la fonction de transfert de chaque composite est effectué grâce à l’équation
(2.5), et par un procédé numérique, on extrait la fonction diélectrique
complexe du polymère
conducteur. La permittivité a été déduite du calcul de l’indice de réfraction
des composites de PANI-CSA/PU grâce aux relations définies dans le chapitre 2. Nous présentons
les résultats en termes de permittivité dans la figure 4.9 et de
conductivité dans la figure 4.10.
Figure 4.8 : Spectres temporels térahertz mesurés en
absence de composites et avec composites.
La figure 4.9 montre la variation de la partie réelle de la permittivité des composites : PANI-CSA/PU-0,2%, PANI-CSA/PU-0,5%, PANI-CSA/PU-1%, PANI-CSA/PU-5% et au PANI-CSA/PU-10% en fonction de la fréquence térahertz [18].A température ambiante on observe une dépendance significative de la permittivité en fonction de la fréquence. Les valeurs de la permittivité diminuent avec la fréquence et augmente avec la fraction massique de polyaniline. Lorsque l’écart entre le pourcentage (0,2%, 0,5% et 1%) de dopage est faible, les valeurs de permittivité sont assez proches tandis que pour des écarts plus importants (5% et 10%), on observe une différence notable des valeurs prises par la permittivité. Dans la même figure, nous avons représentés les erreurs de mesures réalisées sur les composites 0,5% et 10%. Les résultats (ε ≈ 10-4) permettent de négliger le pourcentage des incertitudes sur les différents paramètres diélectriques calculés. La variation de la permittivité ne met pas en évidence un phénomène de relaxation dans le domaine térahertz.
La figure 4.10 montre l’évolution de la conductivité des composites : PANI-CSA/PU-0,2%, PANI-CSA/PU-0,5%, PANI-CSA/PU-1%, PANI-CSA/PU-5% et PANI-CSA/PU-10% en fonction de la fréquence térahertz [18]. Les variations de la conductivité dynamique sont obtenues à température ambiante. La conductivité des différents films augmente avec la fréquence et avec la fraction massique de polyaniline. L’évolution rapide de la conductivité à partir des composites de dopage supérieur à 0,5% confirme l’existence du seuil de percolation inférieur à 1%. Les résultats expérimentaux, en termes de conductivités ne mettent pas en évidence un comportement de type Debye ou Drude car on n’observe pas la présence d’une fréquence de relaxation.
Pour interpréter nos résultats, nous ne nous sommes pas orientés vers l’utilisation d’une loi de Debye ou de Drude. En effet la loi de Debye est propre aux matériaux présentant un phénomène de relaxation, et la loi de Drude traduit l’existence de porteurs libres sujets à des collisions aléatoires dans le matériau. Nos composites, comme tous polymères conducteurs sont qualifiés de matériaux désordonnés. Depuis la fin des années 50 [19] jusqu'à aujourd'hui [20, 21], la réponse quasi-universelle des conducteurs désordonnés vis-vis de la réponse diélectrique alternative suscite de nombreuses questions. Jonscher en 1977 [22] en a fait une première discussion unifiée dans laquelle, l’universalité se traduit par le fait que le comportement de la fonction diélectrique complexe est décrit par les lois maîtresses :
Les paramètres A, s et ω0 dépendent
de la concentration de polyaniline dans le composite, avec . De
nombreux modèles s'accordent également sur ces lois, qu’ils soient de type
milieu effectif ou percolation. Plusieurs revues expérimentales et théoriques
sur le sujet sont disponibles [23, 24, 25, 26]. Les
comportements théoriques des équations et sont représentés
respectivement dans la figure 4.9 et 4.10. Les résultats
expérimentaux sont en bon accord avec le modèle théorique choisi. Des études
tirées des références [27] et [28] montrent que le paramètre
« s » décroît avec une augmentation de la fraction massique de
polyaniline. Nos résultats confirment cette observation. En effet dans la figure
, la même corrélation existe entre cette fréquence et la
conductivité statique comme le montre la figure 4.11 b). Cette
proportionnalité
est confirmée par les
travaux de J. Planès [17] quel que soit le pourcentage de polyaniline ou
la température.
Figure 4.11 : a) Variation du paramètre « s » et de la fréquence seuil avec le pourcentage de polyaniline. b) Corrélation entre la fréquence seuil et la conductivité statique.
Pour consolider nos résultats, une
comparaison a été effectuée entre les valeurs de la conductivité obtenues à 0,2
THz et les valeurs de la conductivité statique mesurées par Hoang [13, 18] avec
la méthode des quatre pointes. La technique de quatre pointes est une méthode
de mesure non destructive qui permet de quantifier la conductivité statique
d’un matériau. On emploi un quadripôle formé d’un dipôle d’injection (deux
pointes) du courant et d’un dipôle (deux pointes) pour mesurer la différence de
potentiel. Le tableau ci-dessous présente le récapitulatif des résultats.
PANI-CSA/PU |
|
|
0,2 |
4 |
0.05 |
0,5 |
10 |
3,72 |
1 |
21 |
13 |
5 |
387 |
370 |
10 |
952 |
1000 |
Tableau 4. 2 : Comparaison des conductivités obtenues par THz-TDS et par la méthode des quatre pointes.
Les résultats donnés par les deux méthodes de mesures sont similaires pour des composites de dopages supérieures à 1%. Cette observation confirme qu’à basse fréquence la conductivité dynamique est identique à la conductivité statique. Pour des composites de dopages inférieures à 1%, l’écart entre les résultats est dû à l’influence de la zone de percolation dont le pourcentage de polyaniline est de 0.2%. Les mesures de la fonction diélectrique des polymères conducteurs nous permettent de nous intéresser à une autre grandeur importante pour l’utilisation de ces matériaux dans le domaine industriel ou militaire : l’efficacité de blindage. 4.5.2 Efficacité de blindage des PANI-CSA/PU dans le domaine térahertz
Les problèmes d’interférence électromagnétiques augmentent avec la prolifération des dispositifs électroniques et électriques. Pour s’affranchir de ce problème, on fait appel à des boîtiers protecteurs pour servir de blindage. Ces boîtiers sont généralement faits avec des métaux mais ceux-ci sont de plus en plus remplacés par des polymères conducteurs. Le choix des polymères conducteurs s’impose face aux métaux à cause de leur faible coût, de leurs propriétés électromagnétiques modulables et de leur synthèse facile.
L’efficacité de
blindage (SE) d’un matériau (composite conducteur) est définie comme le
logarithme de sa fonction de transfert [29]. La
fonction de transfert étant le rapport entre le champ électromagnétique mesuré sans le matériau
et le champ
électromagnétique transmis par le matériau
:
Nous avons représenté la variation de SE dans le domaine térahertz dans la figure 4.12. Les résultats obtenus montrent que les valeurs de SE augmentent [30] avec la fréquence et la fraction massique de polyaniline dans le composite. Des résultats similaires [13] ont été obtenus dans le domaine micro-onde entre 8 GHz et 18 GHz sur les mêmes échantillons de polyaniline. Par exemple, avec le film de polyaniline dopé à 10%, on obtient une efficacité de blindage de 40 dB à 0,55 THz. Cette valeur est une référence pour des applications industrielles alors qu’il faut atteindre 80 dB pour des applications militaires
Dans les
matériaux, les mécanismes d’interaction entre une onde et un matériau
permettent de définir deux régimes différents : « électriquement
fin » et « électriquement épais ». Ces régimes sont définis en
fonction du rapport entre la profondeur de pénétration de l’onde dans le matériau et son épaisseur
.
Pour , le matériau est considéré comme électriquement fin,
l’efficacité de blindage est donnée par :
est l’impédance du
vide et
la conductivité du
matériau.
Pour , le matériau est considéré comme électriquement épais,
l’efficacité de blindage est donnée par :
Avec e = 2,7181459…
L’expression (4.11)
permet de calculer la profondeur de pénétration [31]. est la perméabilité du
vide. La figure 4.13 montre les variations du rapport épaisseur de peau
sur l’épaisseur du film en fonction de la fréquence térahertz.
Figure 4.13 : Variation de la profondeur de pénétration avec la fréquence térahertz.
La conductivité
de nos composites a été présentée dans la figure 4.10. Grâce à ces
résultats nous pouvons admettre que la condition est remplie ; ce
qui confère aux PANI-CSA/PU la qualification de matériaux conducteurs. En effet
pour un matériau conducteur, le calcul de l’efficacité de blindage dépend de la
profondeur de pénétration de l’onde térahertz dans le matériau. En utilisant
les résultats obtenus sur la conductivité de nos échantillons PANI-CSA/PU, nous
avons calculé la variation de la profondeur de pénétration
du champ térahertz dans
chaque composite. On classe nos échantillons en comparant les résultats obtenus
de
avec l’épaisseur du
polymère conducteur. Les composites de dopage 0,2%, 0,5% et 1% sont considérés
comme des matériaux électriquement fins et les composites de dopage 5% et 10%
sont dits électriquement épais entre 0.5 et 1 THz.
Le résultat des équations et est donné à la figure 4.12, il est en accord avec nos données expérimentales. Dans le cas des matériaux fins, ce résultat montre que l’efficacité de blindage augmente lorsque la conductivité du matériau augmente. L’efficacité de blindage dans les matériaux électriquement épais dépend non seulement de sa conductivité mais aussi de la profondeur de pénétration du champ incident dans le matériau.
Les résultats principaux de
ces études de caractérisation de polymères conducteurs sont au nombre de trois:
1. D’après les études menées sur nos composites et sur
d’autres polymères à base de polyaniline, il existe une percolation électrique
bien caractérisée dont le seuil est extrêmement faible et dont l'exposant
critique montre une variation forte et monotone avec la température. La
dépendance thermique de la conductivité possède un comportement de type
Hopping.
2. La permittivité et la conductivité de ces systèmes dits conducteurs
désordonnés sont décrites par une loi universelle. La permittivité décroît avec
la fréquence térahertz tandis que la conductivité augmente. La fraction
massique de polyaniline dans le composite influence significativement la
variation de la conductivité. Les différents échantillons peuvent être
considérés comme de bons conducteurs dans le domaine térahertz car la conditiona été vérifiée.
3. Pour faire face aux défis
d’interférence électromagnétique, les polymères conducteurs constituent un axe
de recherche vers lequel s’orienter pour la fabrication de boîtiers
protecteurs.
Dans le futur, des études, en fonction de la température et des fréquences térahertz, seront menées pour comprendre le rôle et l’influence de la température sur les porteurs de charge. Une étude par spectroscopie térahertz en réflexion sur des composites de dopages supérieurs à 10% sera mise en place car la faible transmission du champ térahertz par ces échantillons a limité l’exploitation des résultats.
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Dans ce manuscrit, nous avons présenté la réalisation complète et la validation d'une expérience de spectroscopie THz en espace libre et dans le domaine temporel. Les résultats expérimentaux obtenus sur deux familles de matériaux : ferroélectriques et polymères conducteurs ont été intensément étudiés.
Dans un premier temps, nous avons montré les techniques de génération et de détection térahertz employées pour assembler les spectromètres. Pour rendre le fonctionnement du spectromètre optimal dans le cadre d’une émission par effet de surface, nous avons vérifié le comportement des dispositifs d’émission et de détection en fonction de différents paramètres comme la nature du matériau, la puissance d'éclairement ou l’orientation cristallographique du cristal. Cette étude nous a permis de montrer qu’un substrat InGaAs bombardé d’ions brome est un candidat sérieux à la génération térahertz par effet de surface dans un ordre de grandeur proche de l’InAs dont le potentiel n’est plus à démontrer. Dans la partie détection, nos résultats montrent que la détection par une antenne GaAs-BT peut couvrir 4 THz tout comme la détection par l’intermédiaire d’un cristal de ZnTe. Dans le cas du GaAs-BT la limite fréquentielle est due essentiellement au temps de vie ou au temps de recombinaison des porteurs photocrées et dans le cas d’une détection électrooptique elle est surtout fonction de l’épaisseur du cristal. L'utilisation d’optique de collimation simple (miroirs et lentilles) nous a permis d’accroître l’amplitude du signal térahertz, sa largeur spectrale et d’obtenir un meilleur rapport signal/bruit.
Après la mise en œuvre des spectromètres, nous avons étudié la
distribution spatiale et fréquentielle du champ térahertz à l’intérieur du
spectromètre. Les résultats de ces travaux permettent de situer la position du
point focal et montre qu’un diaphragme d’ouverture
Les résultats obtenus sur les matériaux ferroélectriques montrent que la spectroscopie térahertz peut être utilisée pour mettre en évidence le changement de structure ou de phase de ces matériaux, le rôle joué par les modes de vibration des réseaux sur les valeurs de la permittivité. Dans le titanate de baryum l’étude en température montre l’existence d’un changement de phase dès 413 K qui s’accompagne d’une activité discrète des phonons optiques. Les résultats obtenus sur les BST80/20 et BST70/30 montrent en revanche l’influence du mode central (relaxation de Debye) et des oscillateurs (mode mou) sur la variation de la permittivité diélectrique en fonction de la fréquence et de la température. Toutefois ces résultats ne permettent pas d’énoncer avec exactitude que les BST subissent des changements de phases ou de structures. Pour clore cette discussion, des études nouvelles seront menées à plus haute température.
La spectroscopie térahertz appliquée sur des matériaux composites à basse de polyaniline a permis de dégager d’importants résultats. Les polymères à base de polyaniline sont caractérisés par une percolation électrique dont le seuil est extrêmement faible. La dépendance thermique de la conductivité possède un comportement de type Hopping. La variation de permittivité et de la conductivité dans le domaine térahertz de ces composites conducteurs est décrite par une loi universelle. Les résultats montrent que la permittivité décroît avec la fréquence térahertz tandis que la conductivité augmente. Le pourcentage de polyaniline dans le composite influence les valeurs de la conductivité. Les polymères conducteurs sont des matériaux qui peuvent être utilisés pour la fabrication de boîtiers protecteurs. En effet les résultats obtenus sur l’efficacité de blindage sont encourageants. Pour faire une étude plus large de ces composites, des études en fonction de la température dans le domaine térahertz seront menées. Ces travaux permettront de comprendre le rôle et l’influence de la température sur les porteurs de charge.
Dans
notre équipe, pour améliorer nos spectromètres des travaux commencés récemment
portent sur l’installation d’une chambre d’isolation sur la zone centrale du
spectromètre. Il s’agit spécifiquement de confiner la partie émission térahertz,
le trajet de propagation du champ térahertz et la partie détection térahertz.
La dernière opération consistera à remplacer l’enceinte par de l’air sec ou de
l’argon pour éviter la présence de molécules d’eau.
Un nouveau parcours d’une impulsion laser de longueur d’onde variable
sera mis en place sur le banc de spectroscopie térahertz. Ce faisceau sera
orienté de préférence sur le point focal térahertz pour exciter l’échantillon
ou le matériau. L’expérience ainsi réalisée porte le nom de pompe optique sonde
térahertz. Le principe de l’expérience pompe optique-sonde THz est le suivant :
une impulsion optique vient éclairer l’échantillon et crée ainsi des porteurs
libres dans le matériau ; une impulsion térahertz vient alors sonder
l’échantillon. La transmission de cette onde térahertz sera affectée par la
présence des porteurs libres, et en retardant l’impulsion sonde par rapport à
l’impulsion pompe, on obtient un signal proportionnel à l'évolution temporelle
de la population de porteurs dans l’échantillon. La difficulté d’une expérience
de pompe optique sonde térahertz réside dans l’interprétation de la fonction de
transfert donnée par l’échantillon. En fait, une étude rigoureuse de la
perturbation de la transmission de l’onde THz, induite par des porteurs
photogénérés, est compliquée mais le coefficient de transfert de l'échantillon
sous éclairement peut s'écrire, à
l'instant t, et pour un retard
entre l'impulsion térahertz
de sonde et l’impulsion optique de pompe.
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Descriptions
On illumine une antenne photoconductrice avec un laser Titane –Saphir en mode impulsionnel. Le faisceau laser arrive sur l’antenne avec une incidence normale (axe Z),
Paramètres du photoconducteur respectivement durée
de vie des photoporteurs,
indice de réfraction, susceptibilité, permittivité et réflectivité.
On désigne par:
En partant des relations de continuité et de discontinuité (des composantes du champ électrique et du champ magnétique) et de la relation liant le champ électrique au champ magnétique, on peut écrire l’expression du courant surfacique en fonction du champ térahertz émis.
En fonction de la loi ce courant de surface dépend de la conductivité.
Des équations (5.1) et (5.2) on trouve l’expression du champ térahertz.
On distingue deux cas en fonction des valeurs de la conductivité.
1 Cas d’une conductivité statique
Posons
Champ
proche térahertz avec conductivité
Surfacique
statique
Si
la conductivité est statique, le champ térahertz émis dépend uniquement de la
tension de polarisation. Dans la réalité, la conductivité n’est pas statique
car la résistivité du semi-conducteur émetteur (GaAs-BT) varie avec la puissance
optique. Le laser est le plus souvent sujet à des fluctuations au cours de
temps. Cette instabilité du laser provoquera la variation de la conductivité du
GaAs.
2 Variation de la conductivité du semi-conducteur
où
représentent
respectivement la charge de l’électron ; l’énergie d’un photon, la
mobilité des charges du semi-conducteur et le temps de vie des photoporteurs
crées
avec la mobilité statique
,
,
sont respectivement la charge de l’électron, le temps de
relaxation et la masse effective.
La conductivité étant liée à la permittivité et au champ laser, elle s’exprime par :
Dans cette
expression représente la réflectivité
de la surface illuminée,
l’énergie du photon laser et
la durée de vie des charges générées. On applique une tension
statique
aux bornes des
électrodes. Cette tension polarise le photocommutateur et permet de mettre les
photoporteurs en mouvement. Le mouvement rapide des porteurs de charges est
responsable de l’apparition d’un transitoire de courant
. C’est ce bref transitoire de courant qui donne naissance au
champ térahertz proche
rayonné par le
photoconducteur.
Appliquons la loi d’Ohm au photocommutateur en présence du champ proche térahertz et du champ statique
À partir des lois de Faraday et d’Ampère, du théorème de Stokes et
des conditions aux limites de part et d’autre de la surface de l’antenne, on
calcule la densité surfacique de courant en fonction du champ électrique térahertz
émis par l’antenne
Avec ε la
constante diélectrique du matériau et impédance du vide de
valeur 376.7Ω
On trouve finalement l’expression du champ proche térahertz et de la densité de courant en fonction de la tension statique.
Le champ proche [16] dépend directement de la
photoconductivité de surface et de la tension de polarisation. Dans la
littérature on considère la mobilité des porteurs comme une constante car dans
la plupart des cas elle passe d’une valeur transitoire à une valeur finale en
un temps très inférieur à la durée des impulsions laser.
Le champ térahertz
détecté loin de la source est directement proportionnel à la dérivée temporelle de
l’impulsion de courant qui traverse le photoconducteur.
Où est la surface
illuminée et
est la dérivée temporelle de la conductivité par rapport au
temps.
Le calcul de la conductivité et de sa dérivée donne
Où
Posons
En utilisant les expressions, on trouve l’expression analytique finale des champs térahertz
Champ proche térahertz
Champ lointain térahertz
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Revues internationales
[1] Dielectric properties of conducting polyaniline films by THz
time-domain spectroscopy Reference : EPJ4330, European Polymer Journal, E.Nguema,
V.Vigneras, JL Miane, P Mounaix, Vol 44/1 pp 124-129, 2008
[2] Shielding Effectiveness in the terahertz domain of mono layer
doped polyaniline films’
E. Nguema Agnandji, V. Vigneras, JL Miane, P. Mounaix,
Electronics Letters in Volume 43, Issue 23, pp. 1271-1273 2007.
[3] Electrical characterizations of paraelectric BST thin films
up to 1THz. Realization of microwave phase shifters. G. Vélu ; G.
Houzet ; L. Burgnies ; J. C. Carru ; A. Marteau ; K.
Blary ; D. Lippens ; P. Mounaix ; M. Tondusson ; E.
Nguema Ferroelectrics ;; Volume 353 No. 1 Page 29 August 2007
Communications
internationales avec comité de lecture
[1] Conducting dielectric polymer properties at Terahertz
wavelength
E.Nguema et al range IRMMW-THz 2007, The Joint 32nd International
Conference on Infrared & Millimetre Waves and 15th International Conference
on Terahertz Electronics.
[2] Terahertz spectroscopy activity in Bordeaux , congrès OTAN ,
Spiez , 7-13Juillet 2006
P.Mounaix, Marc Tondusson, Edwin Nguema, R.Villeneuve, and Coralie
FOURCADE DUTIN,
Communications nationales
(France) avec comité de lecture
[1] Réponse diélectrique du BTO et du BST dans le domaine terahertz. E Nguema, J.C. Delagnes, P. Mounaix, P. Kužel, J.C. CARRU, G. VELU, L. BURGNIES, M.Maglione, V.Reymond, D.Michau. 12èmes Journées Nano Micro et Optoélectronique, Oléron 2008
[2] Détection résonante du rayonnement Terahertz
par des détecteurs à onde de plasma: Application à l’Imagerie Terahertz. A. El
Fatimy, E. Abraham, E. Nguema Agnandji and P. Mounaix, W. Knap, F. Teppe, S.
Nadar et D.Coquillat. 12èmes
Journées Nano Micro et Optoélectronique, Oléron 2008
[3] Tunable photonic
crystals controlled by spin-crossover material in Terahertz range
P. Mounaix, E.Nguema, E. Freysz, J.-F. Létard. V. Vigneras, L. Oyenhart
Journées THz, bombannes 2007
[4] Emission d’une onde électromagnétique à la surface de semi-conducteurs InGaAs et d’InAs. Edwin Nguema A, Aurelie Moreau, Marc Tondusson and Patrick Mounaix, J. Mangeney, Journées THz, bombannes 2007
[5] Terahertz spectroscopy of thin film of ferroelectric material
Edwin Nguema et al, GDR ondes 2451, GDR THz 2897, Montpellier 5-6dec
2006.
[6] Caractérisation microondes et THz de films minces ferroélectriques. Réalisation de dephaseurs en bande K. G. Vélu, K. Blary, L. Burgnies, A. Marteau, P. Mounaix, E. Nguema, J.C. Carru, D. Lippens. JCMM 2006, Saint Etienne
[7] Banc de génération et
détection de faisceau THz par photo commutateur ultrarapide sur GaAs-BT.
P.Mounaix, M.Tondusson, L. Sarger, A.Douin, V.Pouget et D.Lewis
3mes Journées Térahertz, Aussois, 10-13 Mars 2005
[8] Spectroscopie Terahertz de cristaux non linéaire à base de Potassium P.Mounaix, P.Caumes, E.Freysz, L. Sarger, 3èmes Journées Térahertz, Aussois, 10-13 Mars 2005
Vulgarisation
Propriétés de polymères conducteurs aux longueurs d’onde Terahertz, Revue électricité électronique, REE, Janvier 2008.
Oral
Spectroscopie Terahertz appliquée aux matériaux ferroélectriques. Edwin Nguema, P.Mounaix, G. Vélu, J.C. Carru , JCF 2007 , calais oct 2007
Figure
0. 1 : Domaine térahertz dans le spectre électromagnétique.
Figure
0. 2 : Domaine d’applications des photons térahertz.
Figure
1. 1 : Spectre laser du Titane Saphir.
Tableau
1. 1 : Paramètres du laser Titane Saphir.
Tableau
1. 2 : Caractéristiques électriques de l’InAs et du GaAs.
Figure
1. 4 : Orientation des champs électromagnétiques rayonnés à la surface du
semi-conducteur.
Figure
1. 5 : Illustration de l’effet de surface (gauche) et de l’effet photo-Dember
(droite).
Figure
1. 6 : Principe physique de l'émission térahertz par effet de surface.
Figure
1. 7 : Comparaison de la puissance d’émission térahertz de différents
semi-conducteurs.
Figure
1. 8 : Impulsion térahertz générée par l’InAs, spectre temporel et fréquentiel.
Figure 1. 10 : Intensité
térahertz de l’InAs et des InGaAs en fonction de la puissance optique.
Tableau
1. 3 : Durée temporelle des impulsions térahertz généré par l’InAs et les
InGaAs.
Figure
1. 17 : Principe de la détection térahertz par photoconduction.
Figure
1. 18 : Principe de la détection térahertz par effet électrooptique.
Figure
1. 19 : Réponse d'un détecteur électrooptique en fonction de l'épaisseur du
cristal.
Figure
2. 2 : Lentilles térahertz.
Figure
2. 3 : Schéma d’un miroir parabolique à 90°
Figure
2. 4 : Banc de spectroscopie térahertz.
Figure
2. 5 : Spectromètre dédié aux expériences d'imageries térahertz.
Figure
2. 7 : Echantillonnage en temps équivalent d’un signal térahertz
Figure
2.9 : Profil expérimental spatial de l’amplitude térahertz et fits théoriques.
Figure
2. 10 : Métrologie térahertz dans le spectromètre 2.
Figure
2. 12 : Propagation du champ térahertz dans le spectromètre 2
Figure
2. 13 : Caractérisation d'un échantillon par THz-TDS en transmission
Figure
2. 15 : Mesures d'impulsions térahertz transmises par n milieux.
Figure
2. 17 : Spectroscopie térahertz en réflexion.
Figure
3. 1: Cycle d’hystérésis d'un matériau ferroélectrique.
Figure
3. 3 : Transitions de phases successives du BaTiO3
Figure
3. 4 : Evolution de la permittivité en fonction de la température pour un
cristal de BaTiO3
Figure
3. 6 : Représentation schématique des différents mécanismes de polarisation.
Figure
3. 7 : Variation de et
en fonction de la
fréquence.
Figure
3. 9 : Evolution de en fonction de
; loi de Cole-Cole.
Figure
3. 10 : Evolution de en fonction de
; loi de Davidson-Cole.
Tableau
3. 3 : Présentations des matériaux ferroélectriques étudiés
Figure
3. 12 : Photographies du cryostat et du four.
Figure
3. 14 : Variation de l'indice du Saphir et du SiO2 entre 0 et 3 THz
Figure
3. 15 : Diffractogrammes de diffractions des RX sur les deux BTO (140 et
141)
Figure
3. 19 : Variation de Δεr et de ωr,
avec la température.
Tableau
3.4 : Paramètres de simulation du BTO à 323 K et à 413 K.
Figure
3. 20 : Spectres Raman de la couche mince de titanate de baryum.
Figure
3.21 : Fonction diélectrique du BST80/20 mesurée à différentes
températures.
Figure
3.22 : Fonction diélectrique du BST70/30 mesurée à différentes températures.
Figure
3.23 : Fonction diélectrique du BST50/50 mesurée à différentes
températures.
Figure
4.2 : Couple solvant/dopant.
Figure
4.3 : Comparaison des conductivités de divers PCEI avec celle de matériaux
« classiques ».
Figure
4.5 : Photographie des composites de Pani-CSA/PU.
Tabeau 4. 1 : Composites synthétisés et pourcentage
de dopage.
Figure
4.8 : Spectres temporels térahertz mesurés en absence de composites et avec
composites.
Figure
4.13 : Variation de la profondeur de pénétration avec la fréquence térahertz.
GENERATION
ET DETECTION TERAHERTZ : APPLICATION A
RESUME :
Ce travail porte sur la caractérisation de matériaux en couches minces par spectroscopie terahertz dépendant du temps. Dans ce but, nous avons élaboré un banc d’analyse spectroscopique dont l’émission et la détection terahertz reposent sur l’utilisation de laser femtoseconde, de semi-conducteurs, de photocommutateurs ultrarapides ou de cristaux électro-optiques. La réponse diélectrique quantitative de matériaux ferroélectriques (titanate de baryum/ - Ba1-xSrxTiO3) déposés sous forme de couches minces, a permis de mettre en évidence l’importance des modes mous de phonon par une étude en température. Enfin, le comportement électromagnétique de polymères conducteurs à base de polyaniline a été effectué notamment leur efficacité de blindage en bande millimétrique et submillimétrique.
Mots clés : Laser - semi-conducteur – photocommutateurs – impulsions - térahertz, spectromètre térahertz - fonction diélectrique - complexe (indice, permittivité et conductivité), ferroélectriques - phonon - polymères - conducteurs - efficacité de blindage
TERAHERTZ GENERATION AND DETECTION : APPLICATION AT
THE CHARACTERIZATION OF THIN FILM MATERIALS.
ABSTRACT:
This work concerns the
characterization of thin film materials by terahertz time domain spectroscopy.
For this purpose, we elaborated a terahertz setup in which the terahertz
emission and terahertz detection are based on the use of femtosecond laser, semiconductors,
ultrafast photoswitches or electro-optic crystals. The study of dielectric
function of ferroelectrics thin film (barium titanate/-Ba1-xSrxTiO3)
with temperature, give the importance of soft phonon mode. Finally, the electromagnetic
behavior of conducting polymers based on polyaniline was made, in particular
their shelding effectiveness in millimeter and sub-millimeter length.
Keyword : Laser – semiconductor – photocommutators -
terahertz impulsions - terahertz spectrometer – ferroelectrics - conducting polymers – permittivty – conductivity - Shelding
effectiveness.